特許7932539IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

本発明の一態様はチャネル形成領域に酸化物半導体膜を用いた薄膜トランジスタ(以下、 TFTという)で構成された回路を有する半導体装置およびその作製方法に関する。例え ば、液晶表示パネルに代表される電気光学装置や有機発光素子を有する発光表示装置を部 品として搭載した電子機器

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

チャネル形成領域に酸化物半導体膜を用いる薄膜トランジスタには、動作速度が速く、製 造工程が比較的簡単であり、十分な信頼性であることが求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、半導体層としてIn、Ga、及びZnを含む酸化物半導体層を用い、 半導体層とソース電極層及びドレイン電極層との間にバッファ層を設けた逆スタガ型(ボ トムゲート構造)の薄膜トランジスタを含むことを要旨とする。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様によって、光電流が少なく、寄生容量が小さく、オン・オフ比の高い薄膜
トランジスタを得ることができ、良好な動特性(f特性)を有する薄膜トランジスタを作
製できる。よって、電気特性が高く信頼性のよい薄膜トランジスタを有する半導体装置を
提供できる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一態様の半導体装置を説明する図。
【図2】 本発明の一態様の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図3】 本発明の一態様の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図4】 本発明の一態様の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図5】 本発明の一態様の半導体装置を説明する図。
【図6】 本発明の一態様の半導体装置を説明する図。
【図7】 本発明の一態様の半導体装置を説明する図。
【図8】 本発明の一態様の半導体装置を説明する図。
【図9】 マルチチャンバー型の製造装置の上面模式図。
【図10】 表示装置のブロック図を説明する図。
【図11】 信号線駆動回路の構成を説明する図。
【図12】 信号線駆動回路の動作を説明するタイミングチャート。
【図13】 信号線駆動回路の動作を説明するタイミングチャート。
【図14】 シフトレジスタの構成を説明する図。
【図15】 図14に示すフリップフロップの接続構成を説明する図。
【図16】 本発明の一態様を適用した液晶表示装置を説明する図。
【図17】 本発明の一態様を適用した電子ペーパーを説明する図。
【図18】 本発明の一態様を適用した発光表示装置を説明する図。
【図19】 本発明の一態様を適用した発光表示装置を説明する図。
【図20】 本発明の一態様を適用した発光表示装置を説明する図。
【図21】 本発明の一態様を適用した発光表示装置を説明する図。
【図22】 本発明の一態様を適用した液晶表示装置を説明する図。
【図23】 本発明の一態様を適用した液晶表示装置を説明する図。
【図24】 本発明の一態様を適用した電子機器を説明する図。
【図25】 本発明の一態様を適用した電子機器を説明する図。
【図26】 本発明の一態様を適用した電子機器を説明する図。
【図27】 本発明の一態様を適用した電子機器を説明する図。
【図28】 本発明の一態様を適用した電子機器を説明する図。
【図29】 キャリア濃度とホール移動度との関係を説明する図。

代表図 図1本件の代表的な図

80 搬送室 81 搬送ロボット 82 カセット室 83 ゲートバルブ 84 ゲートバルブ 85 ゲートバルブ 86 ゲートバルブ 87 ゲートバルブ 88 ゲートバルブ 89 処理室 90 処理室 91 処理室 92 処理室 93 処理室 94 基板 100 基板 101 ゲート電極 101a ゲート電極 101b ゲート電極 102 ゲート絶縁膜 102a ゲート絶縁膜 102b ゲート絶縁膜 103 半導体層 104 バッファ層 104a バッファ層 104b バッファ層 104c バッファ層 105 導電膜 105a、105b ソース電極層及びドレイン電極層 105a1 ソース電極層 105b1 ドレイン電極層 105a2 ソース電極層 105b2 ドレイン電極層 105c 導電層 106 チャネル保護層 114a バッファ層 114b バッファ層 133 半導体膜 134 酸化物半導体膜 200 基板 201 薄膜トランジスタ 202 ソース配線層 203 ゲート配線層 204 容量配線層 211 絶縁層 212 絶縁層 213 絶縁層 255 電極層 260 液晶表示素子 261 絶縁層 262 液晶層 263 絶縁層 264 着色層 265 電極層 266 基板 267 偏光板 268 偏光板 301 薄膜トランジスタ 302 薄膜トランジスタ 303 発光素子 304 容量素子 305 ソース配線層 306 ゲート配線層 307 電源線 311 絶縁層 312 絶縁層 313 絶縁層 320 電極層 321 隔壁 322 電界発光層 323 電極層 504 走査線駆動回路 581 薄膜トランジスタ 585 絶縁層 587 電極層 587a 電極層 588 電極層 589 球形粒子 590a 黒色領域 590b 白色領域 594 キャビティ 595 充填材 1000 携帯電話機 1001 筐体 1002 表示部 1003 操作ボタン 1004 外部接続ポート 1005 スピーカ 1006 マイク 1601 ポスター 1602 車内広告 2100 デジタルプレーヤー 2130 本体 2131 表示部 2132 メモリ部 2133 操作部 2134 イヤホン 2137 制御部 2600 TFT基板 2601 対向基板 2602 シール材 2603 画素部 2604 表示素子 2605 着色層 2606 偏光板 2607 偏光板 2608 配線回路部 2609 フレキシブル配線基板 2610 冷陰極管 2611 反射板 2612 回路基板 2613 拡散板 2700 電子書籍 2701 筐体 2703 筐体 2705 表示部 2707 表示部 2711 軸部 2721 電源 2723 操作キー 2725 スピーカ 4001 基板 4002 画素部 4003 信号線駆動回路 4004 走査線駆動回路 4005 シール材 4006 基板 4008 液晶層 4010 薄膜トランジスタ 4011 薄膜トランジスタ 4013 液晶素子 4015 接続端子 4016 配線 4018 FPC 4019 異方性導電膜 4030 画素電極層 4031 対向電極層 4032 絶縁層 4501 基板 4502 画素部 4503a 信号線駆動回路 4504a 走査線駆動回路 4505 シール材 4506 基板 4507 充填材 4509 薄膜トランジスタ 4510 薄膜トランジスタ 4511 発光素子 4515 接続端子 4516 配線 4517 電極層 4518a FPC 4519 異方性導電膜 5300 基板 5301 画素部 5302 走査線駆動回路 5303 信号線駆動回路 5400 基板 5401 画素部 5402 走査線駆動回路 5403 信号線駆動回路 5404 走査線駆動回路 5501 配線 5502 配線 5503 配線 5504 配線 5505 配線 5506 配線 5543 ノード 5544 ノード 5571 薄膜トランジスタ 5572 薄膜トランジスタ 5573 薄膜トランジスタ 5574 薄膜トランジスタ 5575 薄膜トランジスタ 5576 薄膜トランジスタ 5577 薄膜トランジスタ 5578 薄膜トランジスタ 5601 ドライバIC 5602 スイッチ群 5603a 薄膜トランジスタ 5603b 薄膜トランジスタ 5603c 薄膜トランジスタ 5611 配線 5612 配線 5613 配線 5621 配線 5701 フリップフロップ 5703a タイミング 5703b タイミング 5703c タイミング 5711 配線 5712 配線 5713 配線 5714 配線 5715 配線 5716 配線 5717 配線 5721 信号 5803a タイミング 5803b タイミング 5803c タイミング 5821 信号 7001 駆動用TFT 7002 発光素子 7003 陰極 7004 発光層 7005 陽極 7011 駆動用TFT 7012 発光素子 7013 陰極 7014 発光層 7015 陽極 7016 遮蔽膜 7017 導電膜 7021 駆動用TFT 7022 発光素子 7023 陰極 7024 発光層 7025 陽極 7027 導電膜 8310 比抵抗/ホール測定システムResiTest 9600 テレビジョン装置 9601 筐体 9603 表示部 9605 スタンド 9607 表示部 9609 操作キー 9610 リモコン操作機 9700 デジタルフォトフレーム 9701 筐体 9703 表示部

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