7848635 モノリシック水晶フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2026-04-13

(45)【発行日】2026-04-21

(54)【発明の名称】モノリシック水晶フィルタ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/56 20060101AFI20260414BHJP

   H03H 9/02 20060101ALI20260414BHJP

【ＦＩ】

H03H9/56 C

H03H9/02 M

H03H9/02 H

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2022135921

(22)【出願日】2022-08-29

(65)【公開番号】P2024032325

(43)【公開日】2024-03-12

【審査請求日】2025-02-19

(73)【特許権者】

【識別番号】000149734

【氏名又は名称】株式会社大真空

(72)【発明者】

【氏名】前田 浩

【審査官】白井 孝治

(56)【参考文献】

【文献】特開２００２－２３２２６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２６９７３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－２４４８０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２６６７０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１５０６７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１７３４６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０１４５３７８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２００４－０３２２６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｈ ９／００～ ９／１４５

Ｈ０３Ｈ ９／１５～ ９／２４

Ｈ０３Ｈ ９／３０～ ９／４０

Ｈ０３Ｈ ９／４６～ ９／６２

Ｈ０３Ｈ ９／６６

Ｈ０３Ｈ ９／７０

Ｈ０３Ｈ ９／７４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方の主面に入力電極と出力電極を形成し、他方の主面に前記入力電極と前記出力電極に正対向した共通電極を形成するとともに、前記入力電極と前記出力電極の各々と独立して電気的につながった２つの接続電極と、前記共通電極と電気的につながった１つの接続電極を有する透光性の水晶振動板と、
開口部を有するとともに、前記水晶振動板を保持し、前記２つの接続電極と各々導電接合される２つの接続電極パッドと、前記共通電極と電気的につながった１つの接続電極と導電接合される１つの接続電極パッドと、
前記２つの接続電極パッドと前記１つの接続電極パッドとは別の、接地される接地電極パッドとを有するパッケージと、
を有するモノリシック水晶フィルタであって、
前記水晶振動板は前記一方の主面がパッケージと対向した状態で前記２つの接続電極と前記２つの接続電極パッドが導電接合されるとともに、前記共通電極がパッケージの開口部側に配置され、
前記一方の主面の入力電極と出力電極の形成位置に関連する位置情報を有する１以上のマーカーを前記一方の主面に形成し、平面で見て前記マーカーは前記共通電極より外側の水晶振動板上に形成されたことを特徴とするモノリシック水晶フィルタ。

【請求項2】

前記マーカーは、前記一方の主面の入力電極と出力電極間の仮想中間線上に形成されていることを特徴とする請求項１記載のモノリシック水晶フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は無線通信機器等に用いられるモノリシック水晶フィルタに関するものである。

【背景技術】

【0002】

近年の無線通信機器は例えば業務用の無線機等があげられるが、その用途、仕様によって、様々なフィルタ特性のモノリシック水晶フィルタが求められる。例えば、小型化であったり、スプリアスの抑制であったり、保証減衰特性が比較的急峻であったり、通過帯域幅の広狭等の要請等があるが、これらフィルタ特性についても外部要因等に影響されない安定性等の信頼性も求められている。

【0003】

モノリシック水晶フィルタは、ATカット水晶振動板の一方の主面の中央部分に入力電極と出力電極を並列して形成し、他方の主面においては、前記入力電極と出力電極に対向した共通電極を形成した構成であり、入力電極と出力電極に交流電界を印加することにより、水晶フィルタとして機能させる。

【0004】

前記モノリシック水晶フィルタは、周知のとおり各電極間の周波数バランスや周波数帯域特性の調整等の複数種のフィルタ特性調整を電極に対して行う必要がある。例えば、当該共通電極に対して各電極間の周波数バランスを行う際は、裏面の入力電極と出力電極それぞれ対応する共通電極領域に、電極膜厚（金属薄膜の膜厚）を加減することにより行う。また周波数帯域特性の調整を行う際は、入力電極と出力電極間に対応する領域に電極膜厚（金属薄膜の膜厚）を加減することにより行う。さらに中心周波数の調整においては、共通電極全面の電極膜厚を加減することにより行う。

【0005】

しかしながら、これらフィルタ特性の調整は、実際の製造工程において、水晶振動板をパッケージ（保持具）に搭載した後に行うことが一般的であり、実務上、上述のように水晶振動板は共通電極がパッケージの上方に向いた状態で保持され、上記複数の調整は共通電極に対して行う。しかしながら周波数バランス等においては、入力電極および出力電極の形成位置を正確に推定する必要があるが、共通電極の形成によりこれらの位置が正確に推定できない場合があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特許第3436251号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１において、０００９項に示すように、多種のフィルタ特性の調整を行うことが開示されているが、前述のとおり、入力電極および出力電極の形成位置を適切に推定できていない場合、共通電極に対する調整領域がずれて、適切なフィルタ特性の調整ができないことがあり、結果として調整に長時間がかかり生産性が著しく低下することがあった。また、不要な調整を行ってしまい、本来適切な調整を行えば良品として製造できるものが、不良品として製造されてしまうことがあった。

【0008】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高精度にフィルタ特性調整を行うことのできるモノリシック水晶フィルタを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために請求項１の発明は、一方の主面に入力電極と出力電極を形成し、他方の主面に前記入力電極と前記出力電極に正対向した共通電極を形成するとともに、前記入力電極と前記出力電極の各々と独立して電気的につながった２つの接続電極と、前記共通電極と電気的につながった１つの接続電極を有する透光性の水晶振動板と、
開口部を有するとともに、前記水晶振動板を保持し、前記２つの接続電極と各々導電接合される２つの接続電極パッドと、前記共通電極と電気的につながった１つの接続電極と導電接合される１つの接続電極パッドと、前記２つの接続電極パッドと前記１つの接続電極パッドとは別の、接地される接地電極パッドとを有するパッケージと、を有するモノリシック水晶フィルタであって、 前記水晶振動板は前記一方の主面がパッケージと対向した状態で前記２つの接続電極と前記２つの接続電極パッドが導電接合されるとともに、前記共通電極がパッケージの開口部側に配置され、前記一方の主面の入力電極と出力電極の形成位置に関連する位置情報を有する１以上のマーカーを前記一方の主面に形成し、平面で見て前記マーカーは前記共通電極より外側の水晶振動板上に形成されたことを特徴としている。

【0010】

本構成によれば、透光性を有する水晶振動板を用い、一方の主面の入力電極と出力電極の形成位置に関連する１以上のマーカーを前記一方の主面に形成し、平面で見て前記マーカーは他方の主面に形成された共通電極より外側の水晶振動板上に形成された構成を採っているので、共通電極の形成された他方の主面側からマーカーの位置が視認できる。マーカーは入力電極および出力電極の形成位置に関連する位置情報を有しているので、マーカーの位置により、反対面にあり、共通電極に隠れた入力電極と出力電極の位置を特定することができる。

【0011】

従って、平面で見て入力電極と出力電極の形成位置を共通電極上で特定することができ、入力電極と出力電極の形成位置に関連する複数のフィルタ特性調整を共通電極側に対して行うことができ、フィルタ特性調整を高精度に行うことのできるモノリシック水晶フィルタを得ることができる。

【0012】

上記一方の主面の入力電極と出力電極の形成位置に関連する１以上のマーカーは1つであってもよいし、２以上であってもよい。

【0013】

マーカーを1つ形成した場合、前記マーカーは、前記一方の主面の入力電極と出力電極間の仮想中間線上であって、前記共通電極より外側の水晶振動板上に形成されている構成であってもよい。

【0014】

上記構成によれば、入力電極と出力電極の中間線上であって前記共通電極より外側に形成されている構成であるので、モノリシック水晶フィルタ駆動時の振動を阻害することなく、所望の調整領域に対してフィルタ特性の調整を行うことができ、高精度なモノリシック水晶フィルタを得ることができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、高精度にフィルタ特性調整を行うことのできるモノリシック水晶フィルタを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本実施の形態にかかる電極形成された水晶振動板の一方の主面の平面図である。

【図2】本実施の形態にかかる電極形成された水晶振動板の他方の主面の平面図である。

【図3】本実施の形態にかかるパッケージの平面図である。

【図4】本実施の形態にかかるパッケージに水晶振動板を搭載した状態の平面図である。

【図5】図４のパッケージにリッドにて封止した状態のＡ－Ａ断面図である。

【図6】図４のパッケージにリッドにて封止した状態のＢ－Ｂ断面図である。

【図7】他のマーカー形成例を示す電極形成された水晶振動板の一方の主面の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

【0018】

第１の実施形態
本発明による第１の実施の形態を図１乃至図６とともに説明する。図１は本実施の形態を示す電極形成された水晶振動板の一方の主面の平面図であり、図２は同じく電極形成された水晶振動板の他方の主面の平面図である。また図３は前記水晶振動板を収納し、保持するパッケージを示す平面図である。図４はパッケージに水晶振動板を収納し、保持した状態を示す平面図であり、図５は水晶振動板を収納し、導電接合したパッケージをリッドで気密封止した状態における図４のＡ－Ａ断面図、図６は同様にパッケージをリッドで気密封止した状態における図４のＢ－Ｂ断面図である。

【0019】

モノリシック水晶フィルタＦは、全体として直方体形状で、上部が開口した凹部を有するパッケージ１と、前記パッケージ１の凹部内に収納される圧電振動素子である水晶振動板２と、パッケージ１の開口部に接合されるリッド３とからなる。

【0020】

パッケージ１は、内部および外部に金属膜による配線が形成されたセラミックパッケージで、断面でみて凹形であり、凹形周囲の堤部（側壁）１０と前記堤部上面に形成される周状の金属シール部１１とを有している。金属シール部１１は、タングステン等からなるメタライズ層と、メタライズ層上に形成される金属膜層とからなる。金属膜層は例えばメタライズ層に接してニッケルメッキ層と、前記ニッケルメッキ層の上部に形成される極薄の金メッキ層とからなる。またコバール等の溶接用の金属リングを取り付けてもよい。

【0021】

前記パッケージ１内部の４角には接続電極パッド１２ａ，１２ｂ，１２ｃが形成されるとともに，接地電極パッド１２ｄが形成されている。これら各接続電極パッド、接地電極パッドは、これら電極パッド形成面の反対面、すなわちパッケージ裏面の外部との電気的接続を行う外部接続面に導通電極を介して引出され、外部接続端子に導通接続されている。すなわち接続電極パッド１２ａは導通電極１２ａ１を介して外部接続端子１３ａに、接続電極パッド１２ｂは導通電極１２ｂ１を介して外部接続端子１３ｂに、接続電極パッド１２ｃは導通電極１２ｃ１を介して外部接続端子１３ｃに、接地電極パッド１２ｄは導通電極１２ｄ１を介して外部接続端子１３ｄに、それぞれ導通接続されている。

【0022】

またセラミックパッケージの角部には厚さ方向に伸びるキャスタレーション１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１，１３ｄ１が形成されるとともに、側壁にもキャスタレーション１３ｅ１，１３ｆ１が形成されている。各キャスタレーション１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１，１３ｄ１は各々外部接続端子１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄと電気的につながっている。なお、キャスタレーション１３ｅ１，１３ｆ１は図示していないが、パッケージの裏面に形成された外部接続端子１３ｅ、１３ｆにそれぞれ接続されている。

【0023】

これら外部接続端子並びにキャスタレーションは、例えばタングステンによるメタライズ層の上部にニッケルメッキ、金メッキ等を施した構成である。

【0024】

水晶振動板２はＡＴカット水晶板からなり、平面で見て短辺と長辺を有する矩形形状を有している。前記水晶振動板２の表裏にはモノリシック水晶フィルタを構成する電極が形成されている。すなわち、一方の主面には平面で見て矩形の入力電極２１と平面で見て矩形の出力電極２２が所定の間隔を持って並列に形成され、他方の主面には前記入力電極２１と出力電極２２に対応する１つの共通電極２３が形成されている。前記共通電極２３も平面で見て矩形であり、前記入力電極２１と前記出力電極２２の並列形成した領域に対応した外形サイズを有している。

【0025】

入力電極２１と出力電極２２からは、互いに離れる方向（長辺方向）にそれぞれ引出電極２１ａ，引出電極２２ａが延びている。これら引出電極２１ａ，２２ａは水晶振動板２の端部（短辺側端部）に到達後、各々対角の角部に延び、これら角部にて接続電極２１ｂ、２２ｂを形成している。

【0026】

前記接続電極２１ｂ形成領域の反対面（他方の主面）には延出電極２１ｃが形成されている。延出電極２１ｃは短辺に沿って延出し、この短辺の他の端部近傍まで伸長している。また前記接続電極２２ｂ形成領域の反対面（他方の主面）には延出電極２２ｃが形成されている。延出電極２２ｃは長辺に沿って延出し、この長辺の他の端部近傍まで伸長している。また、各角部において接続電極の一部と延出電極の一部とが重畳している。なお、図示していないが、入力電極２１の接続電極２１ｂと延出電極２１ｃ並びに入力電極２２の接続電極２２ｂと延出電極２２ｃは、それぞれ前記重畳している領域において水晶振動板の側面に形成された側面電極（金属薄膜）により導通させてもよい。この場合、後述する導電性接合材による接続電極と接続電極パッドとの導電接合において、導線接合材の上塗り形成を省くことができる。

【0027】

以上の構成により図２の右上部に示すように、延出電極２１ｃと延出電極２２ｃは水晶振動板の角部で近接する構成としており、延出電極２１ｃの端面と延出電極２２ｃの端面がギャップｔを持って対向するように配置されている。これら延出電極間のギャップにより橋絡容量Ｃを形成している。なお、対向する延出電極２１ｃと２２ｃの各端面は一定間隔で対向している構成が好ましい。これにより容量形成の設計が容易となる。

【0028】

また、図１に示すように、入力電極２１と出力電極２２の中間を通る仮想延長線Ｌ上にはマーカーＭが形成されている。このような位置関係によりマーカーMの形成位置に対して入力電極２１と出力電極２２の形成位置を特定することができる。

【0029】

マーカーMは例えば円形であり、水晶振動板の他方の主面（反対面）に形成された共通電極の形成領域の外側であって、前記延出電極形成領域との間に独立して形成されている。水晶振動板は透明であるので前記マーカーは他方の主面からも視認することができ、製造時の位置決め起点として機能し、後述する特性調整時の調整領域の特定に有用となる。

【0030】

前記各電極、すなわち入出力電極、共通電極、引出電極、接続電極、延出電極、そしてマーカーは金属薄膜からなり、例えば水晶振動板に接して下地層としてクロム（Cr）を用い、前記下地層の上部に金（Au）あるいは銀（Ag）を形成した構成を採用している。これら金属薄膜はこれ以外の金属材料を用いてもよく、例えばアルミニウム（Al）一層構成の金属材料を用いてもよい。

【0031】

上記水晶振動板に形成された各電極並びにマーカーの寸法を例示する。水晶振動板は長辺寸法１．５５ｍｍ、短辺寸法１．３５ｍｍであり、厚さはＡＴカット水晶板を用いているので周波数によって決定される。入力電極および出力電極は長辺寸法０．３ｍｍ、短辺寸法０．１９ｍｍ、厚さ約６００オングストロームであり、前記入力電極と出力電極に対応する共通電極は長辺寸法０．６６ｍｍ、短辺寸法０．３ｍｍ、厚さ約１２００～１５００オングストロームである。またマーカーは直径０．１ｍｍの円形であり、厚さは約６００オングストロームである。なお、上記電極（金属薄膜）の膜厚はフィルタ特性調整前の膜厚である。後述するとおり、共通電極はイオンミリングにより膜厚を減少させることにより調整されるので、フィルタ特性調整後の膜厚は上記膜厚から減少した状態となる。

【0032】

図４は、パッケージ１に水晶振動板１が平置き搭載された状態を示している。上記各電極が形成された水晶振動板２を、入力電極と出力電極が形成された一方の主面がパッケージの前記電極パッド１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに対向するようにセラミックパッケージに搭載し、導電接合材Ｓで電気的機械的に接続する。具体的には図５、図６に示すように、導電接合材Ｓを介して各接続電極と各接続電極パッドが導電接合される。導電接合材Ｓは例えば、ペースト状の導電フィラーの添加された樹脂接合材を用い、熱可塑性により接合材が硬化し、水晶振動板２がパッケージ１に導電接合される。

【0033】

これにより図４に示すように、共通電極２３がパッケージの開口側に位置し、また延出電極２２ｃが水晶振動板の上方端の長辺に伸長し、延出電極２１ｃが水晶振動板の右側端の短辺に伸長した状態で、支持固定される。導電接合材Ｓは、図１および図４に示すように導電接続の必要な接続電極２１ｂ、２２ｂ、２３ｂとその上部に供給され、接続電極２１ｂと延出電極２１ｃと接続電極パッド１２ｃが、接続電極２２ｂと延出電極２２ｃと接続電極パッド１２ａが、そして接続電極２３ｂと接続電極パッド１２ｂが、それぞれ独立して電気的接合される。

【0034】

図５は図４のＡ－Ａ断面図を示しており、導電接合材Ｓが接続電極２３ｂと接続電極パッド１２ｂを導電接合し、また導電接合材Ｓが接続電極２２ｂと延出電極２２ｃと接続電極パッド１２ｃを導電接合している。

【0035】

また図６は図４のＢ－Ｂ断面図を示しており、導電接合材Ｓが接続電極２１ｂと延出電極２１ｃと接続電極パッド１２ｃを導電接合している。また橋絡容量Ｃの領域においては、その直下に水晶振動板とギャップＧを介して、接地電極パッドが位置している。ここでギャップＧは０.０１ｍｍ～０.０８ｍｍに設定している。ギャップＧは短いほうが外部ノイズ影響の抑制等特性向上には好ましいが、自由端部分であるので外部衝撃等により水晶振動板と接地電極パッドが接触することにより、水晶振動板に損傷が出る可能性があるので、上記ギャップＧの距離が好ましい。さらに好ましくは、ギャップＧは０.０２ｍｍ～０.０６ｍｍの範囲が更に好ましく、外部ノイズや電位変動に対するフィルタ特性の安静性がより向上するとともに、耐衝撃性も向上する範囲となる。

【0036】

なお、前記延出電極を入力電極、出力電極形成側に形成し、一方の主面において橋絡容量を形成してもよい。この構成であると橋絡容量形成領域と接地電極パッドとの距離が近接させることができ、フィルタ特性の安定性をより向上させることができる。

【0037】

図５、図６に示すように、パッケージ１をリッド３で気密接合することにより、水晶振動板収納空間が気密に保たれる。この収納空間は、不活性ガスが充填された構成であってもよいし、真空雰囲気としてもよい。

【0038】

次に、気密封止前に行うフィルタ特性の調整方法について説明する。フィルタ特性の調整は電極（金属薄膜）の膜厚を増減することにより行うことができる。膜厚を増加する場合は例えばパーシャル蒸着を用い、膜厚を減少させる場合は例えばイオンミリングを用いる。実際の製造工程においては、膜厚増加あるいは膜厚減少のいずれかの手法を用いて調整を行う。

【0039】

本例においてはイオンミリングにより、金属薄膜の膜厚を減じる方法での調整例を示している。他方の主面に形成された共通電極２３に対して各電極間の周波数バランス調整を行う際は、一方の主面（反対面）の入力電極２１と出力電極２２のそれぞれ対応する共通電極領域各々に、イオンビームを照射して電極膜厚を減少させる。また周波数帯域特性の調整を行う際は、入力電極と出力電極間に対応する共通電極領域に、イオンビームを照射して電極膜厚を減少させる。

【0040】

水晶振動板の一方の主面に形成する入力電極２１と出力電極２２の形成位置は、他方の主面に形成される共通電極２３と正対向していることが望ましい。しかしながらマスク手段を用いた真空蒸着法やスパッタリング法等の成膜時において表裏のずれが生じることがあり、この場合、上述の共通電極２３における入力電極２１と出力電極２３の対応部分の位置推定については、ずれが生じる場合がある。これは共通電極２３がその反対面に形成された入力電極２１と出力電極２２を覆ってしまうからであり、入力電極２１、出力電極２２の推定位置がずれることがあった。

【0041】

本発明においては、入力電極２１および出力電極２２と同じ面にマーカーＭを形成している。これら入力電極、出力電極、マーカーの形成は、これらを形成する開口部を有するマスク手段を用いて形成する。これによりマーカーＭの形成位置に対して、入力電極および出力電極の形成位置は特定されることになり、相対的な位置関係のずれはない。前記マーカーは透明な水晶振動板を透過して一方の主面に視認可能な状態で形成されている。この視認できるマーカーＭを基準とし、共通電極２３に対する調整領域を特定することができる。そして本実施の形態においては、前記マーカーＭは入力電極２１と出力電極２２の中間点に位置するために、これを基準として入力電極２１と出力電極２２の位置を特定できる。

【0042】

さらに中心周波数の調整においては、共通電極２３全面の膜厚を加減することにより行う。なお、調整領域の絞込（限定）は、金属板に開口を設けた部分開口マスクを用いて行う。図４において、一点鎖線で示す領域は部分開口マスクＰＷを示しており、これは例えば中心周波数の調整を行う共通電極全面の膜厚を減少させる際に用いる。なお、前述の共通電極における入力電極対応領域への調整または出力電極対応領域への調整は、図示していないが、その領域のみの開口を持った部分開口マスクがセットされ、イオンミリングが行われる。

【0043】

次にマーカーを2つ用いた他の実施の形態を図７とともに説明する。図７に示す例は、延出電極や橋絡容量を有さない構成であり、水晶振動板２の一方の主面に入力電極２１と出力電極２２が形成され、他方の主面に共通電極２３が形成されている。また入力電極に対応したマーカーＭ１と出力電極に対応したマーカーＭ２が形成されており、マーカーＭ１は入力電極の形成位置に関連付けて形成され、マーカーＭ２についても出力電極の形成位置に関連付けて形成されている。本例においては入力電極、出力電極各々の短辺方向の中間点の真上に、マーカーＭ１，Ｍ２がそれぞれ形成されている。

【0044】

本実施の形態では、共通電極２３の外形サイズが入力電極と出力電極を並列配置した領域よりも大きく形成されており、基本的には他方の主面から共通電極に対してフィルタ特性調整を行う際には、入力電極と出力電極の正確な位置は分からないが、上述のマーカー構成により、それぞれのマーカーの位置を基準に入力電極と出力電極の形成位置を正確に特定することができる。これにより上述のフィルタ特性調整を正確に行うことができ、高精度なフィルタ特性を得ることができる。

【0045】

なお、本実施の形態においては、マーカーＭ１，Ｍ２は小さな正方形状を採っている。正方形の角部の特定により、位置情報をより正確に得ることができ、高精度なフィルタ特性を得ることに寄与する。

【0046】

また、上記例においてマーカーＭ２を出力電極の下方側に形成し、マーカーＭ１とＭ２を対角の位置に形成してもよい。またマーカーを３つ以上形成してもよいが、マーカー自身の重量により水晶振動板の振動に影響を与える場合がある。従って、マーカーを多数形成する場合は、入力電極、出力電極、共通電極で形成された励振領域から離隔させて形成するとよい。

【0047】

なお、橋絡容量Ｃの調節を局所的に行ってもよい。例えば、各各延出電極の近接部分をレーザーやイオンミリングにより部分的に電極除去したり、局所的なパーシャル真空蒸着による電極付加（金属薄膜付加）により、このギャップｔを変化させ、あるいは電極サイズを変化させることにより橋絡容量を調整することができる。

【0048】

ところで、近接距離を小さくするあるいは近接領域の引出電極サイズを大きくする場合は、パーシャル蒸着等による電極付加が必要となるが、この場合電極付加を容易かつ膜形成の安定化をはかるために、予め前記電極付加予定領域に極薄の金属膜を形成してもよい。これにより橋絡容量の調整を行うことができる。なお、金属膜は例えばクロムを用い、その厚さを数オングストローム～数１０オングストロームとすることにより、両延出電極間を導通させる能力を持たない程度に抵抗が高い状態とすることが必要である。また各延出電極の近接対向した中間部分には金属膜を形成しない構成としてもよい。

【0049】

上述の必要な調整を完了した後、アニール等の電極（金属膜）安定化処理を行い、リッド３により気密封止する。リッド３は平板状のコバール等からなる金属材を母材とし、その表面にニッケルメッキが施された金属板を用いている。前記金属シール部１１上に前記リッド３を搭載し、この状態でシーム溶接やレーザー等のビーム溶接、あるいはろう接によりリッドと金属シール部を溶融させ、気密封止する。

【0050】

なお上記説明において２ポールタイプのモノリシック水晶フィルタを例示したが、３ポールあるいは４ポールの水晶フィルタに対しても同様に適用することができる。

【0051】

今回開示した実施形態は全ての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれる。

【符号の説明】

【0052】

１ パッケージ
１０ 堤部
１１ 金属シール部
２ 水晶振動板
３ リッド
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ 接続電極パッド
１２ｄ 接地電極パッド
１３ａ，１３ｂ，１３６ｃ，１３ｄ、１３ｅ，１３ｆ キャスタレーション
Ｃ 橋絡容量

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】