特許7928661IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体装置

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施例に係る半導体装置100の上面図の一例を示す。
【図2】 図1における領域Aの一例を示す拡大図である。
【図3A】 図2におけるa-a'断面の一例を示す図である。
【図3B】 図2におけるb-b'断面の一例を示す図である。
【図3C】 図2におけるa-a'断面の他の一例を示す図である。
【図3D】 図2におけるa-a'断面の他の一例を示す図である。
【図3E】 図2におけるa-a'断面の他の一例を示す図である。
【図3F】 図2におけるa-a'断面の他の一例を示す図である。
【図4A】 図1における領域Bの一例を示す拡大図である。
【図4B】 図4Aにおけるc-c'断面の一例を示す図である。
【図4C】 コレクタ領域22およびカソード領域82の配置の一例を示す。
【図5】 図1における領域Bの他の一例を示す拡大図である。
【図6】 図1における領域Bの他のさらに一例を示す拡大図である。
【図7A】 図1における領域Aの他の一例を示す拡大図である。
【図7B】 図1における領域Aのさらに他の一例を示す拡大図である。

代表図 図1本件の代表的な図

10・・・半導体基板、12・・・エミッタ領域、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、17・・・ウェル領域、18・・・ドリフト領域、19・・・プラグ領域、20・・・バッファ領域、21・・・おもて面、22・・・コレクタ領域、23・・・裏面、24・・・コレクタ電極、25・・・接続部、30・・・ダミートレンチ部、31・・・延伸部分、32・・・ダミー絶縁膜、33・・・接続部分、34・・・ダミー導電部、38・・・層間絶縁膜、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・延伸部分、42・・・ゲート絶縁膜、43・・・接続部分、44・・・ゲート導電部、50・・・ゲート金属層、52・・・エミッタ電極、54・・・コンタクトホール、55・・・コンタクトホール、56・・・コンタクトホール、60・・・コンタクトトレンチ部、70・・・トランジスタ部、71・・・メサ部、80・・・ダイオード部、81・・・メサ部、82・・・カソード領域、90・・・混合部、91・・・メサ部、100・・・半導体装置、102・・・端辺、151・・・裏面側ライフタイム制御領域、152・・・おもて面側ライフタイム制御領域、160・・・活性領域、162・・・エッジ終端構造部、970・・・トランジスタ領域、980・・・ダイオード領域、1070・・・仮想トランジスタ部、1080・・・仮想ダイオード部

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