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特許7860170真空排気装置
発明の名称 真空排気装置
出願人 エドワーズ株式会社 （識別番号 508275939）
特許公開件数ランキング 1086 位（8件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 878 位（9件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー （識別番号 392036326）
特許公開件数ランキング 16140 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 4591 位（3件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-7860170
公報発行日 2026年5月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7860170
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