特許7836249プラズマ処理システム及びプラズマ処理システムの情報設定方法

発明の名称　プラズマ処理システム及びプラズマ処理システムの情報設定方法

出願人　富士機械製造株式会社　（識別番号 237271）

　　　　特許公開件数ランキング 389 位（19件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 81 位（77件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7836249

公報発行日　2026年3月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7836249

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