特許7814472クリーンルームシステム及び空気循環方法

発明の名称　クリーンルームシステム及び空気循環方法

出願人　高砂熱学工業株式会社　（識別番号 169499）

　　　　特許公開件数ランキング 1828 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 591 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7814472

公報発行日　2026年2月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7814472

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