特許7835587基板乾燥方法と基板処理方法

発明の名称　基板乾燥方法と基板処理方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 55 位（115件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（97件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7835587

公報発行日　2026年3月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7835587

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7835587「基板乾燥方法と基板処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録