特許7913238IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体装置および半導体装置の製造方法

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 半導体装置100の上面図の一例を示す。
【図1B】 図1Aにおけるa-a'断面図の一例である。
【図1C】 図1Aにおけるb-b'断面図の一例である。
【図1D】 半導体装置100のおもて面21における拡大図の一例を示す。
【図1E】 エミッタ領域12の下端における拡大図の一例を示す。
【図1F】 図1Dにおけるc-c'断面図の一例である。
【図1G】 図1Dにおけるd-d'断面図の一例である。
【図1H】 図1Dにおけるe-e'断面図の一例である。
【図2】 半導体装置100の製造方法の一例を説明するための図である。
【図3】 非接続領域59を有する半導体装置100の上面図の一例を示す。
【図4A】 半導体装置100の変形例を示す断面図である。
【図4B】 半導体装置100の変形例を示す断面図である。
【図5】 変形例である半導体装置100のおもて面21における拡大図の一例を示す。
【図6A】 変形例である半導体装置100のおもて面21における拡大図の一例を示す。
【図6B】 第1コンタクト部151を形成するための第1イオン注入領域251を示す半導体装置100の上面図の一例である。
【図6C】 第2コンタクト部152を形成するための第2イオン注入領域252を示す半導体装置100の上面図の一例である。
【図6D】 重複イオン注入領域253を示す半導体装置100の上面図の一例である。
【図7A】 変形例である半導体装置100の上面図の一例を示す。
【図7B】 図7Aにおけるf-f'断面図の一例である。
【図8A】 変形例である半導体装置100の上面図の一例を示す。
【図8B】 図8Aにおけるg-g'断面図の一例である。
【図9A】 変形例である半導体装置100の上面図の一例を示す。
【図9B】 図9Aにおけるh-h'断面図の一例である。
10・・・半導体基板、12・・・エミッタ領域、13・・・下端端部、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、17・・・ウェル領域、18・・・ドリフト領域、19・・・トレンチボトム領域、20・・・バッファ領域、21・・・おもて面、22・・・コレクタ領域、23・・・裏面、24・・・コレクタ電極、25・・・接続部、30・・・ダミートレンチ部、31・・・延伸部分、32・・・ダミー絶縁膜、33・・・接続部分、34・・・ダミー導電部、38・・・層間絶縁膜、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・延伸部分、42・・・ゲート絶縁膜、43・・・接続部分、44・・・ゲート導電部、50・・・ゲート金属層、52・・・エミッタ電極、54・・・コンタクトホール、55・・・コンタクトホール、56・・・コンタクトホール、58・・・コンタクトホール、59・・・非接続領域、60・・・コンタクトトレンチ部、62・・・プラグ、64・・・バリアメタル層、70・・・トランジスタ部、71・・・メサ部、80・・・ダイオード部、81・・・メサ部、82・・・カソード領域、92・・・上部領域、94・・・下部領域、100・・・半導体装置、130・・・ダミーゲートトレンチ部、132・・・第2ゲート絶縁膜、134・・・第2ゲート導電部、151・・・第1コンタクト部、152・・・第2コンタクト部、155・・・マスク、156・・・間引き領域、161・・・低濃度領域、171・・・高濃度領域、181・・・高濃度領域、182・・・低濃度領域、251・・・第1イオン注入領域、252・・・第2イオン注入領域、253・・・重複イオン注入領域

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