特許7932691IP Force 特許公報全文掲載

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例えば、触媒、抗菌・抗ウイルス材等の各種デバイスに利用される複合微粒子の製造方法及び複合微粒子

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施の形態1に係る複合微粒子の製造方法のフローの一例を説明する図である。
【図2】 熱プラズマ装置の断面構成を示す概略断面図である。
【図3】 実施の形態1に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の粉末X線回折測定の結果を示す図である。
【図4】 実施の形態1に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の透過電子像である。
【図5】 実施の形態2に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の粉末X線回折測定の結果を示す図である。
【図6】 実施の形態2に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の透過電子像である。
【図7】 実施の形態3に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の透過電子像である。
【図8】 実施の形態4に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の透過電子像である。
【図9】 実施の形態5に係る複合微粒子の製造方法により得られた複合微粒子の透過電子像である。

代表図 図1本件の代表的な図

10 材料供給器 20 反応室 30 ポンプ 31 コンダクタンスバルブ 40、41 ガス供給管 42 材料供給管 50 バグフィルタ 60 材料 70 熱プラズマ 80 複合微粒子 90、91 冷却ガス供給管

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