特許 7839175出願番号特願 2023-551130
放射線を反射する光学素子及び光学アセンブリ

出願人カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）

2026年特許公開件数ランキング 405位 62件（※）

2026年特許取得件数ランキング 558位 33件（※）

公報発行日　2026年4月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7839175　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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［関連出願の参照］本願は、２０２１年２月２４日の独国特許出願第１０２０２１２０１７１５．０号の優先権を主張し、その全開示を参照により本願に援用する。

本発明の目的は、反射コーティングが施された光学素子の表面の変形を冷却流体での直接冷却により低減することを可能にする、光学素子及び光学装置を提供することである。

一態様によれば、この目的は、前述のタイプの光学素子であって、分配部及び／又は回収部が界面から始まって基板の第１部分体よりも基板の第２部分体に大きく延在する光学素子により達成される。

【図1】ＥＵＶ投影リソグラフィ用の投影露光装置の概略子午線断面を示す。

【図2】基板の２つの部分体間の界面に沿って延びる複数の冷却チャネル並びに分配チャンバ及び回収チャンバを有するミラーの概略図を示す。

【図3】図３ａ、図３ｂは、分配チャンバ及び回収チャンバが第２部分体のみに形成されて基板の厚さ方向に延在する、ミラーの概略図を示す。

【図4】図４ａ、図４ｂは、基板の第２部分体と第３部分体との間の別の界面に沿って延びる分配チャンバ及び回収チャンバを有するミラーの概略図を示す。

【図5】図５ａ、図５ｂ、図５ｃは、冷却チャネルを分配部の入口チャネルに接続するために厚さ方向に延びる接続チャネルを有するミラーの概略図を示す。

【図6】図６ａ、図６ｂは、冷却チャネルが第１部分体及び第２部分体の両方に延びる断面を有する、湾曲した表面を有する図５ａ～図５ｃと同様のミラーの概略図を示す。

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