特許7829819静電チャック装置及びその製造方法並びに静電チャック装置の再生方法

発明の名称　静電チャック装置及びその製造方法並びに静電チャック装置の再生方法

出願人　株式会社クリエイティブ　テクノロジー　（識別番号 591012266）

　　　　特許公開件数ランキング 3900 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2994 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7829819

公報発行日　2026年3月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7829819

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