技術分野
薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴという）で構成された回路を有する半導体装置および
その作製方法に関する。例えば、液晶表示パネルに代表される電気光学装置や有機発光素
子を有する発光表示装置を部品として搭載した電子機器
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】酸化物半導体層を用い、電気特性の優れた薄膜トランジスタを備えた半導体装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
酸化物半導体層を用い、電気特性の優れた薄膜トランジスタを備えた半導体装置を提供す
ることを課題の一つとする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
絶縁表面上に金属薄膜を成膜した後、金属薄膜よりも膜厚の厚い酸化物半導体層を積層し
、その後、加熱処理などの酸化処理を行うことで金属薄膜の一部または全部を酸化させる
。金属薄膜としては、酸化処理により半導体を示す材料、例えばインジウム、亜鉛、錫、
モリブデン、またはタングステンなどを用いることが好ましい。酸化させた金属薄膜は、
第１の酸化物半導体層となり、その上に設けられている第２の酸化物半導体層・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
積層の酸化物半導体層を用い、電気特性の優れた薄膜トランジスタを備えた半導体装置を
また、同一基板上に積層の酸化物半導体層を有する薄膜トランジスタと、単層の酸化物半
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図2】
半導体装置の一例を示す断面図及び等価回路図および上面図。
【図3】
半導体装置の一例を示す等価回路図。
【図4】
半導体装置のブロック図の一例を説明する図。
【図5】
信号線駆動回路の構成の一例を説明する図。
【図6】
信号線駆動回路の動作の一例を説明するタイミングチャート。
【図7】
信号線駆動回路の動作の一例を説明するタイミングチャート。
【図8】
シフトレジスタの構成の一例を説明する図。
【図9】
図８に示すフリップフロップの接続構成の一例を説明する図。
【図10】
半導体装置の画素等価回路の一例を説明する図。
【図11】
半導体装置の一例を説明する断面図。
【図12】
半導体装置の一例を説明する上面図及び断面図。
【図13】
半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図14】
画素の一例を示す上面図。
【図15】
画素部、容量部、端子部の一例を示す断面図。
【図16】
端子部の一例を示す上面図および断面図。
【図17】
画素の一例を示す上面図。
【図18】
半導体装置の一例を説明する上面図及び断面図。
【図19】
半導体装置の一例を説明する断面図。
【図20】
半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図21】
半導体装置の作製工程の一例を示す断面図。
【図22】
半導体装置の一例を説明する断面図及び電子機器の外観図。
【図23】
電子機器の一例を示す図。
【図24】
電子機器の一例を示す図。
１０１ ゲート電極
１０３ 酸化物半導体層
１０８ 容量配線
１１０ 画素電極層
１２０ 接続電極
１２１ 端子
１２２ 端子
１２８ 透明導電膜
１２９ 透明導電膜
１５０ 端子
１５４ 保護絶縁膜
１５５ 透明導電膜
１５６ 電極
３５０ 基板
３５１ ゲート電極層
３５２ ゲート絶縁層
３５３ 半導体層
３５７ 絶縁膜
３６０ 薄膜トランジスタ
３８０ 金属薄膜
３８１ 酸化物半導体膜
３８３ 導電膜
３８４ マスク
３８５ 酸化物半導体層
３８７ 導電層
３８８ マスク
３９０ 金属薄膜
３９１ 酸化物半導体層
４００ 基板
４０１ ゲート電極
４０２ ゲート電極
４０３ ゲート絶縁層
４０４ コンタクトホール
４０５ 酸化物半導体層
４０７ 酸化物半導体層
４０９ 第１配線
４１０ 第２配線
４１１ 第３配線
４１２ 保護絶縁層
４２０ 薄膜トランジスタ
４３０ 薄膜トランジスタ
４３１ 薄膜トランジスタ
４５１ 酸化物半導体層
４６０ 薄膜トランジスタ
４６１ 薄膜トランジスタ
４７０ 金属薄膜
４７１ 酸化物半導体層
４７２ 電極
４７３ 絶縁層
４７４ 電極
４７５ 有機化合物層
４８１ 酸化物半導体膜
４８５ 酸化物半導体層
４９０ 金属薄膜
４９１ 酸化物半導体層
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