特表 2022-504308 剥離を支援するための装置、並びにそれを使用する剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-13

(54)【発明の名称】剥離を支援するための装置、並びにそれを使用する剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220105BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 P

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

(21)【出願番号】P 2021518695

(86)(22)【出願日】2019-10-01

(85)【翻訳文提出日】2021-06-03

(86)【国際出願番号】 US2019053960

(87)【国際公開番号】W WO2020072422

(87)【国際公開日】2020-04-09

(31)【優先権主張番号】10-2018-0118360

(32)【優先日】2018-10-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】397068274

【氏名又は名称】コーニング インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100073184

【弁理士】

【氏名又は名称】柳田 征史

(74)【代理人】

【識別番号】100123652

【弁理士】

【氏名又は名称】坂野 博行

(74)【代理人】

【識別番号】100175042

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 秀明

(72)【発明者】

【氏名】コン，ボギョン

(72)【発明者】

【氏名】イ，ジュヨン

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA03

5F131AA13

5F131AA33

5F131BA60

5F131CA09

5F131DA02

5F131DA22

5F131DA42

5F131EB01

5F131EB52

5F131EB81

5F131KA22

5F131KA54

(57)【要約】

キャリアガラスシートと極薄ガラスシートとを剥離するプロセスを支援するための装置。吸引プレートは、その上に着座させたガラス積層体を吸引保持するための吸引孔を画成する複数の吸引孔部と、ガラス積層体の極薄ガラスシートの一方の表面から突出する少なくとも１つのデバイス層を収容する少なくとも１つの凹所を画成する少なくとも１つの凹部とを含む。複数の吸盤は、それぞれ、該複数の吸盤が、極薄ガラスシート及びデバイス層の接触圧力に応じて弾性的に圧縮可能になるように、複数の吸引孔部に取り付けられる。真空ポンプは、複数の吸引孔部に接続されて、該複数の吸引孔部に負圧を印加する。コントローラは、真空ポンプを制御して、複数の吸引孔部に印加された負圧を調整する。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

単一のガラス積層体として接合されたキャリアガラスシートと極薄ガラスシートとを剥離するプロセスを支援するための装置であって、該装置が、
その上に着座させたガラス積層体を吸引保持するための吸引孔を画成する複数の吸引孔部と、前記ガラス積層体の極薄ガラスシートの一方の表面から突出する少なくとも１つのデバイス層を収容する少なくとも１つの凹所を画成する少なくとも１つの凹部とを含む吸引プレート；
前記極薄ガラスシート及び前記デバイス層の接触圧力に応じて、弾性的に圧縮可能になるように、それぞれ、前記複数の吸引孔部に取り付けられた複数の吸盤；
前記複数の吸引孔部に接続されて前記複数の吸引孔部に負圧を印加する真空ポンプ；及び
前記真空ポンプを制御して前記複数の吸引孔部に印加された前記負圧を調整するコントローラ
を含む、装置。

【請求項2】

前記凹部が、前記デバイス層の厚さより深い、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記少なくとも１つの凹部が、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの表面に配置されており、かつ
前記吸引プレートが、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの前記表面上の前記少なくとも１つの凹部を取り囲む周辺部をさらに含む、
請求項１又は２に記載の装置。

【請求項4】

前記少なくとも１つの凹部が、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの表面に配置された複数の凹部を含み、かつ
前記吸引プレートが、前記複数の凹部を取り囲む周辺部と、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの前記表面の前記複数の凹部のうちの隣接する凹部間に配置されたリブとをさらに含む、
請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。

【請求項5】

前記吸引プレートが、
前記複数の凹部のうちの各凹部に設けられた前記複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第１の流路であって、前記真空ポンプに接続する第１の流路；
前記周辺部に設けられた前記複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第２の流路であって、前記真空ポンプに接続する第２の流路；及び
前記リブに設けられた前記複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第３の流路であって、前記真空ポンプに接続する第３の流路
を備えている、請求項４に記載の装置。

【請求項6】

前記吸引プレートが、それぞれ、前記第１の流路、前記第２の流路、及び前記第３の流路上に配置された制御弁をさらに備えている、請求項５に記載の装置。

【請求項7】

前記第１の流路が、それぞれ、前記複数の凹部に設けられた、個別に制御される複数の第１の流路を含む、請求項６に記載の装置。

【請求項8】

前記複数の吸盤の各々が、
前記複数の吸引孔部のうちの対応する吸引孔部の内周面に固定された固定部であって、第１の孔部が前記固定孔部の長手方向に延びる、固定部；及び
前記固定部の先端に結合されて前記吸引プレートの上面から突出する動作部であって、第２の孔部が前記動作部の長手方向に延びて前記第１の孔部と連通しており、前記動作部が前記極薄ガラスシート又は前記デバイス層の接触圧力に応じて弾性的に圧縮可能である、動作部
を含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。

【請求項9】

前記固定部の外周面が、前記対応する吸引孔部の前記内周面とねじ嵌合する、請求項８に記載の装置。

【請求項10】

前記動作部がベローズを含む、請求項９に記載の装置。

【発明の詳細な説明】

【関連出願の相互参照】

【0001】

本出願は、その内容が依拠され、その全体がここに参照することによって本願に援用される、２０１８年１０月４日出願の韓国特許出願第１０－２０１８－０１１８３６０号の米国法典第３５編特許法１１９条に基づく優先権の利益を主張する。

【技術分野】

【0002】

本開示は、剥離を支援するための装置、並びにそれを使用する剥離方法に関する。より詳細には、剥離を支援するための装置並びにそれを使用する剥離方法は、その一方の表面にデバイス層が突出している極薄ガラスシートと、該極薄ガラスシートのもう一方の表面に接合されたキャリアガラスシートとを剥離するプロセスを確実に支援することができ、その各々の上に厚さの異なるデバイス層が設けられた極薄ガラスシートを剥離するプロセスに共通に使用することができる。

【背景技術】

【0003】

概して、極薄ガラスは、入手可能であるにもかかわらず、取り扱いが難しいことから、適用性が低いという欠点を有している。厚さが２０μｍ～２５０μｍの極薄ガラスシートは、軽微な衝撃が加えられた場合でも引っかき傷が付きやすく、このような引っかき傷は、極薄ガラスシートの損傷又は破損の原因となりうる。これに関しては、一般的に、極薄ガラスシートよりも硬く、例えば０．５ｍｍ以上の厚さを有する薄いガラスシートを、極薄ガラスシートを接合する裏張りとして用い、得られた構造は、単一のユニット（シート）として取り扱われる。例えば、フレキシブル有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）サイネージなどの製造では、デバイス層がこのようなユニット上に堆積によって作製され、薄いガラスシートから極薄ガラスシートを剥離する剥離プロセスが最終的に行われる。

【0004】

フレキシブルＯＬＥＤの場合、封止フィルムが極薄ガラスシートの表面から少なくとも所定の厚さまで突出する。ＬＥＤサイネージの場合には、ＬＥＤチップが極薄ガラスシート上に搭載される場合、該ＬＥＤチップは、極薄ガラスシートの表面から少なくとも所定の厚さまで突出する。

【0005】

典型的には、上述したデバイス層が極薄ガラスシートと薄いガラスシートとからなるユニット上に作製された後、吸引プレート及び吸盤などの真空デバイスが、ある程度の真空力を使用して、極薄ガラスシートと薄いガラスシートとを剥離する。

【0006】

しかしながら、上述のように、極薄ガラスシート上のデバイス層によって提供される突起は、極薄ガラスシートと真空デバイスとの間の密着の度合いを低下させる可能性があり、問題がある。例えば、関連技術の剥離プロセスは、極薄ガラスシートの一方の表面、より具体的には、その上に複数のデバイス層が作製された極薄ガラスシートの一方の表面を、平らな吸引プレートの表面に対して吸引保持し、次いで、極薄ガラスシートの他方の表面に接合された薄いガラスシートを極薄ガラスシートから分離することによって行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】韓国特許出願公開第１０－２０１６－００３１６３７号明細書（２０１６年３月２３日）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、複数のデバイス層が極薄ガラスシートの一方の表面の一部から突出しているため、この複数の突出するデバイス層は、吸引プレートに密着することができるが、隣接するデバイス層間の極薄ガラスシートの一方の表面の部分及び極薄ガラスシートの一方の表面の周辺部は、吸引プレートに密着しない。したがって、極薄ガラスシートと吸引プレートとの間の密着度は、全体的に低下する。この状況において、吸引プレートが該吸引プレートに負圧を印加することによって極薄ガラスシートを吸引保持する場合、吸引プレートに密着していない極薄ガラスシートの周辺部は、吸引プレートに引きつけられる可能性があり、その結果、極薄ガラスシートが曲がるか、反ってしまう可能性がある。この場合、剥離プロセスを行うことが困難になりうる。加えて、極薄ガラスシートの曲がり又は反りの度合いが増すと、極薄ガラスシートが最終的に損傷し、それによって歩留まりに悪影響を及ぼす可能性がある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本開示のさまざまな態様は、剥離を支援するための装置並びにそれを使用する剥離方法を提供し、該装置及び方法は、その一方の表面からデバイス層が突出している極薄ガラスシートと、該極薄ガラスシートの他方の表面に接合されたキャリアガラスシートとを剥離するプロセスを確実に支援することができ、その各々の上に厚さの異なるデバイス層が設けられた極薄ガラスシートを剥離するプロセスに共通に使用することができる。

【0010】

一態様によれば、単一のガラス積層体として接合されたキャリアガラスシートと極薄ガラスシートとを剥離するプロセスを支援するための装置が提供される。該装置は、その上に着座させたガラス積層体を吸引保持するための吸引孔を画成する複数の吸引孔部と、ガラス積層体の極薄ガラスシートの一方の表面から突出する少なくとも１つのデバイス層を収容する少なくとも１つの凹所を画成する少なくとも１つの凹部とを含む吸引プレート；複数の吸盤が、極薄ガラスシート及びデバイス層の接触圧力に応じて弾性的に圧縮可能になるように、それぞれ、複数の吸引孔部に取り付けられた複数の吸盤；複数の吸引孔部に接続されて複数の吸引孔部に負圧を印加する真空ポンプ；並びに、真空ポンプを制御して複数の吸引孔部に印加された負圧を調整するコントローラを備えている。

【0011】

凹部は、デバイス層の厚さよりも深くなりうる。

【0012】

少なくとも１つの凹部は、その上にガラス積層体が着座する吸引プレートの表面に配置することができ、該吸引プレートは、その上にガラス積層体が着座した吸引プレートの表面の少なくとも１つの凹部を取り囲む周辺部をさらに含みうる。

【0013】

少なくとも１つの凹部は、その上にガラス積層体が着座する吸引プレートの表面に配置された複数の凹部を含みうる。吸引プレートは、複数の凹部を取り囲む周辺部と、その上にガラス積層体が着座する吸引プレートの表面の複数の凹部のうちの隣接する凹部間に配置されたリブとをさらに含みうる。

【0014】

吸引プレートは、複数の凹部のうちの各凹部に設けられた複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第１の流路であって、真空ポンプに接続している第１の流路；周辺部に設けられた複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第２の流路であって、真空ポンプに接続している第２の流路；及び、リブに設けられた複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第３の流路であって、真空ポンプに接続している第３の流路を含みうる。

【0015】

吸引プレートは、それぞれ、第１の流路、第２の流路、及び第３の流路上に配置された制御弁をさらに含みうる。

【0016】

第１の流路は、それぞれ、複数の凹部に設けられた、個別に制御される複数の第１の流路を含みうる。

【0017】

複数の吸盤の各々は、複数の吸引孔部のうちの対応する吸引孔部の内周面に固定された固定部であって、固定孔部の長手方向に延びる第１の孔部を有する、固定部；及び、固定部の先端に結合されて吸引プレートの上面から突出する動作部であって、該動作部の長手方向に延びて第１の孔部と連通する第２の孔部を有し、極薄ガラスシート又はデバイス層の接触圧力に応じて弾性的に圧縮可能な、動作部を含みうる。

【0018】

固定部の外周面は、対応する吸引孔部の内周面とねじ嵌合されうる。

【0019】

動作部はベローズでありうる。

【0020】

ガラス積層体は、極薄ガラスシートよりも比較的厚く、かつ幅広であるキャリアガラスシートが、極薄ガラスシートを取り囲みつつ、該極薄ガラスシートに接合されるように、構成されうる。

【0021】

極薄ガラスシートの厚さは、２０μｍ～２５０μｍの範囲でありうる。

【0022】

装置は、ガラス積層体が吸引プレートに着座した後に、ガラス積層体のキャリアガラスシート上に配置された少なくとも１つの吸引キャップをさらに含みうる。

【0023】

少なくとも１つの吸引キャップは、コントローラによって制御される真空ポンプに接続され、該真空ポンプによって印加される負圧を使用して、キャリアガラスシートを吸引保持することができる。

【0024】

少なくとも１つの吸引キャップは、コントローラの制御下でキャリアガラスシートを持ち上げるために上下方向に移動可能になるように構成することができ、それによって極薄ガラスシートからキャリアガラスシートを分離させることができる。

【0025】

少なくとも１つの吸引キャップは、複数の吸引キャップを含みうる。コントローラは、真空ポンプを制御して、剥離伝播方向に連続的に複数の吸引キャップに負圧を印加することができる。

【0026】

吸引プレートは、水平方向に移動可能でありうる。

【0027】

吸引プレートは、ガラス積層体がその上に着座した後に少なくとも１つの吸引キャップの下に移動し、剥離が終了した後に初期位置に戻りうる。

【0028】

装置は、吸引プレートの周りに配置された第１～第４のトレイをさらに含むことができ、ここで、剥離されるガラス積層体は第１のトレイに配置され、剥離された極薄ガラスシートは第２のトレイに配置され、剥離されたキャリアガラスシートは第３のトレイに配置され、複数の紙シートは、第１～第３のトレイに供給される前に第４のトレイに載荷される。

【0029】

装置は、吸引プレート及び第１～第４のトレイを周回して、ガラス積層体、剥離された極薄ガラスシート、剥離されたキャリアガラスシート、及び複数の紙シートを輸送するガントリユニットをさらに含むことができる。

【0030】

単一のガラス積層体として接合されたキャリアガラスシートと極薄ガラスシートとを剥離する方法も提供される。該方法は、上述した装置の吸引プレートの上面の適所にガラス積層体を位置決めする工程；吸引プレートに負圧を印加して、吸引プレートの上面に配置されたガラス積層体を吸引保持する工程；及び、吸引プレートが極薄ガラスシートを吸引保持する間に、ガラス積層体の極薄ガラスシートからガラス積層体のキャリアガラスシートを剥離する工程を含みうる。

【0031】

ガラス積層体は、キャリアガラスシートが吸引プレートに接触しないように適所に位置決めされうる。

【0032】

極薄ガラスシートからキャリアガラスシートを剥離する工程は、キャリアガラスシートを吸引保持すること、及びキャリアガラスシートを一方の側から他方の側へと連続的に持ち上げることを含みうる。

【0033】

キャリアガラスシートを吸引保持する工程は、キャリアガラスシートの部分を剥離伝播方向に連続的に吸引保持することを含みうる。

【0034】

例示的な実施形態によれば、極薄ガラスシートの一方の表面から突出するデバイス層を収容するための凹所を有する吸引プレートが提供される。したがって、極薄ガラスシートと、該極薄ガラスシートの他方の表面に接合されたキャリアガラスシートとを剥離するプロセスを確実に支援することが可能でありうる。

【0035】

具体的には、例示的な実施形態によれば、剥離プロセスでは、極薄ガラスシートの一方の表面と吸引プレートとの間の密着度の差を最小限に抑えることができる。より具体的には、その上にデバイス層が設けられた極薄ガラスシートの一領域と吸引プレートとの密着度と、その上にデバイス層が設けられていない極薄ガラスシートの他の領域と吸引プレートとの密着度との差を、最小限に抑えることができる。これにより、負圧又は真空圧を使用した剥離プロセス中に極薄ガラスシートが曲がって損傷する可能性を低減することができ、それによってプロセスの歩留まりを向上させることができる。

【0036】

加えて、例示的な実施形態によれば、剥離プロセスを確実に支援することができるように、凹所全体、及び極薄ガラスシートに面する吸引プレートの上面の凹所を取り囲む周辺部には、複数の吸引孔が設けられる。

【0037】

さらには、例示的な実施形態によれば、長手方向に弾性的に圧縮可能な吸盤が、吸引プレートの凹所に設けられた吸引孔に配置される。この構成は、その各々の上に厚さの異なるデバイス層が設けられた他の極薄ガラスシートのための剥離プロセスに共通に使用することができる。

【0038】

加えて、例示的な実施形態によれば、金属から形成された吸引プレートと接触することによる極薄ガラスプレートに対する損傷を防止することができるように、長手方向に弾性的に圧縮可能な吸盤が、凹所の吸引孔だけでなく、周辺部及びリブの吸引孔にも配置される。

【0039】

本開示の方法及び装置はともに、本開示のある特定の原則を説明する役割を担う、本明細書に組み込まれる添付の図面及び以下の詳細な説明から明らかである、又はより詳細に記載されている、他の特徴及び利点を有する。

【図面の簡単な説明】

【0040】

【図1】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置を示す平面図

【図2】図１の断面図

【図3】図２の「Ａ」の部分の拡大図

【図4】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置によって吸引保持されたガラス積層体を示す概略図

【図5A】その上に厚さの異なるデバイス層が設けられたガラス積層体が例示的な実施形態による剥離を支援するための装置によって吸引保持される形状を比較する概略図

【図5B】図５Ａと同じ

【図6】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置における吸盤の接続構造を示す概略図

【図7】吸盤が例示的な実施形態による剥離を支援するための装置の吸引孔に嵌合する概略図

【図8】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置における、ある構造を有する凹所を示す平面図

【図9】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置における、別の構造を有する凹所を示す平面図

【図10】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置における、さらに別の構造を有する凹所を示す平面図

【図11】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置における吸引キャップの適用を示す概略図

【図12】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置を使用してガラス積層体が剥離される概略図

【図13】例示的な実施形態による剥離を支援するための装置を概略的に示す構成図

【発明を実施するための形態】

【0041】

これより、剥離を支援するための装置、並びにそれを使用する剥離方法について、添付図面を参照して説明する。

【0042】

以下の説明では、本開示に組み込まれる既知の機能及び構成要素の詳細な説明は、それらを含めることによって本開示の主題が不明確になる場合には省略される。

【0043】

図１～４に示されるように、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置は、極薄ガラスシート１２の一方の表面にデバイス層１３を作製した後に、キャリアガラスシート１１から極薄ガラスシート１２を剥離するプロセスを支援するための装置であり、ここで、極薄ガラスシート１２は、フレキシブル有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）サイネージなどへと変換されるデバイス層１３を作製するプロセスを促進するために、キャリアガラスシート１１に接合されて単一のガラス積層体１０を提供する。

【0044】

これに関して、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置は、吸引プレート１１０、複数の吸盤１２０、真空ポンプ１３０、及びコントローラ１４０を含む。

【0045】

吸引プレート１１０は、その上に着座させたガラス積層体１０を吸引保持するように構成された台である。極薄ガラスシート１２の輸送時又は極薄ガラスシート１２上へのデバイス層１３の作製時の取り扱いが困難な場合があるため、ガラス積層体１０は、極薄ガラスシート１２を支持するように作製される。ガラス積層体１０は、極薄ガラスシート１２をキャリアガラスシート１１に接合させることによって作製される。すなわち、ガラス積層体１０は、極薄ガラスシート１２がキャリアガラスシート１１によって支持されている間に、デバイス層１３を作製するプロセスが確実に行われるように作製される。

【0046】

ガラス積層体１０は、異なる厚さ及び面積を有しているキャリアガラスシート１１と極薄ガラスシート１２とを接合することによって提供される。単一のガラス積層体１０は、より幅広く、より厚いキャリアガラスシート１１が極薄ガラスシート１２を取り囲むように、すなわち、キャリアガラスシート１１が極薄ガラスシート１２の４つの側面のそれぞれを超えて延在するように、キャリアガラスシート１１と極薄ガラスシート１２とを接合することによって提供される。次に、複数のデバイス層１３は、極薄ガラスシート１２を例えば電極層を形成する酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）でコーティングし、ＩＴＯ膜をパターン化し、該パターン化されたＩＴＯ膜を絶縁膜でコーティングし、絶縁膜をパターン化して複数の絶縁層とし、パターン化された絶縁層上に、それぞれ、有機発光層を堆積させ、得られた構造を封止フィルムで封止することによって、ガラス積層体１０上に作製される。本明細書では、複数のデバイス層１３は、極薄ガラスシート１２の表面から少なくとも所定の厚さだけ突出する。

【0047】

複数のデバイス層１３の作製が完了すると、該複数のデバイス層１３が作製された極薄ガラスシート１２は、パネル切断などの後続の処理のために、キャリアガラスシート１１から剥離する必要がある。

【0048】

例示的な実施形態によれば、極薄ガラスシート１２とは、２０μｍ～２５０μｍの厚さを有するガラスシートのことを指しうる。上述のように、キャリアガラスシート１１として、極薄ガラスシート１２より幅広く、かつ厚いガラスシートが用いられうる。

【0049】

剥離プロセスでは、ガラス積層体１０は、吸引プレート１１０上に着座し、次に、吸引プレート１１０によって吸引保持される。これに関して、吸引プレート１１０は、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃを画成して、ガラス積層体１０と接触するときに該ガラス積層体１０を吸引保持する、複数の吸引孔部を含む。

【0050】

例示的な実施形態によれば、吸引プレート１１０の上面は、凹所１１２を画成する凹部と、該凹所１１２を画成する凹部を取り囲む周辺部１１３とからなる。例示的な実施形態によれば、複数の吸引孔１１１ａは、凹所１１２の各々に設けられる。加えて、複数の吸引孔１１１ｂも、周辺部１１３に設けられる。図１及び８に示されるように、凹所１１２に設けられた複数の吸引孔１１１ａの密度は、周辺部１１３に設けられた複数の吸引孔１１１ｂの密度より低くなりうる。これにより、凹所１１２によって生成された吸引力を周辺部１１３によって生成された吸引力よりも小さくすることができ、それによって、凹所１１２に収容されたデバイス層１３が不良品になるのを防止することができる。しかしながら、図９及び１０に示されるように、凹所１１２に設けられた複数の吸引孔１１１ａの密度は、周辺部１１３に設けられた複数の吸引孔１１１ｂの密度と同じであってもよい。

【0051】

上述のように、凹所１１２又は周辺部１１３に設けられた複数の吸引孔１１１ａ又は１１１ｂの密度は、剥離プロセスの条件又は環境に応じて変化しうる。したがって、例示的な実施形態によれば、凹所１１２又は周辺部１１３に設けられる複数の吸引孔１１１ａ又は１１１ｂの密度は特に限定されない。

【0052】

リブ１１４は、吸引プレート１１０の上面の隣接する凹所１１２間に設けられて、周辺部１１３とともに凹所１１２を画成しうる。しかしながら、図９に示されるように、単一のデバイス層１３が極薄ガラスシート１２の一方の表面に設けられている場合には、リブ１１４は省略することができる。

【0053】

加えて、図１及び２に示されるように、複数の吸引孔１１１ｃをリブ１１４に設けることができる。しかしながら、図１０に示されるように、極薄ガラスシート１２の一方の表面に設けられた複数のデバイス層１３間の距離が小さく、リブ１１４の幅が狭い場合には、吸引孔１１１ｃは省略することができる。

【0054】

上述のように、例示的な実施形態によれば、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃが吸引プレート１１０の凹所１１２全体、凹所１１２を取り囲む周辺部１１３、及びリブ１１４に設けられていることから、剥離プロセスを確実に支援することができる。

【0055】

例示的な実施形態による剥離プロセスでは、ガラス積層体１０は、そこからデバイス層１３が突出する極薄ガラスシート１２の一方の表面が吸引プレート１１０の上面に面するように、極薄ガラスシート１２の上面に着座する。すなわち、吸引プレート１１０の複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃは、吸引によって、極薄ガラスシート１２の一方の表面とデバイス層１３とを保持する。本明細書では、凹所１１２は、デバイス層１３を収容する吸引プレート１１０の上面の領域であり、凹所１１２の数は、極薄ガラスシート１２の一方の表面に設けられたデバイス層１３の数と同じである。

【0056】

例示的な実施形態によれば、デバイス層１３を収容する凹所１１２は、デバイス層１３の厚さより深くなるように設けられる。極薄ガラスシート１２の一方の表面から突出するデバイス層１３を収容するために凹所１１２が吸引プレート１１０の上面に設けられている場合、極薄ガラスシート１２と極薄ガラスシート１２の他方の表面に接合されたキャリアガラスシート１１とを剥離するプロセスは、確実に支援されうる。

【0057】

すなわち、剥離プロセスでは、極薄ガラスシート１２の一方の表面と吸引プレート１１０の上面との間の密着度の差を最小限に抑えることができる。より具体的には、その上にデバイス層１３が設けられた極薄ガラスシート１２の一領域と吸引プレート１１０の上面との密着度と、その上にデバイス層が設けられていない極薄ガラスシート１２の他の領域と吸引プレート１１０の上面との密着度との間の差を、最小限に抑えることができる。これにより、負圧又は真空圧を使用した剥離プロセス中に極薄ガラスシート１２が曲がって損傷する可能性を低減することができ、それによってプロセスの歩留まりを向上させることができる。

【0058】

加えて、例示的な実施形態による吸引プレート１１０は、第１の流路１１５、第２の流路１１６、及び第３の流路１１７をさらに含みうる。

【0059】

第１の流路１１５は、凹所１１２内の複数の吸引孔１１１ａと真空ポンプ１３０との間に設けられ、複数の吸引孔１１１ａと真空ポンプ１３０とを接続する。第１の流路１１５は、凹所１１２に設けられた複数の吸引孔１１１ａを互いに接続することができる。したがって、真空ポンプ１３０によって印加される負圧は、第１の流路１１５を通じて複数の吸引孔１１１ａに分散され、それによって吸引力を生成することができる。例示的な実施形態によれば、複数の第１の流路１１５は、それぞれ、複数の凹所１１２に設けられうる。この場合、複数の凹所１１２に設けられた複数の第１の流路１１５の各々は、個別に制御することができる。

【0060】

第２の流路１１６は、周辺部１１３に設けられた複数の吸引孔１１５ｂと真空ポンプ１３０との間に設けられ、複数の吸引孔１１５ｂと真空ポンプ１３０とを接続する。第２の流路１１６は、周辺部１１３内の複数の吸引孔１１１ｂを互いに接続することができる。したがって、真空ポンプ１３０によって印加される負圧は、第２の流路１１６を通じて複数の吸引孔１１１ｂに分散され、それによって吸引力を生成することができる。

【0061】

第３の流路１１７は、リブ１１４に設けられた複数の吸引孔１１１ｃと真空ポンプ１３０との間に設けられ、複数の吸引孔１１１ｃと真空ポンプ１３００とを接続する。第３の流路１１７は、リブ１１４に設けられた複数の吸引孔１１１ｃを互いに接続することができる。したがって、真空ポンプ１３０によって印加される負圧は、第３の流路１１７を通じて複数の吸引孔１１１ｃに分散され、それによって吸引力を生成することができる。

【0062】

例示的な実施形態によれば、制御弁１１８が、それぞれ、第１の流路１１５、第２の流路１１６、及び第３の流路１１７に設けられうる。この構成に起因して、真空ポンプ１３０によって第１の流路１１５、第２の流路１１６、及び第３の流路１１７に負圧が印加された場合でも、凹所１１２に設けられた複数の吸引孔１１１ａ、周辺部１１３に設けられた複数の吸引孔１１１ｂ、又はリブ１１４に設けられた複数の吸引孔１１１ｃに吸引力が生成するのを防止することができる。例示的な実施形態によれば、それぞれ、第１の流路１１５、第２の流路１１６、及び第３の流路１１７に設けられた制御弁１１８を制御することによって、剥離プロセスの条件又は環境に応じて、吸引プレート１１０の上面の面積に応じて吸引力を調整することができる。

【0063】

吸盤１２０は、それぞれ、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに嵌合する。吸盤１２０は、極薄ガラスシート１２及びデバイス層１３の接触圧力に応じて、長手方向に弾性的に圧縮可能になるように構成される。具体的には、凹所１１２内の複数の吸引孔１１１ａに嵌合する吸盤１２０は、デバイス層１３と接触し、デバイス層１３の接触圧力によって弾性的に圧縮される。加えて、複数の吸引孔１１１ｂ及び１１１ｃに嵌合する吸盤１２０は、極薄ガラスシート１２と直接接触して、極薄ガラスシート１２の接触圧力によって弾性的に圧縮される。

【0064】

図５Ａ及び５Ｂに示されるように、長手方向に弾性的に圧縮可能な吸盤１２０が凹所１１２の吸引孔１１１ａに嵌合する場合、この構成は、その各々に異なる厚さを有するデバイス層１３が設けられた他の極薄ガラスシート１２のための剥離プロセスに共通に使用することができる。

【0065】

加えて、周辺部１１３及びリブ１１４に設けられた複数の吸引孔１１１ｂ及び１１１ｃに嵌合する吸盤１２０は、極薄ガラスシート１２の一方の表面が金属から形成された吸引プレート１１０の上面と直接接触することによって局所的に損傷されないように、極薄ガラスシート１２を保護する役割を担う。

【0066】

図６及び７に示されるように、例示的な実施形態によれば、吸盤１２０の各々は、固定部１２１と動作部１２２とを含みうる。

【0067】

固定部１２１は、吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃのうちの対応する吸引孔の内周面に固定される。固定部１２１の外周面は、対応する吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、又は１１１ｃの内周面とねじ嵌合されうる。固定部１２１には、その長手方向に延在する第１の孔（図示せず）が設けられうる。例示的な実施形態によれば、固定部１２１は、金属から形成されうる。

【0068】

動作部１２２は、ベローズとして提供されうる。動作部１２２は、固定部１２１の先端の周りに取り付けられうる。この構成に起因して、動作部１２２は、吸引プレート１１０の上面から突出しうる。加えて、動作部１２２には、固定部１２１に設けられた第１の孔（図示せず）と連通する動作部１２２の長手方向に延在する第２の孔（図示せず）が設けられる。

【0069】

例示的な実施形態によれば、動作部１２２は、極薄ガラスシート１２及びデバイス層１３と実質的に接触又は密着しうる。例示的な実施形態によれば、動作部１２２は、極薄ガラスシート１２又はデバイス層１３の接触圧力に応じて、弾性的に圧縮される。動作部１２２が上述のように圧縮されるとき又は元に戻るときに、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置は、その各々に異なる厚さを有するデバイス層１３が設けられた極薄ガラスシート１２のための剥離プロセスに共通に使用することができる。

【0070】

真空ポンプ１３０は、吸引プレート１１０、より具体的には、第１の流路１１５、第２の流路１１６、及び第３の流路１１７によって、吸引プレート１１０の上面に画成された凹所１１２、周辺部１１３、及びリブ１１４に設けられた複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに接続され、それによって、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに負圧を印加する。より具体的には、吸盤１２０が、それぞれ、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに嵌合するため、真空ポンプ１３０は、実質的に、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに嵌合する吸盤１２０に負圧を印加する。

【0071】

真空ポンプ１３０によって印加されるこのような負圧は、対応する領域における複数の吸盤１２０に吸引力を生成する。その結果、剥離プロセスで複数の吸盤１２０に接触したまま維持される極薄ガラスシート１２又はデバイス層１３は、吸盤１２０によって吸引保持される。結果として、吸引プレート１１０の上面に着座したガラス積層体１０を剥離することができる。

【0072】

コントローラ１４０は、真空ポンプ１３０を制御することによって複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに印加される負圧を調整する。例示的な実施形態によれば、コントローラ１４０は、真空ポンプ１３０を制御して、複数の吸引孔１１１ａ、１１１ｂ、及び１１１ｃに対し均一な負圧を印加することができる。

【0073】

例示的な実施形態によれば、均一な負圧が、凹所１１２に設けられた複数の吸引孔１１１ａ及び周辺部１１３に設けられた複数の吸引孔１１１ｂに印加される場合でも、凹所１１２の複数の吸引孔１１１ａの密度は周辺部１１３の複数の吸引孔１１１ｂの密度とは異なりうるため、凹所１１２と周辺部１１３とには、異なるレベルの吸引力が生成しうる。具体的には、均一な負圧が印加される場合でも、デバイス層１３が設けられた凹所１１２には比較的小さい吸引力が生成される可能性があり、一方、デバイス層１３が設けられておらず、極薄ガラスシート１２の一方の表面と接触している周辺部１１３には、比較的大きい吸引力が生成されうる。例示的な実施形態によれば、吸引孔の密度は、面積に応じて異なるレベルの吸引力が生成されるように、面積に応じて変化するように設定される。しかしながら、これは一例であり、剥離プロセスの条件又は環境に応じて、面積に応じた吸引孔の密度が同じになるように、又は異なるように、調整することができる。同様に、吸引孔のサイズは、剥離プロセスの条件又は環境に応じて、適宜、調整することができる。

【0074】

図１１及び１２に示されるように、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置は、少なくとも１つの吸引キャップ１５０をさらに含みうる。吸引キャップ１５０は、ガラス積層体１０が吸引プレート１１０の上面に着座する場合に、キャリアガラスシート１１上に配置される。吸引キャップ１５０は、コントローラ１４０によって制御される真空ポンプ１３０に接続され、真空ポンプ１３０によって印加される負圧を使用して、キャリアガラスシート１１の上部を吸引保持する。

【0075】

例示的な実施形態によれば、吸引キャップ１５０は、上下方向に移動するように構成される。吸引キャップ１５０の上下方向の動きは、コントローラ１４０によって制御することができる。具体的には、吸引キャップ１５０は、キャリアガラスシート１１を吸引保持している間に、キャリアガラスシート１１を持ち上げるように、コントローラ１４０によって制御され、それによって、吸引プレート１１０によって吸引保持された極薄ガラスシート１２からキャリアガラスシート１１を完全に分離する。本明細書では、コントローラ１４０は、真空ポンプ１３０を制御して、複数の吸引キャップ１５０に対し、剥離が伝播する方向に負圧を連続的に印加することができる。

【0076】

例示的な実施形態によれば、吸引プレート１１０は、水平方向に移動可能になるように構成されうる。したがって、ガラス積層体１０が吸引プレート１１０の上面に着座するときに、吸引プレート１１０は複数の吸引キャップ１５０の下に移される。剥離プロセスの完了時に、吸引プレート１１０は初期位置に戻されうる。

【0077】

図１３に示されるように、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置は、吸引プレート１１０の周りに配置された、第１のトレイ１６１、第２のトレイ１６２、第３のトレイ１６３、及び第４のトレイ１６４をさらに含みうる。剥離されるガラス積層体１０は、剥離プロセスの前に、第１のトレイ１６１に配置される。剥離された極薄ガラスシート１２、すなわち、キャリアガラスシート１１から分離された極薄ガラスシート１２は、第２のトレイ１６２に順次載荷される。剥離されたキャリアガラスシート１１は、第３のトレイ１６３に順次載荷される。加えて、第１のトレイ１６１、第２のトレイ１６２、及び第３のトレイ１６３に供給される前に、複数の紙シートが第４のトレイ１６４に載荷される。

【0078】

上述のように、例示的な実施形態によれば、ガラス積層体１０は、第１のトレイ１６１から吸引プレート１１０に移動し、剥離された極薄ガラスシート１２は、吸引プレート１１０から第２のトレイ１６２に移動し、剥離されたキャリアガラスシート１１は、吸引プレート１１０から第３のトレイ１６３に移動する。加えて、紙のシートが、第４のトレイ１６４から第１のトレイ１６１、第２のトレイ１６２、及び第３のトレイ１６３に移動する。

【0079】

ガラス積層体１０、剥離された極薄ガラスシート１２、剥離されたキャリアガラスシート１１、及び紙のシートの上述の移動のために、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置は、図１３に示されるように、ガントリユニット１７０をさらに含みうる。

【0080】

ガントリユニット１７０は、第１～第４のトレイ１６１～１６４を周回し、ガラス積層体１０、剥離された極薄ガラスシート１２、剥離されたキャリアガラスシート１１、及び紙のシートを輸送する。ガントリユニット１７０の移動手順及び移動方法については後で詳細に説明する。

【0081】

これより、図１１～１３を参照して、例示的な実施形態に従う剥離を支援するための装置を使用するガラス積層体を剥離するプロセスについて説明する。以下の説明において、図１１～１３に示されていない構成要素については、残りの図を参照する。

【0082】

例示的な実施形態によるガラス積層体を剥離する方法は、位置決め工程、圧力印加工程、及び剥離工程を含む。

【0083】

まず、図１１及び１３に示されるように、位置決め工程では、ガラス積層体１０は、吸引プレート１１０の上面の適所に位置決めされる。具体的には、位置決め工程では、ガントリユニット１７０が第１のトレイ１６１に配置されたガラス積層体１０を持ち上げた後、ビジョンアライメントが完了すると、次に、ガラス積層体１０は吸引プレート１１０の上面の適所に位置決めされる。位置決め工程では、ガラス積層体１０は、極薄ガラスシート１２が下を向くように（図中）、吸引プレート１１０の上面に着座する。本明細書では、ガラス積層体１０は、キャリアガラスシート１１の底面が吸引プレート１１０の上面に触れないように適所に位置決めされる。

【0084】

吸引プレート１１０の上面の適所にガラス積層体１０を位置決めするプロセスでは、極薄ガラスシート１２の一方の表面から突出するデバイス層１３は、吸引プレート１１０の凹所１１２に収容される。本明細書では、凹所１１２の複数の吸引孔１１１ａに嵌合する複数の吸盤１２０は、デバイス層１３と接触し、デバイス層１３の接触圧力によって圧縮される。結果的に、極薄ガラスシート１２は、平坦なプレートの形状を維持することができる。デバイス層１３のない、極薄ガラスシート１２の一方の表面の他の部分は、吸引プレート１１０の周辺部１１３及びリブ１１４に着座する。より具体的には、デバイス層１３のない、極薄ガラスシート１２の一方の表面の他の部分は、周辺部１１３及びリブ１１４の複数の吸引孔１１１ｂ及び１１１ｃに嵌合する複数の吸盤１２０と接触しており、その結果、吸盤１２０全体が圧縮される。

【0085】

その後、圧力印加工程では、負圧が複数の吸盤１２０に印加されて、吸引プレート１１０の上面の適所に位置決めされたガラス積層体１０を吸引保持する。すなわち、圧力印加工程は、コントローラ１４０によって真空ポンプ１３０を制御することによって、吸引プレート１１０の上面に負圧を印加する。結果として、ガラス積層体１０は、吸引プレート１１０によって吸引保持され、吸引プレート１１０の上面に支持される。本明細書では、例示的な実施形態による剥離を支援するための装置では、凹所１１２の複数の吸引孔１１１ａの密度は周辺部１１３及びリブ１１４の複数の吸引孔１１１ｂの密度とは異なりうることから、それぞれの領域に均一な負圧が印加されているにもかかわらず、凹所１１２には比較的小さい吸引力を生成することができ、周辺部１１３及びリブ１１４には比較的大きい吸引力が生成されうる。

【0086】

上述のように、圧力印加工程では、ガラス積層体１０は、吸引プレート１１０に吸引保持され、次に、吸引プレート１１０は複数の吸引キャップ１５０の下に移される。

【0087】

第１のトレイ１６１の上部のガラス積層体１０が剥離プロセスのために吸引プレート１１０へと移動するときに、第１のトレイ１６１に載荷された最上部のガラス積層体１０間に挟まれた紙のシートが外部に曝される。例示的な実施形態によれば、紙のシートは第３のトレイ１６３に移動し、第４のトレイ１６４に載荷された紙のシートは第２のトレイ１６２に移動しうる。

【0088】

その後、図１２に示されるように、剥離工程では、下に配置された極薄ガラスシート１２が吸引プレート１１０によって、より具体的には、複数の吸盤１２０に吸引保持され、かつ、上に配置されたキャリアガラスシート１１が複数の吸引キャップ１５０によって吸引保持される位置で、キャリアガラスシート１１が極薄ガラスシート１２から剥離される。

【0089】

剥離工程は、吸引キャップ１５０を用いてキャリアガラスシート１１を吸引保持し、次に、キャリアガラスシート１１を一方の側から他方の側へと持ち上げることによって行われる。剥離工程では、キャリアガラスシート１１の剥離対象部分を剥離伝播方向に連続的に吸引保持することができる。具体的には、負圧を印加することによって、剥離に供されるキャリアガラスシート１１の部分の上に配置された複数の吸引キャップ１５０のうちの吸引キャップ１５０を連続的に持ち上げることによって、剥離プロセスを容易に行うことができる。

【0090】

キャリアガラスシート１１がこの剥離工程において極薄ガラスシート１２から完全に分離された後、複数の吸盤１２０に印加された負圧を解除することができる。このようにして、単一のガラス積層体１０の剥離プロセスを完了させることができる。

【0091】

剥離プロセスが完了するとき、極薄ガラスシート１２は吸引プレート１１０に吸引保持されたままであってよく、一方、キャリアガラスシート１１は吸引キャップ１５０に吸引保持されたままでありうる。

【0092】

幾つかの実施形態では、別のガラス積層体１０のための剥離プロセスを連続的に実施するために、極薄ガラスシート１２を吸着保持している吸引プレート１１０を初期位置に戻し、次いで、極薄ガラスシート１２に印加されている負圧を解除する。その後、ガントリユニット１７０は、極薄ガラスシート１２を第２のトレイ１６２へと移動させるように動作する。

【0093】

その後、そこから極薄ガラスシート１２が除去される吸引プレート１１０は、複数の吸引キャップ１５０の下に移され、次に、吸引キャップ１５０に印加された負圧が取り除かれ、それによって、吸引キャップ１５０によって吸引保持されたキャリアガラスシート１１が吸引プレート１１０に着座する。

【0094】

その後、キャリアガラスシート１１がその上面に着座する吸引プレート１１０は、初期位置に戻される。加えて、キャリアガラスシート１１は、ガントリユニット１７０を動作させることによって、第３のトレイ１６３へと移される。

【0095】

その後、上記工程を繰り返すことによって、別のガラス積層体１０のための剥離プロセスが行われる。

【0096】

加えて、例示的な実施形態に従う剥離を支援するための装置を使用してキャリアガラスシート１１から剥離された極薄ガラスシート１２は、複数のデバイス層１３を個々のパネルへと変換するプロセスにおいて切断される。

【0097】

本開示の特定の例示的な実施形態の前述の説明は、図面に関して提示されているのであり、網羅的であること、又は本開示を本明細書に開示される正確な形態に限定することを意図するものではなく、上記教示に照らして、当業者にとって、多くの修正及び変形が明らかに可能であろう。

【0098】

したがって、本開示の範囲は、前述の実施形態に限定されるものではなく、本明細書に添付された特許請求の範囲及びそれらの等価物によって定義されることが意図されている。

【0099】

以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。

【0100】

実施形態１
単一のガラス積層体として接合されたキャリアガラスシートと極薄ガラスシートとを剥離するプロセスを支援するための装置であって、該装置が、
その上に着座させたガラス積層体を吸引保持するための吸引孔を画成する複数の吸引孔部と、前記ガラス積層体の極薄ガラスシートの一方の表面から突出する少なくとも１つのデバイス層を収容する少なくとも１つの凹所を画成する少なくとも１つの凹部とを含む吸引プレート；
前記極薄ガラスシート及び前記デバイス層の接触圧力に応じて、弾性的に圧縮可能になるように、それぞれ、前記複数の吸引孔部に取り付けられた複数の吸盤；
前記複数の吸引孔部に接続されて前記複数の吸引孔部に負圧を印加する真空ポンプ；及び
前記真空ポンプを制御して前記複数の吸引孔部に印加された前記負圧を調整するコントローラ
を含む、装置。

【0101】

実施形態２
前記凹部が前記デバイス層の厚さより深い、実施形態１に記載の装置。

【0102】

実施形態３
前記少なくとも１つの凹部が、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの表面に配置されており、かつ
前記吸引プレートが、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの前記表面上の前記少なくとも１つの凹部を取り囲む周辺部をさらに含む、
実施形態１に記載の装置。

【0103】

実施形態４
前記少なくとも１つの凹部が、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの表面に配置された複数の凹部を含み、かつ
前記吸引プレートが、前記複数の凹部を取り囲む周辺部と、その上に前記ガラス積層体が着座する前記吸引プレートの前記表面に前記複数の凹部のうちの隣接する凹部間に配置されたリブとをさらに含む、
実施形態１に記載の装置。

【0104】

実施形態５
前記吸引プレートが、
前記複数の凹部のうちの各凹部に設けられた前記複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第１の流路であって、前記真空ポンプに接続する第１の流路；
前記周辺部に設けられた前記複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第２の流路であって、前記真空ポンプに接続する第２の流路；及び
前記リブに設けられた前記複数の吸引孔部のうちの吸引孔部が接続される第３の流路であって、前記真空ポンプに接続する第３の流路
を備えている、実施形態４に記載の装置。

【0105】

実施形態６
前記吸引プレートが、それぞれ、前記第１の流路、前記第２の流路、及び前記第３の流路上に配置された制御弁をさらに備えている、実施形態５に記載の装置。

【0106】

実施形態７
前記第１の流路が、それぞれ、前記複数の凹部に設けられた、個別に制御される複数の第１の流路を含む、実施形態６に記載の装置。

【0107】

実施形態８
前記複数の吸盤の各々が、
前記複数の吸引孔部のうちの対応する吸引孔部の内周面に固定された固定部であって、第１の孔部が前記固定孔部の長手方向に延びる、固定部；及び
前記固定部の先端に結合されて前記吸引プレートの上面から突出する動作部であって、第２の孔部が前記動作部の長手方向に延びて前記第１の孔部と連通しており、前記動作部が前記極薄ガラスシート又は前記デバイス層の接触圧力に応じて弾性的に圧縮可能である、動作部
を含む、実施形態１に記載の装置。

【0108】

実施形態９
前記固定部の外周面が、前記対応する吸引孔部の前記内周面とねじ嵌合する、実施形態８に記載の装置。

【0109】

実施形態１０
前記動作部がベローズを含む、実施形態９に記載の装置。

【0110】

実施形態１１
前記極薄ガラスシートよりも比較的厚く、かつ幅広であるキャリアガラスシートが、前記極薄ガラスシートを取り囲みつつ、前記極薄ガラスシートに接合されるように、前記ガラス積層体が構成される、実施形態１に記載の装置。

【0111】

実施形態１２
前記極薄ガラスシートの厚さが２０μｍ～２５０μｍの範囲である、実施形態１に記載の装置。

【0112】

実施形態１３
前記ガラス積層体が前記吸引プレートに着座した後に、前記ガラス積層体のキャリアガラスシート上に配置された少なくとも１つの吸引キャップをさらに含む、実施形態１に記載の装置。

【0113】

実施形態１４
前記少なくとも１つの吸引キャップが、前記コントローラによって制御される前記真空ポンプに接続され、該真空ポンプによって印加される負圧を使用して、前記キャリアガラスシートを吸引保持する、実施形態１３に記載の装置。

【0114】

実施形態１５
前記少なくとも１つの吸引キャップが、前記コントローラの制御下で前記キャリアガラスシートを持ち上げるために上下方向に移動可能になるように構成され、それによって前記極薄ガラスシートから前記キャリアガラスシートを分離させる、実施形態１４に記載の装置。

【0115】

実施形態１６
前記少なくとも１つの吸引キャップが複数の吸引キャップを含み、かつ
前記コントローラが前記真空ポンプを制御して、剥離伝播方向に前記複数の吸引キャップに負圧を連続的に印加する、
実施形態１５に記載の装置。

【0116】

実施形態１７
前記吸引プレートが水平方向に移動可能である、実施形態１３に記載の装置。

【0117】

実施形態１８
前記吸引プレートが、前記ガラス積層体がその上に着座した後に前記少なくとも１つの吸引キャップの下に移動し、剥離が終了した後に初期位置に戻る、実施形態１７に記載の装置。

【0118】

実施形態１９
前記吸引プレートの周りに配置された第１～第４のトレイをさらに含み、剥離される前記ガラス積層体が前記第１のトレイに配置され、剥離された前記極薄ガラスシートが前記第２のトレイに配置され、剥離された前記キャリアガラスシートが前記第３のトレイに配置され、かつ複数の紙シートが前記第１～第３のトレイに供給される前に前記第４のトレイに載荷される、実施形態１に記載の装置。

【0119】

実施形態２０
前記吸引プレート及び前記第１～第４のトレイを周回して、前記ガラス積層体、前記剥離された極薄ガラスシート、前記剥離されたキャリアガラスシート、及び前記複数の紙シートを輸送するガントリユニットをさらに含む、実施形態１９に記載の装置。

【0120】

実施形態２１
単一のガラス積層体として接合されたキャリアガラスシートと極薄ガラスシートとを剥離する方法であって、該方法が、
実施形態１に記載される装置の前記吸引プレートの上面の適所にガラス積層体を位置決めする工程；
前記吸引プレートに負圧を印加して、前記吸引プレートの前記上面に位置する前記ガラス積層体を吸引保持する工程；及び
前記吸引プレートが前記極薄ガラスシートを吸引保持する間に、前記ガラス積層体の極薄ガラスシートから前記ガラス積層体のキャリアガラスシートを剥離する工程
を含む、方法。

【0121】

実施形態２２
前記ガラス積層体が、前記キャリアガラスシートが前記吸引プレートに接触しないように適所に位置決めされる、実施形態２１に記載の方法。

【0122】

実施形態２３
前記極薄ガラスシートから前記キャリアガラスシートを剥離する工程が、前記キャリアガラスシートを吸引保持し、前記キャリアガラスシートを一方の側から他方の側へと連続的に持ち上げることを含む、実施形態２１に記載の方法。

【0123】

実施形態２４
前記キャリアガラスシートを吸引保持する工程が、前記キャリアガラスシートの部分を剥離伝播方向に連続的に吸引保持することを含む、実施形態２３に記載の方法。

【符号の説明】

【0124】

１０ ガラス積層体
１１ キャリアガラスシート
１２ 極薄ガラスシート
１３ デバイス層
１１０ 吸引プレート
１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ 複数の吸引孔
１１２ 凹所
１１３ 周辺部
１１４ リブ
１１５ 第１の流路
１１６ 第２の流路
１１７ 第３の流路
１１８ 制御弁
１２０ 吸盤
１２１ 固定部
１２２ 動作部
１３０ 真空ポンプ
１４０ コントローラ
１５０ 吸引キャップ
１６１ 第１のトレイ
１６２ 第２のトレイ
１６３ 第３のトレイ
１６４ 第４のトレイ
１７０ ガントリユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5(a)】

【図5(b)】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【国際調査報告】