特許 7928817出願番号特願 2024-529453
ハイブリッド金属インターコネクト

出願人インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション（識別番号 390009531）

2026年特許公開件数ランキング 132位 191件（※）

2026年特許取得件数ランキング 34位 453件（※）

公報発行日　2026年10月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7928817　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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【図1】本発明の実施形態による、すべてがデバイスの異なる領域に存在し得る、狭いトレンチ、中間トレンチおよび広いトレンチを含む様々なトレンチでのハイブリッド金属インターコネクトの製造におけるステップの断面図である。

【図2】本発明の実施形態による、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを製造するステップの断面図であり、狭いトレンチ、中間トレンチおよび広いトレンチを含むトレンチに拡散バリアがコンフォーマルに付着される。

【図3】本発明の実施形態による、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを製造するステップの断面図であり、狭いトレンチ、中間トレンチおよび広いトレンチを含むトレンチに第１の金属ライナがコンフォーマルに付着される。

【図4】本発明の実施形態による、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを製造するステップの断面図であり、狭いトレンチ、中間トレンチおよび広いトレンチを含むトレンチを満たすように第２の金属層が付着される。

【図5】本発明の実施形態による、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを製造するステップの断面図であり、優先的に狭いトレンチから材料を除去する一方、より広いトレンチにより多くの量を残すように、第２の金属層がオーバーポリッシュされる。

【図6】本発明の実施形態による、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを製造するステップの断面図であり、狭いトレンチ、中間トレンチおよび広いトレンチを含むトレンチを満たすために第３の金属層が付着される。

【図7】本発明の実施形態による、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを製造するステップの断面図であり、第３の金属層を研磨することにより、トレンチ幅に応じて金属の割合が異なるハイブリッド金属インターコネクトがトレンチに形成される。

【図8】本発明の実施形態による、トレンチ幅に応じて金属の割合が異なる、様々な幅のトレンチにハイブリッド金属インターコネクトを形成する方法のブロック／流れ図である。

【図9】本発明の実施形態による、比較的狭い導電性ラインおよび比較的広い導電性ラインを含む様々な回路構成要素を含む回路の概略図である。

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