特許 7928814出願番号特願 2023-571775
フル・ナノシート・エア・ギャップ・スペーサ

出願人インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション（識別番号 390009531）

2026年特許公開件数ランキング 132位 191件（※）

2026年特許取得件数ランキング 34位 453件（※）

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公報発行日　2026年10月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7928814　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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技術分野

一般に、半導体デバイス製造の分野に関し、より詳細には、積層されたシート間の積層されたエア・ギャップおよびエッジに沿った側部サブウェイ・エア・ギャップを有するナノシート・トランジスタを製造すること

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の一実施形態による、処理方法の製造段階におけるナノシート・トランジスタを示す図である。

【図2】図１のナノシート・トランジスタの断面側面図であり、同様の参照番号は、同様のフィーチャを指し、処理方法のその後の製造段階におけるものである。

【図3】図１のナノシート・トランジスタの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は、同様のフィーチャを指し、処理方法のその後の製造段階におけるものである。

【図4】図７の製造段階におけるナノシート・トランジスタの概略上面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指す。

【図5】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図6】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図7】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図8】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図9】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図10】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図11】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図12】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図13】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図14】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図15】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図16】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図17】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図18】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図19】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

【図20】図４に示す各位置におけるナノシート・トランジスタの４つの断面側面図であり、前の図の同様の参照番号は同様のフィーチャを指し、直前の図に続く処理方法の製造段階におけるものである。

代表図図1本件の代表的な図

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特許 7928814出願番号 特願 2023-571775フル・ナノシート・エア・ギャップ・スペーサ