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特許7828510プロセス環境のガス中の粒子を検出するための方法および装置、ならびにそのような装置を備えるコーティングシステム
発明の名称 プロセス環境のガス中の粒子を検出するための方法および装置、ならびにそのような装置を備えるコーティングシステム
出願人 インフィコン・アーゲー （識別番号 518303251）
特許公開件数ランキング 13811 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3823 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7828510
公報発行日 2026年3月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7828510
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