特許7929792IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明が解決しようとする課題は、アバランシェ耐量を向上できる半導体装置を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

半導体装置は、第1電極と、第1導電形の第1半導体領域と、第2導電形の第2半導体領域と、前記第1導電形の第3半導体領域と、第2電極と、第3電極と、第1絶縁部と、第4電極と、第2絶縁部と、接続部と、を備える。前記第1半導体領域は、前記第1電極の上に設けられる。前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域の上に設けられる。前記第3半導体領域は、前記第2半導体領域の上に設けられる。前記第2・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第1半導体装置を表す平面図である。
【図2】 第1半導体装置の一部を表す平面図である。
【図3】 第1半導体装置の一部を表す断面図である。
【図4】 第1半導体装置の一部を表す断面図である。
【図5】 第1半導体装置の一部を表す断面図である。
【図6】 第1実施形態の第1変形例に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
【図7】 第1実施形態の第2変形例に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
【図8】 第1実施形態の第3変形例に係る半導体装置の一部を表す断面図である。
【図9】 第2半導体装置の一部を表す平面図である。
【図10】 第2半導体装置の一部を表す断面図である。
【図11】 第3半導体装置の一部を表す平面図である。
【図12】 第3半導体装置の一部を表す断面図である。
【図13】 第4半導体装置の一部を表す平面図である。
【図14】 第4半導体装置の一部を表す断面図である。
【図15】 図15(a)~図15(h)は、第1半導体装置の製造方法の一例を表す断面図である。
【図16】 図16(a)~図16(h)は、第2半導体装置の製造方法の一例を表す断面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

11:ドレイン電極(第1電極) 12:ソース電極(第2電極) 13:ゲート電極(第3電極) 13a:第1電極領域 13b:第2電極領域 13c:第3電極領域 14:FP電極(第4電極) 15:ゲートパッド 21:n-形ドリフト領域(第1半導体領域) 22:p形ベース領域(第2半導体領域) 23:n+形ソース領域(第3半導体領域) 24:p+形半導体領域(第4半導体領域) 24a:第1半導体部分 24b:第2半導体部分 24c:第3半導体部分 24d:第4半導体部分 24e:第5半導体部分 24f:第6半導体部分 27:p+形コンタクト領域 28:n+形ドレイン領域 31:ゲート絶縁部(第1絶縁部) 31a:第1絶縁領域 31a1:第1絶縁部分 31a2:第2絶縁部分 31b:第2絶縁領域 31b1:第3絶縁部分 31b2:第4絶縁部分 31c:第3絶縁領域 31c1:第5絶縁部分 31c2:第6絶縁部分 32:FP絶縁部(第2絶縁部) 40:接続部 41:第1接続部 42:第2接続部 43:第3接続部 51:絶縁層 61a、61b:半導体領域 62a、62b、62c、62d:絶縁領域 63a、63b、63c:導電領域 65:トレンチ 66:ビア 71a、71b、71c、71d、71e:半導体領域 72a、72b、72c、72d、72e:絶縁領域 73a、73b、73c:導電領域 75:トレンチ 76:ビア 100、100A、100B、100C、200、300、400:半導体装置

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