特許7814341基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　芝浦メカトロニクス株式会社　（識別番号 2428）

　　　　特許公開件数ランキング 1046 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 332 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7814341

公報発行日　2026年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7814341

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