発明の名称 軟X線多層膜回折格子
出願人 国立大学法人東北大学 (識別番号 504157024)
特許公開件数ランキング 424 位(24件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 174 位(41件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7816753
公報発行日 2026年2月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7816753
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