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特許7809377ウェハの製造に使用されるイオン注入システムのためのエネルギーフィルタ要素
発明の名称 ウェハの製造に使用されるイオン注入システムのためのエネルギーフィルタ要素
出願人 エムアイツー‐ファクトリー ジーエムビーエイチ （識別番号 518351230）
特許公開件数ランキング 13238 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3698 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7809377
公報発行日 2026年2月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7809377
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