特許7849052プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

発明の名称　プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

出願人　国立大学法人名古屋大学　（識別番号 504139662）

　　　　特許公開件数ランキング 227 位（81件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 253 位（76件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7849052

公報発行日　2026年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7849052

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