しかしながら、の光位相変調器では、層間絶縁膜の伝熱性が低く、光導波路部の温度とサーミスタで検出される温度との間で差が発生し易い。このため、光導波路部と加熱部との間の熱抵抗と、加熱部とサーミスタとの間の熱抵抗とが等しくなるように、光導波路部と加熱部との間の距離と、加熱部とサーミスタとの間の距離を調整することが考えられる。しかしながら、この構成では、実際には、光導波路部と加熱部との間に位置する部分の材料と、加熱部とサーミスタとの間に配置される部分の材料とが異なるため、熱抵抗を等しくするための設計が複雑になり易い。そして、本発明者らは、リブ部を有する光導波路部について、リブ部と温度センス素子で検出される温度との差を小さくできる光位相変調器について検討している。

目的を達成するための請求項１は、光位相変調器であって、半導体層（１３）を有する半導体基板（１０）と、半導体層に、一方向を延設方向として延設され、光が伝搬されると共にＰＮ接合を有する構成とされたリブ部（２２）を有する変調部（Ｍ）と、リブ部の温度に基づいた検出信号を出力する温度センス素子（４０）と、半導体層を覆い、半導体層よりも伝熱性が低い材料で構成された層間絶縁膜（５０）と、を備え、変調部・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る