特許7806267ネガ型現像フォトレジストモデルの最適化方法

発明の名称　ネガ型現像フォトレジストモデルの最適化方法

出願人　東方晶源微電子科技（北京）有限公司　（識別番号 516045702）

　　　　特許公開件数ランキング 4875 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1757 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7806267

公報発行日　2026年1月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7806267

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