技術分野
炭化珪素を用いたPiNダイオードなどのバイポーラ半導体装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、事情に鑑み、オン抵抗の増大を抑制し、かつ逆回復電流を低減することができるバイポーラ半導体装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的を達成するための本発明の一態様は、n型のSiCからなるカソード領域と、前記カソード領域の一方面側に形成された耐圧維持層と、前記耐圧維持層の前記カソード領域とは反対側に形成されたp型のSiCからなるアノード領域とを備えたバイポーラ半導体装置であって、前記アノード領域には、キャリアをトラップするトラップ層が設けられていることを特徴とするバイポーラ半導体装置にある。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、オン抵抗の増大を抑制し、かつ逆回復電流を低減することができるバイポーラ半導体装置が提供される。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明のPiNダイオードの概略図である。
【図2】
本発明のPiNダイオードに順バイアス、逆バイアスを掛けたときのキャリアの状態を説明するためのバンド図である。
【図3】
従来型のPiNダイオードの構成である。
【図4】
シミュレーションで用いたPiNダイオードを含む回路図である。
【図5】
オン抵抗と逆回復電流に関するシミュレーション結果を示す図である。
【図6】
オン抵抗と逆回復電流に関するシミュレーション結果を示す図である。
【図7】
オン抵抗と逆回復電流に関するシミュレーション結果を示す図である。
【図8】
本発明のPiNダイオードに関するオン抵抗と逆回復特性のトラップ密度依存性について説明する図である。
【図9】
トラップ密度に対する蓄積電荷、及び逆回復電流のピーク値の関係を示す図である。
【図10】
本発明のPiNダイオードと従来型のPiNダイオードの蓄積電荷及び逆回復特性について説明する図である。
1…PiNダイオード(バイポーラ半導体装置)、2…カソード電極、3…アノード電極、10…カソード領域、20…耐圧維持層、30、30A…アノード領域、31、31A…接合層、32…トラップ層、33…コンタクト層
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