特許7931915IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

評価装置、および、評価方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】コンタミネーションの観点で、作業空間内の手技を適切に評価すること。
【解決手段】評価装置20は、汚染リスクを求める対象物およびその周辺に位置する周辺物を作業者の作業に関連する作業物とし、その作業物の位置及び姿勢を解析する位置姿勢解析部22と、位置姿勢解析部22の解析結果をもとに、対象物と各周辺物との近接度を解析する近接度解析部24と、対象物の状態を解析する状態解析部21Bと、各周辺物の汚染度を解析する汚染度解析部25と、各周辺物の汚染度と、対象物と各周辺物との近接度と、対象物の状態とをもとに、対象物の汚染リスクを計算する汚染リスク演算部27と、対象物の汚染リスクを出力する警告発出部28とを有する。
【選択図】 図5

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

作業者が行う調合などの手技の精度は、作業者の力量によって大きく影響される。例えば、初心者は、互いに近接させてはいけない試料どうしを、誤って安全キャビネット内で近接させてしまうこともある。そのため、安全キャビネット内での作業内容を監視して手技を評価し、誤った手技に対して適切に警告したり事後で検証したりするようなシステムが望まれる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の評価装置は、以下の特徴を有する。 評価装置は、汚染リスクを求める対象物およびその周辺に位置する周辺物を作業者の作業に関連する作業物とし、その作業物の位置及び姿勢を解析する位置姿勢解析部と、 前記位置姿勢解析部の解析結果をもとに、前記対象物と前記各周辺物との近接度を解析する近接度解析部と、 前記対象物の状態を解析する状態解析部と、 前記各周辺物の汚染度を解析する汚染度解・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示によれば、コンタミネーションの観点で、作業空間内の手技を適切に評価することができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本実施形態に関するコンタミネーション評価システムの処理概要を示す説明図である。
【図2】 本実施形態に関する図1の手技が行われる作業現場としての安全キャビネットを示す外観図である。
【図3】 本実施形態に関するコンタミネーション評価システムの概要図である。
【図4】 本実施形態に関する評価装置のハードウェア構成図である。
【図5】 本実施形態に関する評価装置の構成図である。
【図6】 本実施形態に関する評価装置のメイン処理を示すフローチャートである。
【図7】 本実施形態に関する位置姿勢解析部の処理の詳細を示すフローチャートである。
【図8】 本実施形態に関する汚染度更新部の汚染度を更新する処理の詳細を示すフローチャートである。
【図9】 本実施形態に関する汚染度更新部の処理の説明図である。
【図10】 本実施形態に関する図9の説明図に対応するログ記録部の記録データを示すテーブルである。
【図11】 本実施形態に関する作業物の状態と作業物の汚染度との組み合わせの第1例を示すグラフである。
【図12】 本実施形態に関する作業物の状態と作業物の汚染度との組み合わせの第2例を示すグラフである。
【図13】 本実施形態に関する作業物の状態と作業物の汚染度との組み合わせの第3例を示すグラフである。
【図14】 本実施形態に関する1つの作業物を複数のエリアに分割する処理の説明図である。
【図15】 本実施形態に関する図6のメイン処理に対して、補足説明を行うためのシーケンス図である。
【図16】 本実施形態に関するログ記録部およびログ表示部に着目したシーケンス図である。
【図17】 本実施形態に関する軌道予測部に着目したシーケンス図である。
【図18】 本実施形態に関する評価装置を半導体製造装置の保守作業に応用した場合の表示画面図である。

代表図 図5本件の代表的な図

11 計測器 12 データベース 13 スピーカ 14 ディスプレイ 20 評価装置 21A 計測情報 21B 状態解析部 22 位置姿勢解析部 23 軌道予測部 24 近接度解析部 25 汚染度解析部 26 汚染度更新部 27 汚染リスク演算部 28 警告発出部(出力部) 29A ログ記録部 29B ログ表示部 100 コンタミネーション評価システム 320 安全キャビネット 321 作業空間

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