特許7849131ウェーハ収納容器処理装置

発明の名称　ウェーハ収納容器処理装置

出願人　芝浦メカトロニクス株式会社　（識別番号 2428）

　　　　特許公開件数ランキング 410 位（28件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 418 位（24件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7849131

公報発行日　2026年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7849131

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