特許7804378ウェーハの位置座標の変換方法及び検査装置

発明の名称　ウェーハの位置座標の変換方法及び検査装置

出願人　株式会社多聞　（識別番号 300072587）

　　　　特許公開件数ランキング 4146 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1984 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7804378

公報発行日　2026年1月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7804378

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