特許7808882高次モードの弾性表面波を利用するデバイスを製造する方法

発明の名称　高次モードの弾性表面波を利用するデバイスを製造する方法

出願人　国立大学法人東北大学　（識別番号 504157024）

　　　　特許公開件数ランキング 432 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 169 位（39件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7808882

公報発行日　2026年1月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7808882

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