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特許7834657Ｎ－アルキル置換ペルヒドリドシクロトリシラザン類によるシリコン系薄膜
発明の名称 Ｎ－アルキル置換ペルヒドリドシクロトリシラザン類によるシリコン系薄膜
出願人 ジェレスト， インコーポレイテッド （識別番号 508129090）
特許公開件数ランキング 13811 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2276 位（3件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7834657
公報発行日 2026年3月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7834657
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