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原料溶液に超音波振動を印加して得られる原料溶液ミストを成膜対象物に供給するミスト成膜装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

成膜対象物上に精度良く薄膜を形成することができるミスト成膜装置を提供することを目的とする。そして、本開示のミスト成膜装置（１０１）における成膜ノズル（５Ａ）はノズル本体（２０）と調温プレート（３１）を含む調温機構とを備えている。ノズル本体（２０）は原料溶液ミスト（ＭＴ）を収容するミスト給気室（２１）を有し、原料溶液ミスト（ＭＴ）は、ミスト給気室（２１）のミスト供給口（２１ｏ）から成膜対象物（１０）に供給される。調温機構は、ミスト給気室（２１）内の温度が原料溶液（１）の溶媒の沸点に達しないように、ミスト給気室（２１）を冷却する冷却処理を調温処理として実行する。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、従来のミスト成膜装置２００は、薄膜の成膜の際、ヒーターステージ１１の輻射熱によって成膜対象物１０を加熱するため、ヒーターステージ１１からの熱が成膜ノズル５０にも伝搬し、成膜ノズル５０のミスト給気室５１内の温度が上昇する。ミスト給気室５１内の温度が上昇すると、ミスト給気室５１内の原料溶液ミストＭＴに関し、第１の温度上昇不具合現象や第２の温度上昇不具合現象が生じてしまう問題点があった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示のミスト成膜装置は、原料溶液に超音波振動を印加して原料溶液ミストを発生するミスト発生器と、前記原料溶液ミストを外部の成膜対象物に供給する成膜ノズルとを備えたミスト成膜装置であって、前記成膜ノズルは、前記原料溶液ミストを収容するミスト給気室を有するノズル本体と、前記ミスト給気室に対し調温処理を実行する調温機構とを含み、前記ミスト発生器で発生された前記原料溶液ミストは、前記ミスト給気室内に・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示のミスト成膜装置において、調温機構はミスト給気室に対し調温処理として冷却処理を実行して、原料溶液の溶媒の沸点に達しないようにミスト給気室内の温度上昇を抑制することにより、成膜対象物に供給される原料溶液ミストの劣化を回避することができる。

その結果、本開示のミスト成膜装置は、ミスト給気室の温度上昇を抑制して、品質の良い原料溶液ミストを成膜対象物に安定性良く供給することにより、成膜対象物上に精度良く薄膜を形成することができる。

本開示の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、実施の形態１のミスト成膜装置の構成を模式的に示す説明図である。
【図2】 図２は、図１で示した成膜ノズルの断面構造を模式的に示す説明図である。
【図3】 図３は、図１及び図２で示した成膜ノズルの構造の詳細を模式的に示す説明図（その１）である。
【図4】 図４は、図１及び図２で示した成膜ノズルの構造の詳細を模式的に示す説明図（その２）である。
【図5】 図５は、図１及び図２で示した成膜ノズルの構造の詳細を模式的に示す説明図（その３）である。
【図6】 図６は、実施の形態２のミスト成膜装置における成膜ノズルの断面構造を模式的に示す説明図である。
【図7】 図７は、図６で示したミスト成膜装置の構造の詳細を模式的に示す説明図（その１）である。
【図8】 図８は、図６で示したミスト成膜装置の構造の詳細を模式的に示す説明図（その２）である。
【図9】 図９は、実施の形態２のミスト成膜装置の第１の態様を模式的に示す平面図である。
【図10】 図１０は、実施の形態２のミスト成膜装置の第２の態様を模式的に示す平面図である。
【図11】 図１１は、実施の形態３のミスト成膜装置における成膜ノズルの断面構造を模式的に示す説明図である。
【図12】 図１２は、図１１で示したヒーター及び冷媒経路を制御する制御系を模式的に示す説明図である。
【図13】 図１３は、図１１で示した成膜ノズルの構造の詳細を模式的に示す説明図（その１）である。
【図14】 図１４は、図１１で示した成膜ノズルの構造の詳細を模式的に示す説明図（その２）である。
【図15】 図１５は、ミスト給気室のみを有する成膜ノズルの構造を模式的に示す説明図である。
【図16】 図１６は、従来のミスト成膜装置の構成を模式的に示す説明図である。
１ 原料溶液 ３ 超音波ミスト発生器 ４ ミスト搬送経路 ５Ａ～５Ｄ，５Ｂ１，５Ｂ２ 成膜ノズル １０ 成膜対象物 １１ ヒーターステージ １２ ミストフィルタ １３ ミスト排気経路 １４ 排気ポンプ １６，１６０，１６１ 成膜室 １７，１７０～１７２ 調温室 ２１ ミスト給気室 ２１ｏ ミスト供給スリット ２２ ミスト排気室 ２２ｉ ミスト取込スリット ２３，２３Ｂ～２３Ｄ ミスト供給用貫通口 ２４，２４Ｂ，２４Ｃ ミスト排気用貫通口 ２５，２５Ｂ，２５Ｃ ミスト供給管 ２６，２６Ｂ，２６Ｃ ミスト排気管 ３１～３４，３２１，３２２ 調温プレート ３２ｃ，３２ｃ０，３２ｃ１ プレート中央領域 ３２ｐ，３２ｐ０～３２ｐ２ プレート周辺領域 ３５ 制御部 ３８，３８１，３８２ 温度センサ ３９，３９１，３９２ ヒーター ４０，４０１，４０２ 冷媒経路 １０１～１０３ ミスト成膜装置 ＭＴ 原料溶液ミスト

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