特許7799269IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

本願発明は、ゾルゲル複合体圧電センサ作成方法に関し、特に、ゾルゲル複合体圧電センサを作成するゾルゲル複合体圧電センサ作成方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、従来のゾルゲル複合体圧電センサは、作成する作業が難しい点が存在した。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本願発明の第1の側面は、ゾルゲル複合体圧電センサを作成するゾルゲル複合体圧電センサ作成方法であって、ゾルゲル溶液とセラミック粉体の混合物により形成された圧電セラミック膜を用いて前記ゾルゲル複合体圧電センサを作成するステップを含み、前記ゾルゲル溶液は、アモルファス状のものである。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

従来のゾルゲル複合体圧電センサを作成するときには、例えば、分極温度は、例えば特許文献1では400℃において実施しているように、高い温度であることが必要であった。

本願発明の各側面によれば、アモルファス状(amorphous)のゾルゲル溶液を利用することにより、例えば鉛を含まないゾルゲル溶液及び圧電セラミック粉体を利用して鉛を含まないゾルゲル複合体圧電センサを作成するときでも、0℃以上300℃以下(例えば室温)のような温度で分極処理を行っても、作成されたゾルゲル複合体圧電センサは、例えば、0℃から300℃(例えば室温)、さらに600℃、1000℃のような高温まで動作するものとすることができる。

さらに、発明者らは、TiO2-Srゾルゲル溶液を用いることで分極温度が高いニオブ酸リチウム粉体などとの混合圧電膜においても常温、100℃以下、300℃以下などでの分極を実現できることを確認した。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本願発明の実施の形態に係るセンサ装置1の構成の一例を示す図である。
【図2】 (a)センサ部3の構成の概要と、(b)接合部5においてセンサ部3と耐熱配線部9との接合状態を示す図である。
【図3】 試作したセンサによる超音波パルスエコー波形の取得結果を示す。
【図4】 アモルファスに関するデータを示す図である。
【図5】 ニオブ酸リチウム粉体と、ゾルゲル液を混合・攪拌してスプレー法により作成した圧電膜デバイスによる実験結果を示す第1図である。
【図6】 ニオブ酸リチウム粉体と、ゾルゲル液を混合・攪拌してスプレー法により作成した圧電膜デバイスによる実験結果を示す第2図である。

代表図 図1本件の代表的な図

1 センサ装置、3 センサ部、5 接合部、7 圧着部、9 耐熱配線部、11 配線コネクタ部、21 保護層、22 信号線取り付け部、23 電極層、25 圧電膜層、27 基材層、29 グラウンド線取り付け部、31 グラウンド線、33 信号線、35 グラウンド線接合部、37 圧着チップ、39 絶縁層

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