発明の名称 円板状基板の支持構造
出願人 株式会社コベルコ科研 (識別番号 130259)
特許公開件数ランキング 1140 位(6件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 997 位(6件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7805993
公報発行日 2026年1月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7805993
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