特許7832041基板反り防止装置及び搬送加熱装置

発明の名称　基板反り防止装置及び搬送加熱装置

出願人　株式会社タムラ製作所　（識別番号 390005223）

　　　　特許公開件数ランキング 928 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 466 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7832041

公報発行日　2026年3月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7832041

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