特許7930107IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

ウェーハ処理装置及びウェーハ処理方法に係り、さらに詳細には、ＥＦＥＭ（equipment front end module）を含むウェーハ処理装置、及び前記ウェーハ処理装置を利用したウェーハ処理方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明が解決しようとする課題は、プロセスチャンバ内に設けられるウェーハ処理装置のサイズを縮小させ、単位面積当たりウェーハ処理効率を改善させることができるウェーハ処理装置を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

前記目的を達成するために、本開示の例示的な実施形態として、第１ＥＦＥＭ（equipment front end module）であり、第１ウェーハを収容する第１ウェーハキャリアを保管する第１雰囲気調節チャンバ；前記第１雰囲気調節チャンバの内部に空気を噴射するように構成された第１上部エア供給装置；前記第１雰囲気調節チャンバの下に配された第１ＥＦＥＭチャンバ；前記第１ＥＦＥＭチャンバの少な・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理装置が含むＥＦＥＭのロードロックは、ＥＦＥＭチャンバの少なくとも一部分と垂直方向に重なり合うように配されうる。それにより、ＥＦＥＭのサイズが縮小され、前記ＥＦＥＭを含む前記ウェーハ処理装置の単位面積当たりウェーハ処理効率が改善されうる。

また、本開示の例示的実施形態によるＥＦＥＭがウェーハを収容するウェーハキャリアを全体としてハンドリングするように構成されたウェーハキャリア移送アームを含むことができ、前記ＥＦＥＭを含むウェーハ処理装置のウェーハ処理効率が改善されうる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理装置の平面図である。
【図2】 図１のII－II’で表された領域の切断断面図である。
【図3】 図１のIII－III’で表された領域の切断断面図である。
【図4】 比較例によるウェーハ処理装置の平面図である。
【図5A】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5B】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5C】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5D】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5E】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5F】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5G】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図5H】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図6】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理装置の平面図である。
【図7】 図６のVII－VII’で表された領域の切断断面図である。
【図8】 図６のVIII－VIII’で表された領域の切断断面図である。
【図9】 本開示の例示的実施形態による第１ＥＦＥＭの断面図である。
【図10A】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10B】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10C】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10D】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10E】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10F】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10G】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10H】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10I】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10J】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。
【図10K】 本開示の例示的実施形態によるウェーハ処理方法の各段階を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１ ウェーハ処理装置 １０ 第１ＥＦＥＭ ２０ 第２ＥＦＥＭ ３０ ウェーハキャリア移送装置 ４０ ウェーハ移送チャンバ ４５ ウェーハアライナ ５０ ウェーハ移送アーム ６０ ウェーハ処理チャンバ ６７ 処理ボックス １６０ 第１ＥＦＥＭアーム ２６０ 第２ＥＦＥＭアーム ３１０ ウェーハキャリア移送ライン ３２０ ウェーハキャリア移送ロボット

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