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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7755587 基板処理システムのためのイーサキャット液体流量コントローラ通信 2025年10月16日
特許 7755601 窒素ドープされた炭素ハードマスクフィルム 2025年10月16日
特許 7755013 熱処理チャンバのエッジリング距離を測定する装置、システム、及び方法 2025年10月15日
特許 7755044 底部誘電体絶縁層を形成する方法 2025年10月15日
特許 7755048 基板の熱処理を補正するためのシステム、方法及び装置 2025年10月15日
特許 7753315 プロセスキットリング摩耗の検出器 2025年10月14日
特許 7753393 フォトレジスト中に金属酸化物を浸潤させる方法 2025年10月14日
特許 7752663 洗浄および表面処理のための原子状酸素およびオゾン装置 2025年10月10日
特許 7752764 イオン源ガス注入によるビーム整形 2025年10月10日
特許 7752249 処理チャンバの較正 2025年10月 9日
特許 7751619 ファクトリインターフェース設置面積スペース中にロードロックを組み込むためのシステムおよび方法 2025年10月 8日
特許 7751737 電荷トラップ層を備えた支持基板を準備するためのプロセス 2025年10月 8日
特許 7751740 プラズマリアクタ内の電極上のイオンエネルギー制御 2025年10月 8日
特許 7750856 基板の両側から孔を形成する方法 2025年10月 7日
特許 7750945 高温双極静電チャック 2025年10月 7日

484 件中 1-15 件を表示

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7755587 7755601 7755013 7755044 7755048 7753315 7753393 7752663 7752764 7752249 7751619 7751737 7751740 7750856 7750945

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