特許7833859成膜装置、及び成膜方法

発明の名称　成膜装置、及び成膜方法

出願人　住友重機械工業株式会社　（識別番号 2107）

　　　　特許公開件数ランキング 137 位（61件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 107 位（67件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7833859

公報発行日　2026年3月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7833859

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