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公報発行日 2026年1月15
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※ 共同出願を含む
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従来のゾルゲル複合体圧電センサを作成するときには、例えば、分極温度は、例えば特許文献1では400℃において実施しているように、高い温度であることが必要であった。
本願発明の各側面によれば、アモルファス状(amorphous)のゾルゲル溶液を利用することにより、例えば鉛を含まないゾルゲル溶液及び圧電セラミック粉体を利用して鉛を含まないゾルゲル複合体圧電センサを作成するときでも、0℃以上300℃以下(例えば室温)のような温度で分極処理を行っても、作成されたゾルゲル複合体圧電センサは、例えば、0℃から300℃(例えば室温)、さらに600℃、1000℃のような高温まで動作するものとすることができる。
さらに、発明者らは、TiO2-Srゾルゲル溶液を用いることで分極温度が高いニオブ酸リチウム粉体などとの混合圧電膜においても常温、100℃以下、300℃以下などでの分極を実現できることを確認した。
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