特許7800167ハフニウム化合物含有ゾルゲル液、および、ハフニア含有膜

発明の名称　ハフニウム化合物含有ゾルゲル液、および、ハフニア含有膜

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 365 位（32件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 163 位（58件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7800167

公報発行日　2026年1月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7800167

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