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公報発行日 2026年9月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7925217 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】新規なエアロゾル供給装置を提供する。
【解決手段】チャンバと、チャンバへの消耗品の挿入を検出する挿入センサのセットと、消耗品からエアロゾルを生成する生成器と、消耗品の挿入の検出に応答して、生成器にエアロゾルの生成を開始させるコントローラの機能が有効にされている自動開始モード、及び消耗品の挿入の検出に応答して、生成器にエアロゾルの生成を開始させるコントローラの機能が無効にされている非自動開始モードに従ってエアロゾル供給装置の動作を制御するコントローラと、入力に対応する入力データをコントローラに提供する制御インターフェースとを備え、コントローラが、自動開始モードから非自動開始モードに切り替える命令を制御インターフェースが受け取ったことに応答して、自動開始モードのエアロゾル供給装置の動作の制御から、非自動開始モードのエアロゾル供給装置の動作の制御に切り替える、エアロゾル供給装置。
【選択図】 図1
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