特許7816402静電チャック

発明の名称　静電チャック

出願人　ＴＯＴＯ株式会社　（識別番号 10087）

　　　　特許公開件数ランキング 48 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 130 位（31件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7816402

公報発行日　2026年2月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7816402

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