特許7854738超臨界ウェーハ洗浄／乾燥媒体回収方法及びシステム

発明の名称　超臨界ウェーハ洗浄／乾燥媒体回収方法及びシステム

出願人　浙江大学　（識別番号 505072650）

　　　　特許公開件数ランキング 1241 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 690 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7854738

公報発行日　2026年5月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7854738

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7854738「超臨界ウェーハ洗浄／乾燥媒体回収方法及びシステム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録