特許 7931818出願番号特願 2024-166113
化学機械研磨システムのための水蒸気処理ステーション

出願人アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド（識別番号 390040660）

2026年特許公開件数ランキング 31位 537件（※）

2026年特許取得件数ランキング 45位 387件（※）

公報発行日　2026年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7931818　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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化学機械研磨（CMP）に関し、特に、CMP中の洗浄又は予熱のための水蒸気（steam）の使用

【図1】研磨装置の一実施例の概略平面図である。

【図2A】例示的なキャリアヘッド水蒸気処理アセンブリの概略断面図である。

【図2B】例示的な調整ヘッド水蒸気処理アセンブリの概略断面図である。

【図3A】研磨装置の研磨ステーションの一実施例の概略断面図である。

【図3B】化学機械研磨装置の一実施例の研磨ステーションの概略上面図である。

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