特許7849044研磨システム、ウェーハの搬送制御方法及びワークホール検出方法

発明の名称　研磨システム、ウェーハの搬送制御方法及びワークホール検出方法

出願人　スピードファム株式会社　（識別番号 107745）

　　　　特許公開件数ランキング 15681 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4454 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7849044

公報発行日　2026年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7849044

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