特許7804791高圧基板処理装置及びそれを用いた基板用高圧化学的気相蒸着方法

発明の名称　高圧基板処理装置及びそれを用いた基板用高圧化学的気相蒸着方法

出願人　エイチピエスピ カンパニー リミテッド　（識別番号 522494798）

　　　　特許公開件数ランキング 13584 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1130 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7804791

公報発行日　2026年1月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7804791

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