▶ サン−ゴバン パフォーマンス プラスティックス コーポレイションの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2022-02-28
(54)【発明の名称】漏洩検知システムおよび漏洩を検知する方法
(51)【国際特許分類】
G01M 3/18 20060101AFI20220218BHJP
【ＦＩ】
G01M3/18
【審査請求】有
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2021537789
(86)(22)【出願日】2019-12-31
(85)【翻訳文提出日】2021-06-25
(86)【国際出願番号】 US2019069043
(87)【国際公開番号】W WO2020142475
(87)【国際公開日】2020-07-09
(31)【優先権主張番号】62/786,699
(32)【優先日】2018-12-31
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ＢＬＵＥＴＯＯＴＨ
２．ＪＡＶＡ
３．ＳＭＡＬＬＴＡＬＫ
(71)【出願人】
【識別番号】500149223
【氏名又は名称】サン－ゴバン パフォーマンス プラスティックス コーポレイション
(74)【代理人】
【識別番号】110003281
【氏名又は名称】特許業務法人大塚国際特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】110000855
【氏名又は名称】特許業務法人浅村特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】ディン、ジャン エル．
(72)【発明者】
【氏名】ツィヴァニス、マイケル ジェイ．
(72)【発明者】
【氏名】ゴラブ、チャールズ エス．
【テーマコード（参考）】
2G067
【Ｆターム（参考）】
2G067AA11
2G067BB14
2G067BB25
2G067DD22
2G067DD23
2G067DD25
(57)【要約】
導管に結合され、導管からの漏洩を漏洩センサーに導くように構成されたアダプタを備え、アダプタが、親水性材料、カチオン性ポリマー材料、アニオン性ポリマー材料、親水性ノニオン性材料、またはこれらの任意の組み合わせからなるウィックを備える、漏洩検知システム。導管からの漏洩流体を漏洩センサーに移送するように適合された積層体を備え、積層体が、漏洩流体を移送するように適合されたウィックと、ウィックを導管に固定するように適合された接着剤と、を備える、漏洩検知システム。基板上に配設され、導管からの漏洩流体を漏洩センサーに移送するように適合されたウィックを備え、ウィックが、マトリックス配置の複数の流体チャネルを備える、漏洩検知システム。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
漏洩検知システムであって、導管に結合され、前記導管からの漏洩を漏洩センサーに導くように構成されたアダプタを備え、前記アダプタが、
親水性材料、
カチオン性ポリマー材料、
アニオン性ポリマー材料、
親水性ノニオン性材料、または
これらの任意の組み合わせからなるウィックを備える、漏洩検知システム。
【請求項2】
漏洩検知システムであって、導管からの漏洩流体を漏洩センサーに移送するように適合された積層体を備え、前記積層体が、
前記漏洩流体を移送するように適合されたウィックと、
前記ウィックを前記導管に固定するように適合された接着剤と、を備える、漏洩検知システム。
【請求項3】
前記ウィックが、前記ウィックを前記導管に固定するように適合された接着剤に結合されている、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム。
【請求項4】
前記導管が、垂直に配向された管を備える、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム。
【請求項5】
前記垂直に配向された管が、接合部で二次管に接合されており、前記接合部が、前記ウィックを受容するように適合された領域の上に配設されている、請求項４に記載の漏洩検知システム。
【請求項6】
前記ウィックが、親水性カチオン性ポリマー、
シリカ、コラーゲン、ペクチン、ゼラチン、デンプン、グァーガム、アラビアゴム、ローカストビーンガム、カラヤゴム、アルギン酸、ナトリウムまたはカリウム塩からなる天然物質、
カルボキシメチルセルロースナトリウム（ＣＭＣ）、架橋カルボキシメチルセルロースナトリウム、結晶性カルボキシメチルセルロースナトリウム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、架橋デキストラン、デンプン－アクリロニトリルグラフト共重合体、ポリアクリル酸ナトリウムデンプン、グルテン、メチルビニルエーテルのポリマー、マレイン酸、ポリアクリル酸の金属もしくはアンモニウム塩またはその共重合体、ポリスチレンスルホン酸の金属もしくはアンモニウム塩からなる合成物質、あるいは
それらの任意の組み合わせからなる、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム
【請求項7】
前記ウィックを受容するように適合された前記導管が、外周ＣＣを有し、前記ウィックの長さが、１．０ＣＣ～５．０ＣＣの範囲内にある、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム。
【請求項8】
前記ウィックが、前記導管からの漏洩流体を検知するように適合されたセンサーに結合されるように適合されている、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム。
【請求項9】
前記ウィックおよび接着剤が、前記積層体の厚さだけ互いから離間した第１および第２の主面を画定する積層体を備える、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム。
【請求項10】
前記ウィックが、前記接着剤に結合されたストリップを備える、請求項９に記載の漏洩検知システム。
【請求項11】
前記ウィックが、コーティングを備える、請求項９に記載の漏洩検知システム。
【請求項12】
前記ウィックが、複数の個別流体チャネルを画定する、請求項１～２のいずれか一項に記載の漏洩検知システム。
【請求項13】
前記複数の個別流体チャネルが、流体連通している、請求項１２に記載の漏洩検知システム。
【請求項14】
前記複数の個別流体チャネルが、マトリックスを画定する、請求項１２に記載の漏洩検知システム。
【請求項15】
流体導管であって、第１の導管と第２の導管との間の接合部であって、前記第１および第２の導管のうちの少なくとも１つが垂直導管である、接合部と、
漏洩検知システムであって、
前記第１および第２の導管のうちの少なくとも１つに接着剤によって結合されたウィックと、
前記接合部から前記ウィックに沿って移送される漏洩を検知するように適合されたセンサーと、を備える、漏洩検知システムと、を備える、流体導管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、漏洩検知システムおよび漏洩を検知する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
多くの商用および居住プロセスが、複数の導管間の流体の移送を必要とする。長い移送長さは、多くの場合、一体に接合された、管などの流体導管の直列接続を必要とする。多くの場合、接合部の完全性を維持して漏洩を防止するようにあらゆる努力が払われているが、特に過酷な環境下で、または特定の化学物質もしくは継手タイプを使用する場合に、漏洩が発生するのは珍しくない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
流体移送を必要とする産業は、漏洩を検知する改善されたシステムおよび方法を求め続けている。
【課題を解決するための手段】
【0004】
実施形態は、例として示されており、添付の図に限定されることを意図するものではない。
【図面の簡単な説明】
【0005】
【図1】一実施形態による、漏洩検知システムの上面図を含む。
【図2】一実施形態による、漏洩検知システムの側面図を含む。
【図3】一実施形態による、漏洩検知システムのためのセンサーの上面図を含む。
【図4】別の実施形態による、漏洩検知システムのためのセンサーの上面図を含む。
【図5】一実施形態による、漏洩検知システムのためのセンサーの断面図を含む。
【図6】一実施形態による、導管に結合された漏洩検知システムの立面図を含む。
【発明を実施するための形態】
【0006】
図面と組み合わせた以下の説明は、本明細書に開示される教示を理解するのを助けるために提供される。以下の説明は、本教示の特定の実装および実施形態に焦点を合わせるであろう。この焦点は、本教示を説明するのを助けるために提供されており、本教示の範囲または適用性に対する限定として解釈されるべきではない。しかしながら、本出願で開示される教示に基づいて他の実施形態を使用することができる。
【0007】
用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」、「有する（ｈａｓ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、またはその任意の他の変形は、非排他的包含を含むことを意図している。例えば、特徴のリストを備える方法、物品、または装置は、必ずしもそれらの特徴のみに限定されず、そのような方法、物品、または装置に明示的にリスト化されていないかまたは固有ではない他の特徴を含んでもよい。さらに、明示的にそうではないことが述べられていない限り、「または（ｏｒ）」は、包含的な「または」を指し、排他的な「または」を意味しない。例えば、条件ＡまたはＢは、以下のいずれか１つによって満たされる。Ａは真（または存在する）かつＢは偽（または存在しない）、Ａは偽（または存在しない）かつＢは真（または存在する）、およびＡとＢの両方が真（または存在する）である。
【0008】
「概して（ｇｅｎｅｒａｌｌｙ）」、「実質的に（ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ）」、「約（ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｌｙ）」などの用語は、所与の値からのある範囲の偏差を包含することが意図される。特定の一実施形態では、「概して（ｇｅｎｅｒａｌｌｙ）」、「実質的に（ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ）」、「約（ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｌｙ）」などの用語は、値の１０％以内、値の９％以内、値の８％以内、値の７％以内、値の６％以内、値の５％以内、値の４％以内、値の３％以内、値の２％以内、または値の１％以内の、値のいずれかの方向の偏差を指す。
【0009】
また、「１つ（ａ）」または「１つ（ａｎ）」の使用は、本明細書に記載の要素および構成要素を説明するために使用される。これは単に便宜上および本発明の範囲の一般的な意味を与えるために行われている。この説明は、他を意味することが明確でない限り、１つ、少なくとも１つ、または複数も含む単数形、またはその逆を含むように読む必要がある。例えば、本明細書で単一の物品が説明される場合、単一の物品の代わりに２つ以上の物品が使用されることができる。同様に、本明細書で２つ以上の物品が説明される場合、それら２つ以上の物品に代えて単一の物品が使用され得る。
【0010】
他に定義されない限り、本明細書において使用される全ての技術的および科学的用語は、本発明が属する分野の当業者によって一般的に理解されるのと同じ意味を有する。材料、方法、および例は、例示的なものにすぎず、限定的であることを意図しない。本明細書に記載されていない範囲で、特定の材料および処理行為に関する多くの詳細は、従来のものであり、流体移送技術および漏洩検知技術分野の教科書ならびに他のソースに見出され得る。
【0011】
特定の一態様によれば、漏洩検知システムは、概して、導管に結合され、導管からの漏洩を漏洩センサーに導くように構成されたアダプタを含み得る。一実施形態では、アダプタは、親水性カチオン性ポリマーを含み得る。別の実施形態では、アダプタは、シリカ、コラーゲン、ペクチン、ゼラチン、デンプン、グァーガム、アラビアゴム、ローカストビーンガム、カラヤゴム、アルギン酸、ナトリウムまたはカリウム塩のうちの少なくとも１つからなる天然物質を含み得る。さらに別の実施形態では、アダプタは、カルボキシメチルセルロースナトリウム（ＣＭＣ）、架橋カルボキシメチルセルロースナトリウム、結晶性カルボキシメチルセルロースナトリウム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、架橋デキストラン、デンプン－アクリロニトリルグラフト共重合体、ポリアクリル酸ナトリウムデンプン、グルテン、メチルビニルエーテルのポリマー、マレイン酸、ポリアクリル酸の金属もしくはアンモニウム塩またはその共重合体、ポリスチレンスルホン酸の金属もしくはアンモニウム塩のうちの少なくとも１つからなる合成物質を含み得る。さらにさらなる一実施形態では、アダプタは、親水性カチオン性ポリマー、天然物質、および合成物質の任意の組み合わせを含み得る。
【0012】
一実施形態では、アダプタは、漏洩を移送するように適合された積層構造を含み得る。積層構造は、漏洩を移送するように適合されたウィックと、ウィックを導管に固定するように適合された、接着剤などの係合要素と、を含み得る。特定の一例では、ウィックは、マトリックス配置の係合要素上に配設され得る。
【0013】
本発明の別の態様では、マイクロエレクトロニクス装置は、マイクロエレクトロニクス構成要素の形成に関連付けられた操作ステップを実行するための操作領域を含み得る。流体導管は、操作領域と連通していることができる。流体導管は、操作ステップに関連付けられた流体を移送するように適合され得る。流体導管は、上部導管と、下部導管との間に垂直接続部を含み得る。着脱可能な漏洩検知システムは、下部導管の周りに配設され得る。漏洩検知システムは、下部導管の周りに延在する、または下部導管の周りに延在するように適合されたウィックを含み得る。センサーは、下部導管からウィックに沿って移送される漏洩を検知するように適合され得る。
【0014】
本発明の別の態様では、漏洩を検知する方法は、垂直に配向された流体導管の全周の少なくとも一部の周りにウィックを巻き付けることを含み得る。ウィックは、ウィックに関連付けられた接着剤によって、流体導管に接着され得る。漏洩検知センサーは、流体導管からの漏洩を検知するために、ウィックに取り付けられ得る。
【0015】
一実施形態では、漏洩検知システムは、流体導管上の流体界面に隣接して配設され得る。特定の実施形態によれば、流体導管は接合部を含み得、それにより、流体が、例えば、管接合部、管継手、管、曲管、マニホールド、エルボ、バルブ、ポンプ、減圧弁、シームもしくは溶接線、ノズルもしくは噴霧器、ねじ付きポート、サンプリングバルブ、排気ライン、流体入口もしくは出口、または任意の他の類似の接合部などの流体界面から漏洩し得る。
【0016】
特定の実施形態によれば、本明細書に記載の漏洩検知システムは、いくつかの異なる専門技術に及ぶ流体構成要素上の漏洩を監視するように位置付けられ得る。例えば、本明細書に記載の１つ以上の実施形態による漏洩検知システムは、半導体および超電導体業界などでの電子デバイス製造、流体移送ラインおよびポンプなどの医療機器、石油およびガス産業、可搬型上下水道システムに見られるものなどの管継手、航空宇宙産業での製造、保守、および設計、飲食料品業界、および自動車業界で利用され得る。特定の実施形態では、漏洩検知システムは、ＨＦ、Ｈ２ＳＯ４、ＨＮＯ３、ＮａＣｌＯ、Ｈ２Ｏ２、Ｈ３ＰＯ４、ＣＭＰ、ＨＣＬ、脱イオン水、エタノール、エタノールＩＰＡ、アセトン、炭化水素溶剤、トルエンのうちの少なくとも１つを含み得るか、または別の半導体流体であり得る半導体流体を収容する流体構成要素に取り付けられ得る。さらに他の実施形態によれば、本明細書に記載の漏洩検知システムは、小さな流体漏洩を迅速かつ正確に検知することによって、漏洩に対する応答時間を短縮し得、漏洩が大きくなる機会を有する前に、オペレータが、可能性のある漏洩に対処することを可能にする。
【0017】
一実施形態によれば、センサーは、特定の流体漏洩を感知するように適合され得る。例えば、センサーは、約０．０００１ｍＬ～約１ｍＬの流体漏洩を感知するように適合され得る。いくつかの実施形態では、センサーは、少なくとも０．００１ｍＬ、または少なくとも０．０１ｍＬ、または少なくとも０．０５ｍＬ、または少なくとも０．１ｍＬなど、少なくとも約０．０００１ｍＬの流体漏洩を感知するように適合され得る。
【0018】
図１は、一実施形態による、漏洩検知システム１００の上面図を含む。漏洩検知システム１００は、概して、導管に結合され、導管からの漏洩を漏洩センサー１０４に導くように構成されたアダプタ１０２を含み得る。
【0019】
一実施形態では、アダプタ１０２は、ウィック１０６と、接着剤１０８とによって画定される複合体を含む。特定の一実施形態では、ウィック１０６は、接着剤１０８に結合され得る。より特定の一実施形態では、ウィック１０６は、接着剤１０８に直接結合され得る。別のより特定の実施形態では、ウィック１０６および接着剤１０８は、中間層または材料によって、一緒に結合され得る。例えば、基板が、ウィック１０６と、接着剤１０８との間に配設され得る。
【0020】
特定の実施形態では、ウィック１０６および接着剤１０８は、固定的に一緒に結合され得る。他の実施形態では、ウィック１０６および接着剤１０８は、取り外し可能に一緒に結合され得る。
【0021】
一実施形態では、アダプタ１０２は、可撓性であり得る。より特定の一実施形態では、ウィック１０６および接着剤１０８のうちの少なくとも１つが、可撓性材料を含み得る。ウィック１０６の例示的な材料としては、親水性材料、カチオン性ポリマー、アニオン性ポリマー、親水性ノニオン性材料、およびこれらの組み合わせが挙げられる。特定の一実施形態では、例示的な天然物質としては、シリカ、コラーゲン、ペクチン、ゼラチン、デンプン、グァーガム、アラビアゴム、ローカストビーンガム、カラヤゴム、アルギン酸、ナトリウムまたはカリウム塩が挙げられ得る。別の特定の実施形態では、例示的な合成物質としては、カルボキシメチルセルロースナトリウム（ＣＭＣ）、架橋カルボキシメチルセルロースナトリウム、結晶性カルボキシメチルセルロースナトリウム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、架橋デキストラン、デンプン－アクリロニトリルグラフト共重合体、ポリアクリル酸ナトリウムデンプン、グルテン、メチルビニルエーテルのポリマー、マレイン酸、ポリアクリル酸の金属もしくはアンモニウム塩またはその共重合体、ポリスチレンスルホン酸の金属もしくはアンモニウム塩が挙げられ得る。特定の一実施形態では、ウィック１０６は、天然物質の組み合わせ、合成物質の組み合わせ、天然物質と、合成物質との組み合わせを含み得る。
【0022】
接着剤１０８は、例えば、エポキシ、ポリウレタン、ポリイミド、またはこれらの任意の組み合わせを含み得る。一実施形態では、接着剤１０８は、ウィック１０６と結合されるように適合されたフィルムまたはテープを備える。別の実施形態では、接着剤１０８は、ペースト、液体、またはウィック１０６に塗布され得る他の液体もしくは半液体媒体を含み得る。場合によっては、接着剤１０８は、ホットメルト接着剤、熱硬化接着剤、感圧接着剤、またはコンタクト接着剤を含み得る。接着剤１０８は、構造用、半構造用、または非構造用であり得る。
【0023】
接着剤１０８は、ウィック１０６を導管に固定するように適合され得る。特定の一例では、接着剤１０８は、ウィック１０６を導管に取り外し可能に固定するように適合され得る。例えば、特定の一実施形態によれば、アダプタ１０２は、複数の使用のために構成され得る。すなわち、例えば、アダプタ１０２は、第１の導管から取り外されて、第２の導管に対して取り付けられ得る。
【0024】
一実施形態では、漏洩検知システム１００は、取り付け前に望ましくない接着から接着剤１０８を少なくとも部分的に保護するように適合された、取り外し可能なバッキング１１０（図２）を含み得る。バッキング１１０は、取り外し可能に接着剤１０８に結合されるフィルム、テープ、またはシートを含み得る。漏洩検知システム１００を取り付ける前に、バッキング１００を漏洩検知システム１００から剥がして、取り付けのための接着剤１０８を露出することができる。
【0025】
一実施形態では、漏洩検知システム１００は、流体導管に係合して、流体導管からの流体漏洩を検知するように適合されている個別の構成要素を含み得る。漏洩検知システム１００は、すぐに使える構成にサイズ決めされ、形成され、またはそうでなければ構成され得る。例えば、漏洩検知システム１００は、使用可能な形状およびサイズに前もって形成され得る。別の実施形態では、漏洩検知システム１００は、特定の流体導管に適合するように、漏洩検知プリフォーム（例えば、シートまたはロール）からオペレータもしくは取り付け技師によって選択的に作成され得る。そのような方法で、オペレータまたは技師が、必要に応じて、漏洩検知システム１００を形成またはサイズ決めすることができる。
【0026】
非限定的な例として、漏洩検知プリフォームは、ウィック１０６と、接着剤１０８とを含む材料のストリップまたはロールを含み得る。漏洩検知プリフォームは、導管上の漏洩検知のために使用される漏洩検知システム１００の長さＬＬＤＳよりも大きい、漏洩検知プリフォームの最大寸法によって定義される長さＬＰを有し得る。特定の一例では、ＬＰは、少なくとも１．０１ＬＬＤＳ、少なくとも１．０５ＬＬＤＳ、少なくとも１．１ＬＬＤＳ、少なくとも１．２ＬＬＤＳ、少なくとも１．４ＬＬＤＳ、少なくとも１．６ＬＬＤＳ、少なくとも１．８ＬＬＤＳ、または少なくとも２．０ＬＬＤＳであり得る。場合によっては、ＬＰは、少なくとも３ＬＬＤＳ、少なくとも４ＬＬＤＳ、少なくとも５ＬＬＤＳ、または少なくとも１０ＬＬＤＳであり得る。一実施形態では、ＬＰは、１０，０００ＬＬＤＳ以下、５，０００ＬＬＤＳ以下、１，０００ＬＬＤＳ以下、または１００ＬＬＤＳ以下であり得る。漏洩検知プリフォームの長さＬＰは、使用可能な個別の漏洩検知システム１００を作成するために、オペレータが漏洩検知プリフォームの一部を除去するときに、低減され得る。
【0027】
ウィックを受容するように適合された導管は、外周ＣＣを画定する。特定の実施形態では、ウィック１０６は、１．０ＣＣ～５．０ＣＣ、１．０ＣＣ～４．０ＣＣ、１．０ＣＣ～３．０ＣＣ、または１．０ＣＣ～２．０ＣＣの範囲内の長さを有し得る。
【0028】
特定の一実施形態では、ウィック１０６は、取り付けられた状態で見たときに、単プライであり得る。本明細書で使用される場合、単プライは、最終状態で見たときの材料の単一層を指す。すなわち、例えば、単プライウィックは、多プライ構造を作成するようにそれ自体と重ならない、または実質的に重ならない。
【0029】
一実施形態では、漏洩検知プリフォームは、複数の穿孔、しるし、または漏洩検知プリフォームから個別の漏洩検知システム１００を除去する際に、オペレータに指示する、またはオペレータを支援するように適合された他の要素などの弱化構造を含み得る。漏洩検知プリフォームから個別の漏洩検知システム１００を除去した後、漏洩検知プリフォームの隣接領域が、追加の漏洩検知システム１００を作成するために露出され得る。その結果、オペレータは、別の好適な配置のための追加の漏洩検知システム１００を形成することができる。
【0030】
一実施形態では、漏洩検知システム１００は、積層体の厚さだけ互いから離間した第１の主面１１２と、第２の主面１１４とを画定する積層構造を備える。特定の一実施形態では、積層体の厚さは、２５ｍｍ未満、２０ｍｍ未満、１５ｍｍ未満、１０ｍｍ未満、または５ｍｍ未満であり得る。別の特定の実施形態では、積層体の厚さは、０．１ｍｍ以上、０．５ｍｍ以上、１ｍｍ以上、または２ｍｍ以上であり得る。一実施形態では、第２の主面１１４は、接着剤１０８によって、少なくとも部分的に画定され得る。より特定の一実施形態では、第２の主面１１４は、接着剤１０８によって全体的に画定され得る。別の実施形態では、第１の主面１１２は、接着剤１０８によって少なくとも部分的に画定されるか、ウィック１０６によって少なくとも部分的に画定されるか、またはその両方である。一実施形態では、第１の主面１１２の少なくとも５％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも１０％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも１５％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも２０％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも２５％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも３０％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも３５％がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の少なくとも４０％がウィック１０６によって画定される、または第１の主面１１２の少なくとも４５％がウィック１０６によって画定される。別の実施形態では、第１の主面１１２の９９％以下がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の９５％以下がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の９０％以下がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の８０％以下がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の７０％以下がウィック１０６によって画定される、第１の主面１１２の６０％以下がウィック１０６によって画定される、または第１の主面１１２の５０％以下がウィック１０６によって画定される。
【0031】
一実施形態では、積層体が、積層体に沿った全ての位置で測定されたときに均一な、もしくは概して均一な厚さを画定し得る。別の実施形態では、積層体は、積層体の第１の位置における厚さと、積層体の第２の位置における厚さとを画定し得、第１および第２の厚さは、互いに異なる。例えば、一実施形態では、積層体は、ウィック１０６と、接着剤１０８とを含む位置での第１の厚さと、ウィック１０６および接着剤１０８のうちの１つだけを含む位置での第２の厚さと、を画定し得る。第１および第２の厚さは、互いに異なり得る。例えば、第１の位置は、第２の位置よりも厚くあり得る。一実施形態では、第１の位置は、第２の位置の厚さの少なくとも１０１％、第２の位置の厚さの少なくとも１０５％、第２の位置の厚さの少なくとも１１０％、第２の位置の厚さの少なくとも１２５％、第２の位置の厚さの少なくとも１５０％、または第２の位置の厚さの少なくとも１７５％の厚さを有し得る。別の実施形態では、第１の位置は、第２の位置の厚さの１０，０００％以下、第２の位置の厚さの５，０００％以下、第２の位置の厚さの１，０００％以下、第２の位置の厚さの５００％以下、または第２の位置の厚さの２００％以下の厚さを有し得る。
【0032】
図１を参照すると、一実施形態によれば、ウィック１０６は、第１の主面１１２から見たときに、マトリックス配置を画定し得る。マトリックス配置は、例えば、ウィッキング材料の格子状構造を含み得る。一実施形態では、マトリックス配置は、単一のウィッキング材料から形成され得る。別の実施形態では、マトリックス配置は、一緒に結合された異なるウィッキング材料から形成され得る。例えば、マトリックス配置は、第１の材料から形成された複数の行と、第１の材料とは異なる第２の材料から形成された複数の列と、を含み得る。そのような方法で、漏洩は、意図された使用の特定の配置に従って導かれ得る。
【0033】
場合によっては、マトリックスは、一体構造を含み得る。例えば、マトリックスは、結合された単一構成要素として形成され得る。他の例では、マトリックスは、一緒に結合された複数の構成要素を含み得る。例えば、マトリックスは、１つ以上の一次流体チャネル１１６と、１つ以上の二次チャネル１１８と、を含み得る。例示の実施形態では、マトリックスは、中央に位置する一次流体チャネル１１６と、そこから分岐する複数の二次チャネル１１８と、を含む。一実施形態では、二次チャネル１１８は、積層構造の縁部１２０まで延在し得る。こうして、漏洩は、導管から二次チャネル１１８を通って、一次チャネル１１６に、およびセンサー１０４に移送され得る。
【0034】
一実施形態では、流体チャネル１１６および１１８は、互いに比較したときに、同様なサイズ、形状、材料、または流体特性を有し得る。別の実施形態では、一次流体チャネル１１６は、二次チャネル１１８と比較して異なるサイズ、二次チャネル１１８と比較して異なる形状、二次チャネル１１８と比較して異なる材料、および二次チャネル１１８と比較して異なる流体特性のうちの少なくとも１つを有し得る。
【0035】
一実施形態では、センサー１０４は、流体チャネル１１６および１１８のうちの少なくとも１つと流体連通し得る。特定の一実施形態では、センサー１０４は、一次流体チャネル１１６と流体連通し得る。
【0036】
一実施形態によれば、センサー１０４は、特定の流体漏洩を感知するように適合され得る。例えば、センサー１０４は、０．０００１ｍＬ～１ｍＬの範囲の流体漏洩の体積を感知するように適合され得る。いくつかの実施形態では、漏洩検知システム１００は、センサー１０４を通じてより良好に監視するために、流体の成分を溶解するように適合されたソルトパック（図示せず）を含み得る。
【0037】
特定の一実施形態では、図３および４に示されるように、センサー１０４は、基板３０２内に配設された電気回路３００を含み得る。一実施形態では、電気回路３００は、幾何学的に平行な櫛型回路設計を形成し得る。図３に示されるように、一実施形態では、電気回路３００は、第１のワイヤ３０４（ＡとＤとの間に延在する）と、第２のワイヤ３０６（ＢとＣとの間に延在する）との間に幾何学的な蛇行設計を形成し得る。図４は、別の実施形態による、電気回路３００を有する別のセンサー１０４の概略図である。図４に示されるように、電気回路は、第１のワイヤ３０４（ＡとＤとの間に延在する）と、第２のワイヤ３０６（ＢとＣとの間に延在する）との間に幾何学的ならせん型設計を形成し得る。センサー１０４は、電気回路３００の測定特性の連続または平行測定を可能にする。測定特性は、センサー１０４が監視するか、または通信デバイスを介して応答する流体接触に応じて、変化を受ける。測定特性は、抵抗、インピーダンス、キャパシタンス、電流、電圧、またはセンサー１０４の別の測定特性のうちの少なくとも１つであり得る。いくつかの実施形態では、センサー１０４は、電気的に並列に接続された２つの電気回路３００を有し得る。いくつかの実施形態では、センサー１０４は、電気的に直列に接続された２つの電気回路３００を有し得る。
【0038】
一実施形態では、第１のステートでは、センサー１０４の電気回路３００は、乾燥しているときには第１の状態を、湿っているときには第２の状態を有し得る。第２のステートでは、センサー１０４は、センサー１０４の動作可能性を監視する、すなわち、第１のステートで漏洩を検知するセンサー１０４の能力を監視するように適合され得る。いくつかの実施形態では、これらの２つの操作を実行するためのセンサー１０４の操作は、以下のとおり、すなわち、１）Ａと、Ｄとの間の測定特性を測定して、回路の満足できる動作可能性を確認すること、２）Ｂと、Ｃとの間の測定特性を測定して、回路の満足できる動作可能性を確認すること、および３）ＣおよびＤが開放された状態で、Ａと、Ｂとの間の測定特性を測定して、回路の第１のステート（すなわち、センサー１０４が、乾燥しているときに第１の状態にあり、湿っているときに第２の状態にあるかどうか）を検知することである。これらのステップの順序は変更され得、連続して実施され得る。代替的に、これらの２つの操作を実行するための、センサー１０４および漏洩検知システム１００の操作は、以下のとおり、すなわち、１）点ＣとＤとを短絡して、回路の満足できる動作可能性を確認すること、および３）ＣおよびＤが開放された状態で、Ａと、Ｂとの間の測定特性を測定して、回路の第１のステート（すなわち、センサー１０４が、乾燥しているときに第１の状態にあり、湿っているときに第２の状態にあるかどうか）を検知することである。したがって、漏洩検知システム１００を使用する方法は、１）乾燥しているときには第１の状態を、湿っているときには第２の状態を有する第１のステートと、センサー１０４の動作可能性を監視するように適合された第２のステートと、を有するセンサー１０４を有する少なくとも１つの漏洩検知システム１００と、センサー１０４に動作可能に接続された通信デバイスと、流体漏洩を監視するために、流体を有する流体導管に漏洩検知システム１００を取り付けるように適合された、接着剤１０８などの取り付け要素と、を提供することと、２）流体漏洩を監視するための流体導管に漏洩検知システム１００を取り付けることと、を含み得る。
【0039】
他の実施形態では、センサー１０４は、流体との接触の結果として、発光、蛍光、白熱、温度の変化、圧力の変化を、または流体との接触に応じて、任意の他の好適な変化する特性を、発生するように適合された基板３０２を含み得ることが企図される。検知要素は、基板３０２の変化する状態を検知するように、適宜選択され得る。例えば、検知要素は、光センサー、熱電対、または圧力変換器を含み得る。流体と接触した結果、基板３０２が状態（発光、蛍光、白熱、温度、または圧力）を変化させると、検知要素は、変化した状態を感知して、漏洩の警告を生成するために、通信デバイス１０４への信号を生成することができる。
【0040】
図５は、一実施形態による、２つの検知要素を有する例示的なセンサー１０４の立断面図である。センサー１０４は、１つ以上の基板５０６上に配設されている少なくとも２つの検知要素５０２および５０４を含み得る。特定の一実施形態では、検知要素５０２および５０４は、同じ基板５０６上に配設され得る。別の特定の実施形態では、検知要素５０２および５０４は、隣接する基板（総称して「基板」と呼ばれる）上に配設され得る。検知要素５０２および５０４は、基板５０６の同じまたは異なる主面３０８または３１０上に配設され得る。図示のように、別の実施形態によれば、検知要素５０２および５０４はまた、基板５０６内に少なくとも部分的に埋め込まれ得る。
【0041】
一実施形態では、検知要素５０２および５０４は、互いに異なり得る。すなわち、少なくとも２つの検知要素５０２および５０４の各々は、基板５０６の異なる状態を検知するように適合され得る。特定の一実施形態では、検知要素５０２および５０４は、基板５０６上で離間し得る。これにより、センサー１０４のより容易な組み立てが促進され、壊れたもしくは不適切な検知要素のより容易な取り外しが可能になり得る。別の実施形態では、検知要素５０２および５０４は、垂直または水平に重なり得る。垂直または水平に重なることにより、センサー１０４のサイズが低減され、それにより、センサー１０４を取り付けるのに必要なスペースが低減され得る。
【0042】
上記の検知要素のいずれかが、抵抗、コンデンサ、インダクタ、トランジスタ、別の類似の構成要素、またはこれらの任意の組み合わせなどの電子構成要素をさらに含み得る。そのような電子構成要素は、上記の検知要素のための完全な回路を開発するために必要であり得る。
【0043】
一実施形態では、通信デバイス（図示せず）は、センサー１０４に動作可能に結合され得る。特定の一実施形態では、通信デバイスは、センサー１０４に無線で接続され得る。この無線通信は、例えば、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈによって、または別の短距離無線プロトコルによって起こり得る。別の特定の実施形態では、通信デバイスは、導線によってセンサー１０４に接続され得る。導線が、監視されている流体に敏感でないことが確実であるように注意する必要がある。すなわち、導線は、流体と接触した際に破壊される材料から作製されるべきではない。代替的に、導線は、導線と、漏洩検知システム１００内の流体が通る懸念のあるチャネルとの間に配設された外層もしくはシールド層によって、損害を与える流体の相互作用に対して絶縁されるか、さもなければ保護され得る。さらなる一実施形態では、通信デバイスは、センサー１０４と一体化し得る。
【0044】
一実施形態では、通信デバイスは、基板１０６と結合され得る。別の実施形態では、通信デバイスは、センサー１０４と結合され得る。
【0045】
通信デバイスは、無線通信デバイスまたは有線通信デバイスであり得る。すなわち、通信デバイスは、ＨＴＭＬもしくはＨＴＭＬＳ、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）などの無線プロトコル、または導線などの有線プロトコルを使用して動作し得る。通信デバイスは、センサー１０４が流体漏洩を検知すると、センサー１０４からの入力信号を受信し、発信信号を通信ハブもしくは受信デバイスに送信するように適合され得る。このように、通信デバイスは、センサー１０４からの情報を集めて分析し、本明細書で説明されるように、センサー１０４の第１のステート（第１の状態もしくは第２の状態）または第２のステートに基づいて、ユーザーまたはセンサー１０４自体にフィードバックを与えるために、通信ハブに動作可能に接続され得る。
【0046】
本発明の態様（センサー１０４もしくは通信デバイスの１つ以上の実施形態など）のための動作を実行するためのコンピュータプログラムコードは、Ｊａｖａ、Ｓｍａｌｌｔａｌｋ、Ｃ＋＋などのオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語もしくは類似のプログラミング言語などの従来の手続き型プログラミング言語を含む１つ以上のプログラミング言語の任意の組み合わせで書かれ得る。プログラムコードは、スタンドアロンソフトウェアパッケージとしてユーザーのコンピュータ上で完全に、ユーザーのコンピュータ上で部分的に、ユーザーのコンピュータ上で部分的かつリモートコンピュータ上で部分的に、またはリモートコンピュータもしくはサーバ上で完全に実行し得る。後者のシナリオでは、リモートコンピュータは、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）もしくはワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）などの任意のタイプのネットワークを介してユーザーのコンピュータに接続され得るか、または（例えば、インターネットサービスプロバイダを使用してインターネットを介して）外部コンピュータへの接続がなされ得る。
【0047】
一実施形態では、通信デバイスは、連続的に動作し得る。本明細書で使用される場合、「連続的に動作する」は、通信デバイスから、例えば、通信ハブへの信号の連続した、すなわち途切れない送信を指す。一実施形態では、通信デバイスは、受動的に動作し得る。本明細書で使用される場合、「受動的に動作する」は、閾値状態、すなわち流体漏洩の発生時にのみ、通信ハブに信号を送信することを指す。例えば、通信デバイスは、電源によって給電され得る。一実施形態では、センサー１０４が漏洩を感知したときのみ、通信デバイスは、通信ハブに信号を送信するために、電力を受信し得る。これにより、電源からの電流引き込みを低減することによって、漏洩検知システム１００の動作可能寿命を延ばすことができ、それにより、漏洩検知システム１００のより遠隔の位置付けが可能になる。
【0048】
一実施形態では、通信デバイスは、基板の外面を超えて延在するように露出され得る。このように、通信デバイスは、ユーザーが通信デバイスを調整または交換することができるように、アクセス可能であり得る。一実施形態では、通信デバイスは基板内に、完全になど、少なくとも部分的に埋め込まれ得る。これにより、さもなければ、基板の表面に配設された場合に通信デバイスに接触し得る有害な流体への暴露から通信デバイスを保護し得る。
【0049】
一実施形態では、通信デバイスは、基板１０６から取り外し可能であり得る。別の実施形態では、通信デバイスは、交換可能であり得る。電気的インターフェースは、通信デバイスの迅速な交換を可能にし得る。例えば、電気的インターフェースは、通信デバイス上の電気的接続点と一致する電気的接続点を有する１つ以上のポートからなり得る。様々な通信デバイスが、同じ配置の電気的接続点を有し得、それによって、迅速な交換および通信デバイス間の入れ替えが可能になる。
【0050】
図６を参照すると、漏洩検知システム１００は、流体導管６０２上に取り付けられ得る。図６に示された流体導管６０２は、接合部６０８で一緒に接合された上部導管６０４と、下部導管６０６と、を含む。接合部６０８は、例えば、上部および下部流体導管６０４および６０６の間の界面によって形成され得る。特定の一実施形態では、接合部６０８は、上部流体導管６０４と、下部流体導管６０６とを一緒に固定するように適合されたねじ付きまたはねじなし継手部材６１０をさらに含み得る。一実施形態による記載の漏洩検知システム１００は、下部流体導管６０４、接合部６０８、継手部材６１０、またはこれらの任意の組み合わせなどの流体導管６０２に結合され得る。別の実施形態では、漏洩検知システム１００は、上部流体導管６０４に結合され得る。より特定の一実施形態では、漏洩検知システム１００は、上部流体導管６０４と、下部流体導管６０４、接合部６０８、および継手部材６１０のうちの１つ以上と、に結合され得る。
【0051】
図６に示されるように、一実施形態では、漏洩検知システム１００は、外部環境（例えば、オペレータが漏洩検知システム１００を目視し得る領域）から目視でき得る。より特定の一実施形態では、ウィック１０６は、外部環境から目視でき得る。さらにより特定の一実施形態では、ウィック１０６の大部分が、外部環境から目視でき得る。
【0052】
場合によっては、流体導管６０２は、処理施設の一部であり得、構成要素の形成に関連する操作ステップに関連付けられ得る。より特定の一例では、流体導管６０２は、マイクロエレクトロニクス構成要素の形成に関連付けられた操作ステップを実行するための操作領域を含むマイクロエレクトロニクス装置の一部であり得る。流体導管６０４は、操作領域と流体連通し得、操作ステップに関連付けられた流体を移送するように適合され得る。特定の一実施形態では、接合部６０８は、従来の漏洩検知システムが失敗することが多い垂直接合部を含み得る。
【0053】
一実施形態では、漏洩検知システム１００は、流体導管６０２から取り外し可能であり得る。より特定の一実施形態では、漏洩検知システム１００は、流体導管６０２から取り外された後に、流体導管６０２または別の流体導管に対して再取り付け可能であり得る。すなわち、例えば、漏洩検知システム１００は、再使用可能であり得る。
【0054】
漏洩検知システム１００の流体導管６０２への取り付けは、漏洩検知システム１００を流体導管６０２の周りに巻き付け、流体導管６０２内に圧入することによって行われ得る。一実施形態では、ウィック１０６の巻き付けは、ウィックの第１の端部からウィック１０６の第２の端部に向かう方向に（例えば、流体導管６０２の周りに）実施され得る。一実施形態では、流体導管６０２内への漏洩検知システム１００の圧入は、流体導管６０２内に接着剤１０８を圧入することを含み得る。場合によっては、流体導管６０２へのウィック１０６の接着は、流体導管６０２の全周に、もしくは実質的に全周にウィック１０６を巻き付けることと同時に、もしくは概して同時に実施され得る。
【0055】
一実施形態では、ウィック１０６へのセンサー１０４の取り付けは、流体導管６０２の実質的に全周にウィック１０６を巻き付けた後に、実施され得る。センサー１０４は、取り付けが完了した後、流体導管６０２から離間したままであり得る。
【0056】
実施形態１．漏洩検知システムであって、
導管に結合され、導管からの漏洩を漏洩センサーに導くように構成されたアダプタを備え、アダプタが、
親水性材料、
カチオン性ポリマー材料、
アニオン性ポリマー材料、
親水性ノニオン性材料、または
これらの任意の組み合わせからなるウィックを備える、漏洩検知システム。
導管に結合され、導管からの漏洩を漏洩センサーに導くように構成されたアダプタを備え、アダプタが、
親水性材料、
カチオン性ポリマー材料、
アニオン性ポリマー材料、
親水性ノニオン性材料、または
これらの任意の組み合わせからなるウィックを備える、漏洩検知システム。
【0057】
実施形態２．漏洩検知システムであって、
導管からの漏洩流体を漏洩センサーに移送するように適合された積層体を備え、積層体が、
漏洩流体を移送するように適合されたウィックと、
ウィックを導管に固定するように適合された接着剤と、を備える、漏洩検知システム。
導管からの漏洩流体を漏洩センサーに移送するように適合された積層体を備え、積層体が、
漏洩流体を移送するように適合されたウィックと、
ウィックを導管に固定するように適合された接着剤と、を備える、漏洩検知システム。
【0058】
実施形態３．漏洩検知システムであって、
ウィックであって、幅を有し、結合されたウィックがウィックの上記幅以下の幅を有するように、導管の周囲に結合されるように適合された、ウィックを備え、ウィックが、漏洩流体を、導管に対して任意の方向にセンサーに移送するように適合されている、漏洩検知システム。
ウィックであって、幅を有し、結合されたウィックがウィックの上記幅以下の幅を有するように、導管の周囲に結合されるように適合された、ウィックを備え、ウィックが、漏洩流体を、導管に対して任意の方向にセンサーに移送するように適合されている、漏洩検知システム。
【0059】
実施形態４．漏洩検知システムであって、
基板上に配設され、漏洩流体を導管から漏洩センサーに移送するように適合されたウィックを備え、ウィックが、マトリックス配置の複数の流体チャネルを備える、漏洩検知システム。
基板上に配設され、漏洩流体を導管から漏洩センサーに移送するように適合されたウィックを備え、ウィックが、マトリックス配置の複数の流体チャネルを備える、漏洩検知システム。
【0060】
実施形態５．導管の全周に沿った外部環境からウィックが目視できる、実施形態１～４のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0061】
実施形態６．ウィックが、ウィックを導管に固定するように適合されている接着剤に結合されている、実施形態１～５のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0062】
実施形態７．ウィックおよび接着剤が、固定的に一緒に結合されている、実施形態６に記載の漏洩検知システム。
【0063】
実施形態８．ウィックが、可撓性材料からなる、実施形態１～７のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0064】
実施形態９．導管が、垂直に配向された管を備える、実施形態１～８のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0065】
実施形態１０．垂直に配向された管が、接合部で二次管に接合されており、この接合部が、ウィックを受容するように適合された領域の上に配設されている、実施形態９に記載の漏洩検知システム。
【0066】
実施形態１１．ウィックが、
親水性カチオン性ポリマー、
シリカ、コラーゲン、ペクチン、ゼラチン、デンプン、グァーガム、アラビアゴム、ローカストビーンガム、カラヤゴム、アルギン酸、ナトリウムまたはカリウム塩からなる天然物質、
カルボキシメチルセルロースナトリウム（ＣＭＣ）、架橋カルボキシメチルセルロースナトリウム、結晶性カルボキシメチルセルロースナトリウム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、架橋デキストラン、デンプン－アクリロニトリルグラフト共重合体、ポリアクリル酸ナトリウムデンプン、グルテン、メチルビニルエーテルのポリマー、マレイン酸、ポリアクリル酸の金属もしくはアンモニウム塩またはその共重合体、ポリスチレンスルホン酸の金属もしくはアンモニウム塩からなる合成物質、あるいは
それらの任意の組み合わせからなる、実施形態１～１０のいずれか１つに記載の漏洩検知システム
親水性カチオン性ポリマー、
シリカ、コラーゲン、ペクチン、ゼラチン、デンプン、グァーガム、アラビアゴム、ローカストビーンガム、カラヤゴム、アルギン酸、ナトリウムまたはカリウム塩からなる天然物質、
カルボキシメチルセルロースナトリウム（ＣＭＣ）、架橋カルボキシメチルセルロースナトリウム、結晶性カルボキシメチルセルロースナトリウム、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、架橋デキストラン、デンプン－アクリロニトリルグラフト共重合体、ポリアクリル酸ナトリウムデンプン、グルテン、メチルビニルエーテルのポリマー、マレイン酸、ポリアクリル酸の金属もしくはアンモニウム塩またはその共重合体、ポリスチレンスルホン酸の金属もしくはアンモニウム塩からなる合成物質、あるいは
それらの任意の組み合わせからなる、実施形態１～１０のいずれか１つに記載の漏洩検知システム
【0067】
実施形態１２．ウィックを受容するように適合された導管が、外周ＣＣを有し、ウィックの長さが、１．０ＣＣ～５．０ＣＣ、１．０ＣＣ～４．０ＣＣ、１．０ＣＣ～３．０ＣＣ、または１．０ＣＣ～２．０ＣＣの範囲内である、実施形態１～１１のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0068】
実施形態１３．導管とともに取り付けられた状態において、ウィックが単プライである、実施形態１～１２のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0069】
実施形態１４．ウィックが、導管からの漏洩流体を検知するように適合されたセンサーに結合されるように適合されている、実施形態１～１３のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0070】
実施形態１５．センサーが、ウィックによって支持されるように適合されている、実施形態１４に記載の漏洩検知システム。
【0071】
実施形態１６．センサーが、導管から離間するように適合されている、実施形態１４および１５のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0072】
実施形態１７．マイクロエレクトロニクス構成要素を形成する操作ステップに関連付けられた導管に結合されるように適合されている、実施形態１～１６のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0073】
実施形態１８．ウィックおよび接着剤が、この積層体の厚さだけ互いから離間した第１および第２の主面を画定する積層体を備える、実施形態１～１７のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0074】
実施形態１９．第２の主面が、接着剤によって画定される、実施形態１８に記載の漏洩検知システム。
【0075】
実施形態２０．第１の主面が、接着剤によって少なくとも部分的に画定されるか、ウィックによって少なくとも部分的に画定されるか、またはその両方である、実施形態１８および１９のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0076】
実施形態２１．第１の主面の少なくとも５％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも１０％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも１５％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも２０％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも２５％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも３０％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも３５％がウィックによって画定される、第１の主面の少なくとも４０％がウィックによって画定される、または第１の主面の少なくとも４５％がウィックによって画定される、実施形態１８～２０のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0077】
実施形態２２．第１の主面の９９％以下がウィックによって画定される、第１の主面の９５％以下がウィックによって画定される、第１の主面の９０％以下がウィックによって画定される、第１の主面の８０％以下がウィックによって画定される、第１の主面の７０％以下がウィックによって画定される、第１の主面の６０％以下がウィックによって画定される、または第１の主面の５０％以下がウィックによって画定される、実施形態１８～２１のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0078】
実施形態２３．第１の主面に垂直な方向から見たときに、ウィックおよび接着剤の両方が目視できる、実施形態１８～２２のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0079】
実施形態２４．ウィックが、接着剤に結合されたストリップを備える、実施形態１８～２３のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0080】
実施形態２５．ウィックが、コーティングを備える、実施形態１８～２３のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0081】
実施形態２６．ウィックが、複数の個別流体チャネルを画定する、実施形態１～２５のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0082】
実施形態２７．複数の個別流体チャネルが、流体連通している、実施形態２６に記載の漏洩検知システム。
【0083】
実施形態２８．複数の個別流体チャネルが、マトリックスを画定する、実施形態２６および２７のいずれか１つに記載の漏洩検知システム。
【0084】
実施形態２９．流体導管であって、
第１の導管と第２の導管との間の接合部であって、第１および第２の導管のうちの少なくとも１つが垂直導管である、接合部と、
漏洩検知システムであって、
第１および第２の導管のうちの少なくとも１つに接着剤によって結合されたウィックと、
接合部からウィックに沿って移送される漏洩を検知するように適合されたセンサーと、を備える、漏洩検知システムと、を備える、流体導管。
第１の導管と第２の導管との間の接合部であって、第１および第２の導管のうちの少なくとも１つが垂直導管である、接合部と、
漏洩検知システムであって、
第１および第２の導管のうちの少なくとも１つに接着剤によって結合されたウィックと、
接合部からウィックに沿って移送される漏洩を検知するように適合されたセンサーと、を備える、漏洩検知システムと、を備える、流体導管。
【0085】
実施形態３０．ウィックが、第１および第２の導管のうちの少なくとも１つから取り外されるように適合されている、実施形態２９に記載の流体導管。
【0086】
実施形態３１．ウィックが、第１および第２の導管のうちの少なくとも１つの全周に沿った外部環境から目視できる、実施形態２９および３０のいずれか１つに記載の流体導管。
【0087】
実施形態３２．接着剤が、ウィックと一体になっている、実施形態２９～３１のいずれか１つに記載の流体導管。
【0088】
実施形態３３．第１および第２の導管のうちの少なくとも１つが、垂直に配向されている、実施形態２９～３２のいずれか１つに記載の流体導管。
【0089】
実施形態３４．ウィックが、可撓性材料からなる、実施形態２９～３３のいずれか１つに記載の流体導管。
【0090】
実施形態３５．ウィックが、単プライである、実施形態２９～３４のいずれか１つに記載の流体導管。
【0091】
実施形態３６．ウィックが、流体導管を含む領域の周囲環境と直接流体連通している、実施形態２９～３５のいずれか１つに記載の流体導管。
【0092】
実施形態３７．第１および第２の導管が、マイクロエレクトロニクス構成要素を形成する操作ステップに対応して、流体を移送するように適合されている、実施形態２９～３６のいずれか１つに記載の流体導管。
【0093】
実施形態３８．センサーが、ウィックに取り外し可能に結合されている、実施形態２９～３７のいずれか１つに記載の流体導管。
【0094】
実施形態３９．マイクロエレクトロニクス装置であって、
マイクロエレクトロニクス構成要素の形成に関連付けられた操作ステップを実行するための操作領域と、
操作領域と連通し、操作ステップに関連付けられた流体を移送するように適合された流体導管であって、上部導管と、下部導管との間の垂直接合部を備える、流体導管と、
下部導管の周りに配設されている取り外し可能な漏洩検知システムと、を備え、漏洩検知システムが、
下部導管の全周の周りに延在するウィックと、
下部導管からウィックに沿って移送される漏洩を検知するように適合されたセンサーと、を備える、マイクロエレクトロニクス装置。
マイクロエレクトロニクス構成要素の形成に関連付けられた操作ステップを実行するための操作領域と、
操作領域と連通し、操作ステップに関連付けられた流体を移送するように適合された流体導管であって、上部導管と、下部導管との間の垂直接合部を備える、流体導管と、
下部導管の周りに配設されている取り外し可能な漏洩検知システムと、を備え、漏洩検知システムが、
下部導管の全周の周りに延在するウィックと、
下部導管からウィックに沿って移送される漏洩を検知するように適合されたセンサーと、を備える、マイクロエレクトロニクス装置。
【0095】
実施形態４０．操作ステップに関連付けられた流体が、硫酸、過酸化物、塩化水素、フッ化水素、１つ以上の溶媒、またはこれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも１つを含む、実施形態３９に記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0096】
実施形態４１．ウィックが、硫酸、過酸化物、塩化水素、フッ化水素、１つ以上の溶媒、またはこれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも１つを吸い上げるように適合された材料からなる、実施形態３９および４０のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0097】
実施形態４２．ウィックが、硫酸、過酸化物、塩化水素、フッ化水素、および１つ以上の溶媒を移送するように適合された材料からなる、実施形態３９～４１のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0098】
実施形態４３．ウィックが、単プライである、実施形態３９～４２のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0099】
実施形態４４．ウィックが、可撓性材料シートからなる、実施形態３９～４３のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0100】
実施形態４５．ウィックが、接着剤によって下部導管に結合されている、実施形態３９～４４のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0101】
実施形態４６．接着剤が、粘着剤を含む、実施形態４５に記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0102】
実施形態４７．ウィックおよび接着剤が、積層構造を備える、実施形態４５および４６のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0103】
実施形態４８．ウィックが、漏洩流体を下部流体導管からセンサーに向かう方向に移送するように適合されており、センサーが、ウィックに対して任意の相対角度で配設可能である、実施形態３９～４７のいずれか１つに記載のマイクロエレクトロニクス装置。
【0104】
実施形態４９．流体導管からの漏洩を検知する方法であって、
垂直に配向された流体導管の実質的に全周にウィックを巻き付けることと、
ウィックに関連付けられた接着剤によって、ウィックを流体導管に接着することと、
導管に漏洩検知センサーを取り付けることと、を含む、方法。
垂直に配向された流体導管の実質的に全周にウィックを巻き付けることと、
ウィックに関連付けられた接着剤によって、ウィックを流体導管に接着することと、
導管に漏洩検知センサーを取り付けることと、を含む、方法。
【0105】
実施形態５０．ウィックを巻き付けることが、流体導管の周囲に１回転実施される、実施形態４９に記載の方法。
【0106】
実施形態５１．流体導管の実質的に全周にウィックを巻き付ける前に、ウィックの長さを調整することをさらに含む、実施形態４９および５０のいずれか１つに記載の方法。
【0107】
実施形態５２．流体導管の実質的に全周にウィックを巻き付ける前に、ウィックから粘着性バッキングを取り外すことをさらに含む、実施形態４９～５１のいずれか１つに記載の方法。
【0108】
実施形態５３．ウィックを接着することが、流体導管内にウィックを圧入することによって実施される、実施形態４９～５２のいずれか１つに記載の方法。
【0109】
実施形態５４．ウィックを接着することが、流体導管の実質的に全周にウィックを巻き付けることと概して同時に起こる、実施形態４９～５３のいずれか１つに記載の方法。
【0110】
実施形態５５．ウィックに漏洩検知センサーを取り付けることが、流体導管の実質的に全周にウィックを巻き付けた後に実施される、実施形態４９～５４のいずれか１つに記載の方法。
【0111】
実施形態５６．ウィックに漏洩検知センサーを取り付けることが、取り付けが完了した後に、漏洩検知センサーが流体導管から離間したままであるように実施される、実施形態４９～５５のいずれか１つに記載の方法。
【0112】
実施形態５７．ウィックを巻き付けることが、ウィックの第１の長手方向端から、ウィックの第２の長手方向端に向かう方向に実施される、実施形態４９～５６のいずれか１つに記載の方法。
【0113】
概要または実施例において上述した動作の全てが必要であるとは限らず、特定の動作の一部が必要でない場合があり、説明した動作に加えて１つ以上のさらなる動作を実行してもよいことに留意されたい。またさらに、動作が列挙される順序は、必ずしもその動作が実行される順序ではない。
【0114】
利益、他の利点、および問題に対する解決策は、特定の実施形態に関して上述されている。しかしながら、利益、利点、問題に対する解決策、および任意の利益、利点、もしくは解決策を発生させるか、またはより顕著にさせる可能性のある任意の特徴（複数可）は、特許請求の範囲のいずれかまたは全ての重要な、必須の、または本質的な特徴として解釈されるべきではない。
【0115】
本明細書に記載の実施形態の明細書および例示は、様々な実施形態の構造の一般的な理解を提供することを意図している。明細書および例示は、本明細書に記載の構造または方法を使用する装置およびシステムの全ての要素および特徴の網羅的かつ包括的な説明として役立つことを意図するものではない。別個の実施形態はまた、単一の実施形態において組み合わせて提供されてもよく、逆に、簡潔にするために、単一の実施形態の文脈で説明されている様々な特徴もまた、別個にまたは任意の副組み合わせで提供されてもよい。さらに、範囲で述べられた値への言及は、その範囲内のありとあらゆる値を含む。本明細書を読んだだけで、他の多くの実施形態が当業者には明らかであろう。本開示の範囲から逸脱することなく、構造的置換、論理的置換、または別の変更を行うことができるように、本開示から他の実施形態を使用して導き出すことができる。したがって、本開示は限定的ではなく例示的とみなされるべきである。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【国際調査報告】