特許7821153基板グリッパ及びこれを用いた基板移送方法

発明の名称　基板グリッパ及びこれを用いた基板移送方法

出願人　アブソリックス インコーポレイテッド　（識別番号 521560126）

　　　　特許公開件数ランキング 771 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1415 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7821153

公報発行日　2026年2月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7821153

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