特許7899731IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びパターン形成方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、前記事情に鑑みなされたもので、厚膜で微細な垂直パターン形成を容易に行うことができ、かつ、はんだ耐性、耐熱性、耐クラック性や、基板、電子部品、半導体素子等、特に回路基板に使用される基材に対する密着性や基板の低反り等の各種フィルム特性に優れ、電気・電子部品保護用皮膜や基板接着用皮膜等としての信頼性に優れる樹脂皮膜(樹脂層)を形成することができる感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びこれらを用いるパターン形成方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、(A)酸架橋性基含有シリコーン樹脂、(B)特定構造を有するエポキシ化合物、及び(C)光酸発生剤を含む感光性樹脂組成物によって、前記目的が達成できることを見出し、本発明を完成させた。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の感光性樹脂組成物は、幅広い膜厚範囲で皮膜形成でき、更に、後述するパターン形成方法によって厚膜で微細かつ垂直性に優れたパターンを容易に形成することが可能である。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムを用いて得られる皮膜は、はんだ耐性、耐熱性、基板の低反り性に優れており、また、基板、電子部品、半導体素子等、特に回路基板に使用される基材に対する密着性、耐クラック性等の機械的特性、銅マイグレーション耐性に優れる。また、前記皮膜は、絶縁保護膜としての信頼性が高く、回路基板、半導体素子、表示素子等の各種電気・電子部品保護用皮膜形成材料や基板接着用皮膜形成材料として好適に用いることができる。

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