特許7808940学習装置、情報処理装置、基板処理装置、基板処理システム、学習方法、レシピ決定方法及び学習プログラム

発明の名称　学習装置、情報処理装置、基板処理装置、基板処理システム、学習方法、レシピ決定方法及び学習プログラム

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 82 位（45件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 57 位（47件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7808940

公報発行日　2026年1月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7808940

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