特表 2022-519498 対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡及び当該顕微鏡を利用する方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】

(43)【公表日】2022-03-24

(54)【発明の名称】対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡及び当該顕微鏡を利用する方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 21/00 20060101AFI20220316BHJP

【ＦＩ】

G02B21/00

【審査請求】有

【予備審査請求】有

(21)【出願番号】P 2021544201

(86)(22)【出願日】2020-01-27

(85)【翻訳文提出日】2021-09-24

(86)【国際出願番号】 US2020015254

(87)【国際公開番号】W WO2020159887

(87)【国際公開日】2020-08-06

(31)【優先権主張番号】62/798,300

(32)【優先日】2019-01-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】16/752,324

(32)【優先日】2020-01-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(81)【指定国・地域】

(71)【出願人】

【識別番号】505377474

【氏名又は名称】フォームファクター， インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100147485

【弁理士】

【氏名又は名称】杉村 憲司

(74)【代理人】

【識別番号】230118913

【弁護士】

【氏名又は名称】杉村 光嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100170597

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 直樹

(72)【発明者】

【氏名】ジェラルド リー ギスラ―

(72)【発明者】

【氏名】シーア チョーン ベン

(72)【発明者】

【氏名】アンソニー ジェームス ロード

(72)【発明者】

【氏名】ギャヴィン ニール フィッシャー

【テーマコード（参考）】

2H052

【Ｆターム（参考）】

2H052AB01

2H052AD05

2H052AD06

2H052AF01

2H052AF19

(57)【要約】

対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡及び／又は当該顕微鏡を利用する方法が本明細書で開示されている。たとえば顕微鏡は、顕微鏡本体と、対物レンズを含む対物レンズアセンブリと、該対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に取り外し可能に取り付ける対物レンズアセンブリ取付部と、前記顕微鏡と前記対物レンズアセンブリとの間での相対方位が所定の相対方位と異なることを示唆する方位検出回路を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

顕微鏡であって、
顕微鏡本体と、
対物レンズを含む対物レンズアセンブリと、
該対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に取り外し可能に取り付ける対物レンズアセンブリ取付部と、
当該顕微鏡と前記対物レンズアセンブリとの間での相対方位が所定の相対方位と異なることを示唆する方位検出回路、
を備える顕微鏡。

【請求項2】

請求項１に記載の顕微鏡であって、
前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位が所定の相対方位から変化したときに、（ｉ） 前記方位検出回路の電気的な連続性、（ｉｉ） 前記方位検出回路内の電流、（ｉｉｉ） 前記方位検出回路の電圧、
のうちの少なくとも一が変化するように構成される1つ以上の電気回路を含む、
顕微鏡。

【請求項3】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路が電気スイッチを含む、顕微鏡。

【請求項4】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に閉じ、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に開く、
顕微鏡。

【請求項5】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に開き、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に閉じる、
顕微鏡。

【請求項6】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは電気的接触面の一致する対を含み、
前記電気的接触面の一致する対のうちの一は前記対物レンズアセンブリ内に含まれ、
前記電気的接触面の一致する対のうちの他は前記対物レンズアセンブリマウント内に含まれる、
顕微鏡。

【請求項7】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を検出するように構成される位置センサを含む、顕微鏡。

【請求項8】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるように前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動するように構成される、顕微鏡。

【請求項9】

請求項８に記載の顕微鏡であって、
前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを保持するように構成される受け入れ領域を有し、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように構成される、
顕微鏡。

【請求項10】

請求項９に記載の顕微鏡であって、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように、前記対物レンズアセンブリに対して大きなサイズである、
顕微鏡。

【請求項11】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、重力を利用して前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される、顕微鏡。

【請求項12】

請求項１に記載の顕微鏡であって、
重力を利用して前記所定の相対方位で前記対物レンズアセンブリを支持するレベリング機構をさらに備え、
前記レベリング機構は、３点マウント構造、動力学的マウント構造、及び疑動力学的マウント構造のうちの１つ以上を含む、
顕微鏡。

【請求項13】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される磁気アセンブリをさらに含む、顕微鏡。

【請求項14】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズの光軸に沿って当該顕微鏡を並進操作させるように構成される駆動機構をさらに備える、顕微鏡。

【請求項15】

請求項１に記載の顕微鏡であって、制御装置をさらに備え、
前記制御装置は、
前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆が、前記方位検出回路から受け取られるときに、当該顕微鏡の運動を止めるコンピュータ可読命令を格納する非一時的メモリと、
前記の格納されたコンピュータ可読命令を実行するようにプログラムされた処理部、
を備える、
顕微鏡。

【請求項16】

被試験デバイス（DUT）をテストするプローブシステムであって、
前記ＤＵＴを含む基板を受けるように構成される支持面を画定するチャックと、
前記ＤＵＴと連通するように構成されるプローブと、
前記ＤＵＴへテスト信号を供してその結果得られる信号を前記ＤＵＴから受けるように構成される信号生成及び解析アセンブリと、
前記プローブと前記ＤＵＴのうちの少なくとも１つの画像を収集するように構成される請求項１に記載の顕微鏡と、
（ｉ）前記支持面に対して前記プローブを並進操作させるように構成されるマニピュレータと、（ｉｉ）前記プローブと前記支持面との間での相対方位を選択的に制御するように構成される駆動アセンブリと、のうちの少なくとも１つと、
を備えるプローブシステム。

【請求項17】

対物レンズアセンブリと顕微鏡本体を有する顕微鏡と対象物との間での衝突を検出する方法であって、
当該顕微鏡と前記対象物を互いに相対的に移動させる段階と、
前記対物レンズアセンブリを前記対象物に物理的に接触させる段階と、
前記物理的に接触させる段階に応じて前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階と、
前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階と、
を有する方法。

【請求項18】

請求項１７に記載の方法であって、当該顕微鏡の移動を調節する段階は、当該顕微鏡の移動を止める段階と前記対象物から当該顕微鏡を後退させる段階を含む、方法。

【請求項19】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、前記対物レンズアセンブリと前記対象物との間での物理的接触を示唆する警告を生成する段階をさらに有する、方法。

【請求項20】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、試験プローブの運動を止める段階、及び、前記試験プローブを前記対物レンズアセンブリから引き離す段階のうちの１つ以上の段階をさらに有する、方法。

【請求項21】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、被試験デバイスの運動を止める段階、及び、前記被試験デバイスを前記対物レンズアセンブリから引き離す段階のうちの１つ以上の段階をさらに有する、方法。

【請求項22】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階は、前記対物レンズアセンブリ内に少なくとも部分的に含まれる電気スイッチの電気的連続性の変化に基づく、方法。

【請求項23】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを移動する段階は、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを枢動させることで、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位を所定の相対方位から変化させる段階をさらに有する、方法。

【発明の詳細な説明】

【関連出願】

【0001】

本出願は、2020年1月24日に出願された米国特許出願シリアル番号16/752,324、及び2019年1月29日に出願された米国仮特許出願番号62/798,300の優先権を主張するものであり、それらの完全な開示内容は参照により本明細書に組み込まれる。

【技術分野】

【0002】

本開示は概して、対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡及び当該顕微鏡を利用する方法に関する。

【背景技術】

【0003】

顕微鏡が、光学像を収集、格納、及び／又は表示するのにプローブシステム内で通常利用される。これらの光学像は、プローブシステムと被試験体（ＤＵＴ）との位置合わせを容易にする－たとえばプローブシステムによるＤＵＴの試験を可能にする－のに自動及び／又は手動制御されるプローブシステム内で利用され得る。光学倍率が高く、かつ、含まれる許容誤差に余裕がないため、顕微鏡又は当該顕微鏡の対物レンズアセンブリは、ＤＵＴ、プローブ、及び／又は他のプローブシステムの構成要素と衝突する恐れがある。加えて又は代わりに、プローブシステムの構成要素は対物レンズアセンブリと衝突する恐れがある。そのような衝突は、顕微鏡、プローブシステム、及び／又はＤＵＴへ損傷を与える恐れがある。

【発明が解決する課題】

【0004】

よって対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡及び／又は当該対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡を利用する方法が必要とされる。

【課題を解決する手段】

【0005】

対物レンズアセンブリの衝突検出機能付き顕微鏡及び／又は当該顕微鏡を利用する方法が本明細書で開示されている。たとえば顕微鏡は、顕微鏡本体と、対物レンズを含む対物レンズアセンブリと、該対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に取り外し可能に取り付ける対物レンズアセンブリ取付部と、前記顕微鏡と前記対物レンズアセンブリとの間での相対方位が所定の相対方位と異なることを示唆する方位検出回路を備える。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】本開示によるプローブシステムの一部を構成し得る顕微鏡の例の概略図である。

【図2】顕微鏡本体と対物レンズアセンブリを含む顕微鏡の概略図である。前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリは、プローブシステムのプローブへの接触前に顕微鏡本体と対物レンズアセンブリとの間での所定の相対方位を画定する。

【図3】顕微鏡本体と対物レンズアセンブリを含む顕微鏡の概略図である。図中、前記対物レンズアセンブリはプローブと衝突し、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリは、所定の相対方位とは異なる相対方位を画定する。

【図4】本開示による顕微鏡の対物レンズアセンブリ取付部の例の非概略図である。

【図5】本開示による顕微鏡の対物レンズアセンブリの底面図の非概略図である。

【図6】本開示による顕微鏡の対物レンズアセンブリと対物レンズアセンブリ取付部の典型的なレベリング機構の非概略図である。前記対物レンズアセンブリと前記対物レンズアセンブリ取付部は前記対物レンズアセンブリと前記対物レンズアセンブリ取付部との間で所定の相対方位を画定していない。

【図7】本開示による顕微鏡の対物レンズアセンブリと対物レンズアセンブリ取付部の典型的な方位検出回路の非概略図である。前記対物レンズアセンブリと前記対物レンズアセンブリ取付部は前記対物レンズアセンブリと前記対物レンズアセンブリ取付部との間で所定の相対方位を画定していない。

【図8】本開示による顕微鏡を利用する方法の例を表すフローチャートである。

【発明を実施する形態】

【0007】

図1～8は、本開示によるプローブシステム10、顕微鏡100、及び／又は方法200の例を提供している。類似した又は少なくとも実質的に類似した目的を果たす部材は、図1～8のそれぞれにおいて同様の番号でラベル付けされており、これらの部材は、図1～8のそれぞれを参照する際に本明細書で詳細に説明されない場合がある。同様に、すべての部材を図1～8のそれぞれにラベル付けされないこともあるが、本明細書では一貫してそれに関連する参照数字を利用される。本明細書で図1～8のうちの1つ以上を参照して議論されている部材、構成要素、及び／又は機能は、本開示の範囲から逸脱することなく、図1～8のいずれかに含まれ、及び／又は図1～8とともに利用されてもよい。

【0008】

一般に、特定の実施形態に含まれる可能性が高い部材は実線で図示され、任意である部材は破線で図示される。しかし、実線で示されている部材は本質的ではない場合があり、一部の実施形態では、本開示の範囲から逸脱することなく省略することができる。さらに、構成要素間の電気的接続（有線又は無線）は点線で図示され、構成要素の異なる可能な部分及び／又は位置は、鎖線で図示されている。

【0009】

図1は、本開示によるプローブシステム10の一部を形成し得る顕微鏡100の概略図である。図2～7は、顕微鏡100及び／又はその構成要素の追加例を示す。便宜上、新しい構成要素の説明を始める前に所与の構成要素が実質的に完全に説明されるように、プローブシステム10の構成要素は概して、本明細書の説明において順次説明される。したがって、図1に模式的に示されているように所与の構成要素を導入して説明し、続いて、次の構成要素に移る前に、図2～7のうちの1つ以上に示されているような構成要素の具体例をより詳細に説明することができる。このため本明細書では、図1～7をまとめて説明し、その後、図8の説明を行う。

【0010】

より詳細には、図2～7は、顕微鏡100とプローブシステム10の他の構成要素との間で衝突が発生したことを判定するのに使用され得る方位検出回路150の具体的な例を提供している。図2～7の例では、方位検出回路150は、顕微鏡100の対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリ取付部130に含まれる複数の接触構造160を含む。図2-3は、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリ取付部130との間の相対方位が、衝突中及び／又は衝突後にどのように変化するか、かつ、如何にしてこの方位の変化によって、2つ以上の接触構造体160が互いに接触しなくなるのなるかを示している。

【0011】

図4～7は、この例示的な方位検出回路150（すなわち、複数の接触構造160を含むもの）が、対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130にどのように組み込まれるかを示し、さらに、対物レンズアセンブリマウント130及び対物レンズアセンブリ120のさらなる任意の構造／構成要素を示す。特に、図4は、1つ以上の接触構造体160と、レベリング機構136などの様々な他の構造／構成要素とを備える例示的な対物レンズアセンブリマウント130を示し、図5は、対物レンズアセンブリ120の底面で、特に、対物レンズアセンブリマウント130と直接相互作用する対物レンズアセンブリ120の突出領域128の底面を示している。突出領域128のこの底面は、対物レンズアセンブリマウント130の接触構造160と相互作用する1つ以上の接触構造160を含んでもよい。図6及び図7はさらに、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130がずれている衝突後の例を示す。図8は、対物レンズアセンブリ120とプローブシステム10の様々な構成要素との間の衝突を検出及び／又は軽減するための例示的な方法を示す。

【0012】

図1～図7によってまとめて示されるように、顕微鏡100は、顕微鏡本体110と、対物レンズ122を含む対物レンズアセンブリ120とを含む。顕微鏡100は、対物レンズアセンブリマウント130と、方位検出回路150も含む。図1に破線で示されているように、顕微鏡100はまた、駆動機構170を含んでもよい。

【0013】

論じられたように、顕微鏡100は、プローブシステム10に含まれてもよく、及び／又はプローブシステム10の一部を形成してもよい。プローブシステム10は、複数の構成要素を含んでもよく、その例は、図1に破線で示されている。一例として、プローブシステム10はチャック20を含んでよい。チャック20は、支持面22を含む、及び／又は、支持面22を規定してもよく、支持面22は、基板30を受ける、及び／又は、支持するようなサイズ、形状、及び／又は、構成であってよい。基板30は、少なくとも1つの被試験デバイス（DUT）32を含んでよく、プローブシステム10は、DUTの動作を試験し、電気的に試験し、及び／又は光学的に試験するように構成されていてもよい。チャック20の例には、ウェハチャック、静電チャック、及び／又は温度制御チャックが含まれる。

【0014】

別の例として、プローブシステム10は、DUT32と通信するように構成されたプローブ40を含んでよい。一例として、プローブ40は、たとえばDUTの接触パッド34でDUT32に接触し、又は電気的に接触するように構成されてよい。別の例として、プローブ40は、DUT32と無線通信するように構成されてもよい。プローブ40の例には、電気プローブ、電気伝導体、高周波プローブ、無線プローブ、アンテナ、及び／又は近接場アンテナが含まれる。

【0015】

さらに別の例として、プローブシステム10は、マニピュレータ50を含んでもよい。マニピュレータ50は、たとえばプローブとDUTとの位置合わせを許可及び／又は容易にするように、プローブ40を支持面22に対して及び／又はDUT32に対して並進操作させるように構成されてもよい。一例として、マニピュレータ50は、プローブ40をDUTの接触パッドに電気的に接触させるために利用されてもよい。これは、図1のX軸、Y軸、及び／又はZ軸に沿ったプローブ40の並進を含んでよい。マニピュレーマニピュレータピュレーター、電気的マニピュレーター、リードスクリューとナット、ボールスクリューとナット、リニアアクチュエータ、ステッピングモータ、及び／又は圧電アクチュエータが含まれる。

【0016】

他の例では、プローブ40は、プローブカード42の一部を形成してもよい。これらの例では、プローブシステム10は、マニピュレータ50を含まなくてもよいし、又は含む必要がない。プローブカード42の一例は、電子及び／又は光電子デバイスをテストするためのカードを含む。前記カードは複数のプローブ40を含む。前記複数のプローブ40は、その間での（少なくとも実質的に）固定された相対方位を規定する。

【0017】

別の例として、プローブシステム10は駆動アセンブリ60を含んでもよい。駆動アセンブリ60は、プローブ40と支持面22及び／又はDUT32との間の相対方位を選択的に制御するように構成されてもよい。例として、駆動アセンブリ60は、チャック20を図1のX軸、Y軸、及び／又はZ軸に沿って平行移動操作をさせる、及び／又はチャック20をZ軸を中心に回転させるように構成されてもよい。駆動アセンブリ60の例としては、リニアアクチュエータ、ロータリーアクチュエータ、リードスクリューとナット、ボールスクリューとナット、ステッピングモータ、及び／又は圧電アクチュエータが挙げられる。

【0018】

さらに別の例として、プローブシステム10は、信号生成・解析アセンブリ70を含んでもよい。信号生成及び分析アセンブリ70は、たとえばプローブ40及び／又はチャック20を介して、試験信号をDUT32に提供し、及び／又はDUT32から得られる信号を受信するように構成されてもよい。信号生成及び分析アセンブリ70の例には、関数発生器、電気信号発生器、無線信号発生器、光信号発生器、電気信号分析器、無線信号分析器、及び／又は光信号分析器が含まれる。

【0019】

別の例として、プローブシステム10は制御システム80を含んでもよい。制御システム80は、プローブシステム10の少なくとも一部－たとえばチャック20、マニピュレータ50、駆動アセンブリ60、信号生成・分析アセンブリ70、及び／又は顕微鏡100－の動作を制御するようにプログラムされてよい。これには、本明細書に開示されている方法200のいずれかに従ってプローブシステム10の動作を制御することが含まれる。信号生成及び分析アセンブリ70は、制御システム80に統合及び／又は制御システム80と一体化され得ることは本開示の範囲内である。あるいは、信号生成及び分析アセンブリ70が制御システム80とは別個及び／又は独立していてもよいことも本開示の範囲内である。制御システム80の例は本明細書に開示されている。

【0020】

さらに別の例として、プローブシステム10は筐体90を含んでもよい。筐体90は、少なくとも支持面22及び／又は基板30を収容及び／又は含むことができるように囲まれた容積92を画定してもよい。筐体90は、開口部96を画定してもよく、プローブ40及び／又は顕微鏡100の少なくとも一部は、開口部を通って延びてもよい。いくつかの例では、筐体90は、開口部96を画定してもよく、かつ／又はマニピュレータ50、プローブ40、及び／又はプローブカード42を支持してもよいプラテン94を含んでもよい。

【0021】

プローブシステム10の動作中、プローブシステム10の様々な構成要素は、意図的に互いに相対的に移動してもよい。一例として、駆動機構170は、たとえばプローブシステム10の別の構成要素及び／又はDUT32への顕微鏡100の焦点合わせを可能及び／又は容易にするように顕微鏡100を対物レンズ122の光軸124に沿って動作的に平行移動させるのに利用されてよい。一部の例では、顕微鏡本体110を含む顕微鏡100全体が、駆動機構170による作動に応答して光軸124に沿って移動する。しかし他の例では、対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130のみが光軸124に沿って移動し、顕微鏡本体110は所定の位置に留まる。駆動機構は、さらに、顕微鏡100を横方向に（すなわち、対物レンズの光軸に垂直な面に沿って）平行移動操作させるように構成されてもよい。したがって駆動機構170は、光軸124に沿って顕微鏡を上下に移動させるように構成されるだけでなく、DUT32の上方で顕微鏡100を横方向に様々な位置へ移動させるように構成されてもよい。

【0022】

駆動機構170は、光軸124に沿って顕微鏡100を移行操作させることができる、あるいは光軸124に沿って顕微鏡100を移行操作させるのに利用可能な任意の適切な構造であってよく、及び／又はその構造を含んでもよい。駆動機構170の例には、機械的駆動機構、電気的駆動機構、及び／又は空気圧駆動機構が含まれる。駆動機構170の追加の例には、リニアアクチュエータ、空気圧シリンダ、リニアモータ、及び／又はリニアボイスコイルモータが含まれる。

【0023】

別の例として、マニピュレータ50は、プローブ40を支持面22に対して、及び／又は、顕微鏡100に対して平行移動操作させるために利用されてもよい。さらに別の例として、駆動アセンブリ60は、チャック20の支持面22をプローブ40及び／又は顕微鏡100に対して相対的に平行移動及び／又は回転させるために利用され得る。

【0024】

これらの相対運動のいずれか及び／又はすべての間、顕微鏡100は、プローブシステム10及び／若しくはDUT32の他の構成要素の画像又は光学画像を収集するために利用されてもよい。相対的な動きをするために、ある状況下では、対物レンズアセンブリ120は、DUT32及び／若しくはプローブシステム10の他の構成要素に接触し、衝突し、並びに／又は衝突する可能性がある。論じてきたように、そのような衝突は、そのままにしておくと、プローブシステム及び／又はDUTを損傷する可能性がある。したがって、そのような衝突を迅速に検出し、（重大）損傷が発生する前に、相対運動を停止することが望ましい場合がある。

【0025】

本開示による対物レンズアセンブリ120は、例えば、対物レンズアセンブリが別の物体と接触するときに、対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110に対して相対的に移動することによって、そのような衝突の衝撃力を緩和するように構成されてもよい。本開示による顕微鏡100はまた、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110との間のこの相対運動（例えば、対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110に対する対物レンズアセンブリ120の枢動）を検出することによって、このような衝突を迅速に検出するように構成されてもよい。顕微鏡100はまた、衝突している構成要素の相対運動を止める、及び／又は衝突している物体を互いに後退させるなどの是正措置をとることによって、衝突している構成要素の損傷を防止及び／又は軽減するように構成されてもよい。

【0026】

衝突と、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110の間で衝突を引き起こす可能性のある相対運動が、図2と図3の間での遷移で表されている。図2では、対物レンズアセンブリ120は、対物レンズアセンブリマウント130を介して顕微鏡本体110に取り付けられ、かつ、顕微鏡本体110に対して所定の相対方位102を向く。図2に示した例では、所定の相対方位102は、対物レンズ122の光軸124が顕微鏡本体110の中心軸125と平行になる方位である。しかし他の例では、光軸124は、所定の相対方位102において、顕微鏡本体110の中心軸125に対して角度をなしてもよい。顕微鏡100はまた、図2において、光軸124に沿って及び／又はプローブ40に向かって並進している様子が図示されており、方位検出回路150は、対物レンズアセンブリが所定の相対方位102を向いていることを検出及び／又は示唆する。

【0027】

続いて図3に図示されているように、対物レンズアセンブリ120は、たとえば126で示されているように、プローブ40と接触又は衝突する。対物レンズアセンブリとプローブでの間のこの衝突は、対物レンズアセンブリと顕微鏡本体との間の相対方位を変化させ、及び／又は、図2の所定の相対方位102とは異なるものにすることがあり得る。一例として、図3に示されているように、対物レンズ122の光軸124と顕微鏡本体110の中心軸125は、もはや互いに平行ではない。代わりに、それらは互いに角度をなしている。したがって図3では、対物レンズアセンブリ120は、図2の所定の相対方位102から離れるように顕微鏡本体110に対して相対的に枢動している。このように、対物レンズアセンブリ120は、対物レンズアセンブリマウント130に対して相対的に移動及び／又は枢動することで、任意で顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間での相対方位が所定の相対方位102と異なることを許容するように構成されてもよい。

【0028】

方位検出回路150は、たとえば顕微鏡本体110及び対物レンズアセンブリ120が図2の所定の相対方位102ではないことを検出することによって、この相対方位の変化を検出することによって、衝突に対する迅速な対応を可能及び／又は容易にし、損傷の可能性を減少させる。方位検出回路150は、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110との間の相対方位の変化を検出、判定、及び／若しくは示唆するように適合並びに／又は構成され得る任意の適切な構造を含んでもよい。加えて又は代わりに、方位検出回路150は、顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間の相対方位が所定の相対方位102と異なる場合に、それを検出、判定、及び／若しくは示唆するように適応並びに／又は構成され得る任意の適切な構造を含んでもよい。図1に示されるように、方位検出回路150は、顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間の相対方位が所定の相対方位102から変化したときに、方位検出回路150の電気的な連続性が変化し、方位検出回路150内の電流が変化し、及び／又は方位検出回路150の電圧が変化するように構成され得る1つ以上の電気回路を含んでもよい。

【0029】

一例として、方位検出回路150は、電気スイッチ156を含んでもよい。電気スイッチ156は、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110との間の相対方位が所定の相対方位102と異なる場合に、開く（すなわち、回路を流れる電流の流れを防止及び／又は減少させる）ように構成された通常閉鎖型のスイッチであってもよい。あるいはその代わりに、電気スイッチ156は、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110との間の相対方位が所定の相対方位102と異なる場合に、閉じる（すなわち、回路を流れる電流の流れを増加及び／又は可能にする）ように構成された通常の開スイッチであってもよい。いずれの例においても、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110との間の相対方位が所定の相対方位102から変化したときに、電気スイッチ156の電気的導通は変化する。

【0030】

いくつかの例では、電気スイッチ156の電気的連続性の変化（例えば、閉状態から開状態への変化、又はその逆）により、駆動機構170及び／又はプローブシステム10の他のアクチュエータが自動的に停止及び／又は電源オフされる。しかし他の例では、制御システム80及び／又は方位検出回路150は、電気スイッチ156及び／又は電気スイッチ156を含む回路を通る電流の流れを能動的に監視する導通検出回路を構成してもよい。例えば導通検出回路は、電流計、電圧計を含んでよい。そのような例では、制御システム80は、導通検出回路からの出力に基づいて対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110との間の相対方位の変化を推定し、かつ、この出力に応答して1つ以上のアクチュエータの動作を調整してもよい。

【0031】

電気スイッチ156の一例では、電気スイッチ156は、図2-5及び7に示されているように接触構造160を含んでもよい。特に、接触構造体160は、対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130上に対応する対で配置されてもよい。特に、対物レンズアセンブリ120は、対物レンズアセンブリ接触構造162を含んでいてもよく、対物レンズアセンブリマウント130は、対物レンズアセンブリマウント接触構造164を含んでもよい。特に、対物レンズアセンブリ接触構造162は、対物レンズアセンブリ120に動作可能に取り付けられてもよく、対物レンズアセンブリマウント接触構造164は、対物レンズアセンブリマウント130に動作可能に取り付けられてもよい。さらに、接触構造162,164は、対物レンズアセンブリ120及び顕微鏡本体110が所定の相対方位102にあるときに、接触構造162,164が互いに電気的に通信するように配置されてもよい。このような構成は、2対の接触構造160を示す図2に示されている。したがって対物レンズアセンブリマウント接触構造164及び対物レンズアセンブリ接触構造162は、一部の例では、2つ以上の接触構造を含んでもよい。図2では、対物レンズアセンブリマウント接触構造164は、152で示されるように対物レンズアセンブリ接触構造162と接触している。

【0032】

この例では、対物レンズアセンブリ120がプローブシステム10の対象物に衝突することによって生じる相対方位の変化によって、1つ以上の対の接触構造160が、152（図2）で示されるように互いに接触している状態から、154（図3）で示されるように互いに接触していない状態に移行し得る。したがって、対物レンズアセンブリ120及び顕微鏡本体110が所定の相対方位102でない場合、又は対物レンズアセンブリと顕微鏡本体との間の相対方位が所定の相対方位102と異なるすなわち変化した場合、少なくとも1つの対物レンズアセンブリ接触構造162及び1つの対物レンズアセンブリマウント接触構造164は、図3の154で示されるように、互いに接触していない状態に遷移し得る。この遷移は、方位検出回路150及び／又は図1の制御システム80によって、対物レンズアセンブリマウント接触構造と対物レンズアセンブリ接触構造との間の電気的連続性の変化として、及び／又は電気的連続性の欠如として検出され、それによって衝突126が発生したことを示すことができる。プローブシステム10及び／又は該プローブシステム10の顕微鏡100は、たとえば各対物レンズアセンブリ接触構造162及び対物レンズアセンブリマウント接触構造164と電気的に通信している導通検出回路を介して、この導通の欠如を検出してもよい。続いてプローブシステム10及び／又は該プローブシステム10の顕微鏡100は、この連続性の欠如又は変化を、対物レンズアセンブリ120がDUT及び／又はプローブシステム10の別の構成要素と衝突したことを示唆するものと解釈し、それに応じて応答することができる。

【0033】

接触構造160は、対応する接触構造体の対間での電気通信の確立を許可及び／又は促進することができる任意の適切な構造であってよいし、及び／又は前記適切な構造を含んでよい。一例として、対物レンズアセンブリ接触構造及び／又は対物レンズアセンブリマウント接触構造は、導電性表面及び／若しくは導電性平面であってよいし、並びに／又は導電性表面及び／若しくは導電性平面を含んでもよい。別の例として、対物レンズアセンブリ接触構造及び／又は対物レンズアセンブリマウント接触構造は、バネで負荷をかけられた導電性コンタクト、又はピン－ポゴピン－であってよいし、及び／又はこれらを含んでもよい。さらに別の例として、スロット及び表面が、対物レンズアセンブリ接触構造及び／又は対物レンズアセンブリマウント接触構造を形成及び／又は画定してもよい。

【0034】

別の例では、方位検出回路150は、対物レンズアセンブリ120と、顕微鏡本体110及び／又は対物レンズアセンブリマウント130との間の相対方位の変化を検出するように構成された位置センサ157を含んでもよい。一部の例では、位置センサは、2つ以上の位置センサを含んでもよい。位置センサ157は、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130との間の相対的な位置及び／又は距離を決定し、計算し、及び／若しくは測定するように適合され、構成され、設計され、並びに／又は構築され得る任意の適切な構造を含んでもよい。特に位置センサ157は、顕微鏡本体と対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を電気信号に変換するように構成されてもよい。前記電気信号は続いて、制御システム80に伝達され得る。位置センサ157の例には、静電容量式距離センサ、光学式距離センサ、誘導式距離センサ、線形可変差動トランスデューサ（LVDT）、渦電流センサ、ホール効果センサ、光学センサ、及び／又は干渉計が含まれる。制御システム80は、これらの出力された電気信号を解釈して、衝突が発生したかどうかを判断することができる。

【0035】

そのような一例として、位置センサ157は、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110との間の距離を測定することによって、対物レンズアセンブリ120と顕微鏡本体110及び／又は対物レンズアセンブリマウント130との間の相対方位の変化を検出してもよい。一例として、衝突により、対物レンズアセンブリ120が、対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110に対して枢動し得る。対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110との間の距離が枢動により変化する可能性があるため、位置センサ157はこの枢動を検出することができる。特に、対物レンズアセンブリ120が所定の相対方位102から離れて及び／又は異なる相対方位となるように枢動したときに、対物レンズアセンブリ120の一部の領域は対物レンズアセンブリマウント130に近づき、他の領域は対物レンズアセンブリマウント130から遠ざかる可能性がある。

【0036】

位置センサ157は、対物レンズアセンブリ120又は対物レンズアセンブリマウント130内のいずれかに含まれていてもよく、又は完全に含まれていてもよく、2つの構成要素のうち含まれていない他方から離間してもよい。例えば位置センサ157は、対物レンズアセンブリ120のみに含まれていてもよく、対物レンズアセンブリマウント130から離間していてもよい。このような構成では、位置センサ157は、対物レンズアセンブリマウント130との間の距離を測定するように構成されてもよい。逆に位置センサ157が対物レンズアセンブリマウント130のみに含まれる場合、位置センサは対物レンズアセンブリ120から離間されてよく、位置センサと対物レンズアセンブリ120との間の距離を測定するように構成されてもよい。

【0037】

しかし位置センサ157がホール効果センサからなる場合などの他の例では、位置センサは、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130の両方に含まれる1つ以上の構成要素を有してもよい。例えば単なる一例として、ホール効果センサの検出素子が対物レンズアセンブリマウント130に含まれていてもよく、ホール効果センサの磁石が対物レンズアセンブリ120に含まれていてもよい。

【0038】

図1において一点鎖線で示されているように、方位検出回路150は、プローブシステム10内の様々な位置に含まれていてもよく、及び／又は、プローブシステム10内及び／又は全体の様々な位置に配置され得る複数の部品を含んでもよい。一例として、方位検出回路150は、対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130の両方に少なくとも部分的に含まれていてもよい。そのような一例として、上述したように、方位検出回路150は、対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130に結合され、及び／又は対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130内に含まれて一種のスイッチを形成することができる接触構造162及び164を含んでもよい。

【0039】

しかし他の例では、方位検出回路150は、全体が顕微鏡の1つのコンポーネントのみに含まれていてもよい。例えば、方位検出回路150は、対物レンズアセンブリ120又は対物レンズアセンブリマウント130のいずれかに完全に含まれていてもよい。そのような一例として、上述したように、方位検出回路150は、対物レンズアセンブリ120又は対物レンズアセンブリマウント130のいずれかに含まれ得る位置センサ157を含んでもよい。

【0040】

さらに別の例では、方位検出回路150は、図1において一点鎖線で示されているように、対物レンズアセンブリマウント130の外側に配置されてもよい。そのような一例として、方位検出回路150の少なくとも一部分又は一部は、制御システム80内に含まれていてもよく、及び／又は制御システム80と顕微鏡100との間に含まれていてもよい。例えば方位検出回路150は、対物レンズアセンブリマウント130の外側（すなわち、外部）に配置されてもよいが、対物レンズアセンブリマウント130内で生成及び／又は収集された信号（例えば、電気的、光学的、無線など）を受信してもよい。そのような一例として、顕微鏡100は、対物レンズアセンブリマウント130内に配置され、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130との間の相対方位を測定するように構成された位置センサ157などのセンサ又は他の構造を含んでもよい。特にセンサー又は他の構造は、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130との間の相対方位を示唆する信号を生成するように構成されてもよい。方位検出回路150が対物レンズアセンブリマウント130の外側に配置されている場合、この信号は、対物レンズアセンブリマウント130の外側にあるセンサー又は他の構造から、方位検出回路150に送信されてもよい。単なる一例として、対物レンズアセンブリ120と対物レンズアセンブリマウント130との間の相対方位に対応する光信号が、光ファイバケーブルによって対物レンズアセンブリマウント130内から外部に配置された方位検出回路に伝送されてもよい。

【0041】

制御システム80は、顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間の相対方位の示唆を（例えば、方位検出回路150から受信した電気信号に基づいて）受信するために、方位検出回路150と電気的に通信（有線又は無線）してもよい。検出された相対方位の変化に基づいて、制御システム80は、衝突126が発生したと判断してもよい。衝突126が発生したと判断したことに応答して、制御システム80は、衝突126を緩和するために、1つ以上のアクチュエータ（例えば、駆動機構170、駆動アセンブリ60、及びマニピュレータ50）を介して、対物レンズアセンブリ120、プローブ40、及び／又はDUT32の動きを調整してもよい。一例として、プローブシステム10は、衝突126に関与する様々な構成要素間の相対運動を停止してもよく、顕微鏡100の運動を停止してもよく、顕微鏡100を後退させてもよく、及び／又は、衝突126に関与するプローブシステム10の他の構成要素－たとえばプローブ40及び／又はDUT32－の1つ以上を後退させてもよい。加えて又は代わりに、プローブシステム10は、顕微鏡のユーザへ、警告音を鳴らし、ダイアログを表示し、及び／又は、衝突が発生したことを示唆してもよい。

【0042】

特に制御システム80は、プローブシステム10の様々なアクチュエータ（例えば、駆動機構170、マニピュレータ50、駆動アセンブリ60など）を制御して、プローブ40、DUT32、及び顕微鏡100（したがって、対物レンズアセンブリ120）の移動を制御するようにプログラムされてもよい。含まれる場合、制御システム80は、コントローラ81（例えば、電気回路）を含んでもよい。制御装置81は、一部の例では、2つ以上の制御装置を含んでもよい。各制御装置81は、処理部82及び／又はメモリ部84を含んでもよい。メモリ部84は、コンピュータ可読命令（ソフトウェア）を格納してもよく、処理部82は、格納されたコンピュータ可読命令を実行して、本明細書に記載された様々な衝突検出及び緩和技術を実行してもよい。

【0043】

一部の例では、制御装置81の少なくとも一部は、信号生成・解析アセンブリ70内に含まれていてもよい。例えば処理ユニット82及び／又はメモリユニット84は、信号生成・解析アセンブリ70に少なくとも部分的に含まれていてもよい。含まれる場合、メモリユニット84は、いくつかの例では、不揮発性（本明細書では、「非一時的」とも呼ばれる）メモリ86（例えば、ROM、PROM、及びEPROM）及び／又は揮発性（本明細書では、「一時的」とも呼ばれる）メモリ88（例えば、RAM、SRAM、及びDRAM）を含んでもよい。処理部82は、フィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）、特定用途向集積回路（ASIC）、デジタルシグナルプロセッサ（DSP）、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、プログラマブルアレイロジック（PAL）、及び複合プログラマブルロジックデバイス（CPLD）のうちの1つ以上を含むが上記に限定されない1つ以上の集積回路を含んでもよい。

【0044】

制御システム80は、プローブシステム10の異なる場所に配置され、及び／又は異なる装置に含まれる制御装置（例えば、電気回路）を含んでもよい。一例として、対応制御装置81は、図1に一点鎖線で示されているように、顕微鏡100－より具体的には顕微鏡本体110－に含まれていてもよい。一部のそのような例では、顕微鏡100内に完全に含まれていてもよく、及び／又は、光軸124に沿った顕微鏡100の並進を調整するために駆動機構170を制御するなど、顕微鏡100の構成要素を制御するようにプログラムされ得る対応制御装置81である。別の言い方をすれば、顕微鏡100は、制御システム80の対応制御装置81を含むことによって、制御システム80を少なくとも部分的に含んでいてもよい。さらにそのような例では、顕微鏡100内に完全に含まれていてもよい対応制御装置81は、顕微鏡100だけの専用であってもよく、及び／又はそれに応じて、駆動機構170などの顕微鏡100の構成要素のみを制御し、マニピュレータ50や駆動アセンブリ60を制御しないようにプログラムされていてもよい。

【0045】

制御システム80は、追加的又は代替的に、顕微鏡100の外部に配置された1つ以上の他の制御装置を含んでいてもよく、マニピュレータ50及び／又は駆動アセンブリ60などのプローブシステム10の他のアクチュエータを制御するようにプログラムされていてもよい。一具体例では、制御システム80は、顕微鏡100の動作を制御するための顕微鏡100内の制御装置と、プローブシステム10の様々なアクチュエータ（例えば、マニピュレータ50、駆動アセンブリ60など）を制御するための顕微鏡外の制御装置との、2つの制御装置を含んでもよい。しかし、他の例では、制御システム80は、顕微鏡100の外部にある複数の制御装置を含んでいてもよい。そのような一例として、アクチュエータ（例えば、マニピュレータ50、駆動アセンブリ60など）の各々は、専用の制御装置を含んでもよい。

【0046】

さらにさらなる例では、制御システム80は、顕微鏡100内に制御装置を含まず、代わりに、顕微鏡100の外部に配置された外部制御装置から顕微鏡100の動作を制御してもよい。さらに別の例では、制御システム80は、部分的には顕微鏡100に含まれ、部分的には顕微鏡100の外部に配置された単一の制御装置を含んでもよい。

【0047】

制御システム80及び／又は制御装置81は、一部の例では、方位検出回路150の少なくとも一部、又は全部を含んでもよい。

【0048】

以下でより詳細に説明するように、制御システム80は、図8に模式的に表された方法のような様々な方法を実行するようにプログラムされてもよい。特に、制御システム80は、以下のようにプログラムされてもよい。1）対物レンズアセンブリ120とプローブシステム10の他の構成要素との間の衝突を検出すること、2）対物レンズアセンブリ120、プローブ40及び／又はDUT32などの衝突に関与する様々な構成要素間の相対運動を停止すること、3）衝突に関与する様々な構成要素のうちの1つ又は複数を後退させること、及び／又は4）警告音を鳴らすこと、ダイアログを表示すること、及び／又はその他の方法で、顕微鏡のユーザに、衝突が発生したことを示すこと。

【0049】

例えば、顕微鏡100に含まれる制御装置81は、顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間の相対方位が所定の相対方位102と異なるという示唆を方位検出回路150が提供したことに応答して駆動機構170を制御して顕微鏡100の動きを停止及び／又は逆転させる非一時的メモリ86に格納されたコンピュータ可読命令を含んでもよい。処理部82は、駆動機構170を制御するために、これらの格納されたコンピュータ読み取り可能な命令を実行してもよい。特に処理部82は、駆動機構170と電気的に通信してもよく、顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間の相対方位が所定の相対方位102と異なるという示唆に応答して顕微鏡100の動きを停止及び／又は逆転させるコマンド信号を駆動機構170に送るようにプログラムされてもよい。

【0050】

別の例では、制御システム80は、顕微鏡の外側に配置された1つ以上の他の外部アクチュエータ（例えば、マニピュレータ50及び駆動アセンブリ60）を制御するために、非一時的メモリ86に格納されたコンピュータ可読命令を含んでもよい。特に制御システム80は、顕微鏡本体110と対物レンズアセンブリ120との間の相対方位が所定の相対方位102と異なるという示唆を方位検出回路150が提供したことに応答して、プローブ40及び／又はチャック20の支持面22の動きをそれぞれ停止及び／又は逆向きにする（すなわち、引っ込める）ために、マニピュレータ50及び／又は駆動アセンブリ60を制御するための非一時的メモリ86に格納されたコンピュータ可読命令を含むことができる。プローブシステム10が複数の可動構成要素を含む場合などの一部の例では、制御システム80は、どのプローブシステムの構成要素（例えばどのプローブ40）が対物レンズアセンブリ120に衝突したかを判断するためのコンピュータ可読命令を含んでもよく、制御システム80は、その特定のプローブシステムの構成要素の動きを停止及び／又は後退させるだけであってもよい。しかし、他の例では、制御システム80は、衝突が発生したときに、すべてのプローブシステムの構成要素の動きを単純に停止し、及び／又は動きの方向を反転させ（すなわち、引っ込め）てもよい。

【0051】

衝突の検出と、衝突が検出されたときに顕微鏡100及び／若しくはプローブシステム10の外部構成要素の動きの停止並びに／又は中止によって、プローブシステムの衝突した構成要素の損傷を軽減することができる。また加えて又は代わりに、衝突した物体を互いに後退させて、衝突の衝撃をさらに緩和し、及び／又は、衝突した部品を迅速に検査できるようにしてもよい。さらに、衝突が発生したときに対物レンズアセンブリ120が顕微鏡本体110に対して枢動可能にすることで、対物レンズアセンブリ120とプローブシステム10の構成要素との間の衝突時に発生する力を減衰及び／又は減少させることができ、それにより、顕微鏡100の動きが停止する前に、そのような衝突によってもたらされる損傷の量を減らすことができる。

【0052】

顕微鏡本体110は、顕微鏡100による画像の収集、又は光学的画像の収集を許可及び／又は容易にすることができる任意の適切な構造を含んでもよい。これらは、顕微鏡、光学顕微鏡、電子顕微鏡、及び／又はデジタル画像を収集するように構成された顕微鏡にとって従来からある構造を含んでもよい。例として、顕微鏡本体110は、1つ以上のレンズ、ミラー、電荷結合素子（CCD）、アクチュエータ、メモリデバイス、電子デバイス、電気伝導体、及び／又は対応制御装置81などの論理デバイスを含んでもよい。

【0053】

対物レンズアセンブリ120は、対物レンズ122を含むことができる任意の適切な構造を含んでもよい。これは、顕微鏡に、光学顕微鏡に、電子顕微鏡に、及び／又はデジタル画像を収集するように構成された顕微鏡にとって従来からある構造を含んでもよい。対物レンズアセンブリ120は、本明細書でより詳細に説明するように、方位検出回路150を少なくとも部分的に形成及び／又は画定してもよいことは、本開示の範囲内である。

【0054】

図2-3及び図5-7に示されるように、対物レンズアセンブリ120は、光軸124から離れて延びる突出領域128を含んでもよい。突出領域128は、本明細書でより詳細に論じるように、対物レンズアセンブリマウント130と相互作用し、及び／又は対物レンズアセンブリ120を対物レンズアセンブリマウント内に保持するために、形状及び／又はサイズが決められてもよい。投影領域128は、方位検出回路150の少なくとも一部分を含んでもよい。例えば、図2及び図3に例示されているように、方位検出回路が接触構造160を含む場合、突出領域128は、接触構造160の1つ以上を含んでもよい。

【0055】

対物レンズアセンブリマウント130は、対物レンズアセンブリ120を顕微鏡本体110に分離可能に取り付けるように構成され得る任意の適切な構造を含んでもよい。一例として、図1～4及び6～7に示されているように、対物レンズアセンブリマウント130は、対物レンズアセンブリ120の少なくとも一部－例えばその突出領域128－を受け入れる形状及び／又は大きさである受け入れ領域132を画定してもよい。さらに、受容領域132は、対物レンズアセンブリ120の突出領域128を支持するとともに、対物レンズアセンブリ120の一部を通過させることを可能にする大きさであり得る制限領域134を画定してもよい。

【0056】

図6及び図7に最もよく示されているように、受容領域132は、突出領域128に対して大きめであってもよく、及び／又は、対物レンズアセンブリマウント130が対物レンズアセンブリ120を顕微鏡本体110に動作可能及び／又は分離可能に取り付けている間、対物レンズアセンブリ120の少なくとも限定的な移動及び／又は回転を可能にする大きさであってもよい。一例では、受容領域132は、衝突126に反応するような、受容領域132内での対物レンズアセンブリマウント130に対する対物レンズアセンブリ120の枢動を可能にするように構成されてもよい。特に、受容領域132は、対物レンズアセンブリ120が対物レンズアセンブリマウント130に対して相対的に枢動することを可能にするために、対物レンズアセンブリ120に対して特大であってもよい。対物レンズアセンブリ120は、対物レンズアセンブリマウント130及び／又は顕微鏡本体110に対してピボットするように構成されてもよいが、対物レンズアセンブリマウント130は、顕微鏡本体110に対してピボットするように構成されなくてもよい。すなわち、対物レンズアセンブリマウント130及び顕微鏡本体100の相対方位は、固定されていてもよい（すなわち、調節できない）。

【0057】

そのような構成は、本明細書で説明するように、方位検出回路150による接触、衝突、及び／又は衝突の検出を可能にし、及び／又は容易にすることができる。そのような構成は、追加的又は代替的に、突出領域128の受容領域132への挿入及び／又は受容領域132からの突出領域128の除去を介した、対物レンズアセンブリ120の顕微鏡本体110への分離可能な取り付けを許可及び／又は容易にすることができる。

【0058】

いくつかの例では、対物レンズアセンブリ120及び対物レンズアセンブリマウント130は、重力の力を利用して、対物レンズアセンブリを所定の相対方位に向けて付勢するように構成されてもよい。そのような一例として、対物レンズアセンブリマウントは、平面（例えば、図1のx-y平面）を規定するレベリング機構136を含んでいてもよい。いくつかのそのような例では、この平面は、重力（図1のz軸）に直交していてもよい。顕微鏡100が、重力の力が図1の負のz軸に沿って作用するように方位されると、重力の力は、突出領域128を対物レンズアセンブリマウント130のレベリング機構136に向かって及び／又は接触するように付勢してもよい。レベリング機構136は、実質的に平坦な平面を規定するので、重力の力と組み合わせたレベリング機構136は、対物レンズアセンブリの光軸124が対物レンズアセンブリマウント130及び顕微鏡本体110の中心軸125と平行になるように、対物レンズアセンブリ120を対物レンズアセンブリマウント130と位置合わせするように付勢してもよい。

【0059】

一例として、レベリング機構136は、図4～7に示されるように、3点マウント137を含む、及び／又は定義してもよい。3点マウント137は、受容領域132内に突出し得る3つの間隔を空けた少なくとも部分的に球形の表面138を含んでもよい。他の例では、レベリング機構136は、動力学的マウント、及び／又は擬動力学的マウントのうちの1つ又は複数を構成してもよい。少なくとも部分的に球状の表面の先端は、重力の影響下で対物レンズアセンブリ120が静止することができる平坦な平面を規定することができる。

【0060】

さらに、対物レンズアセンブリ120及び／又はその突出領域128は、おそらく図5に最もよく示されているように、3つのスロット及び／又は溝139を含んでもよい。表面138は、突出領域128が対物レンズアセンブリマウント130の受容領域132内に受容され、顕微鏡本体110及び対物レンズアセンブリ120がその間で所定の相対的方位102を定めるときに、溝139内に受容されるような形状及び／又はサイズであってもよい。議論したように、顕微鏡100は、重力が表面138を溝139内に保持するように、及び／又は重力が顕微鏡本体110及び対物レンズアセンブリ120を所定の相対的方位102に保持するように、方位及び／又は配置することができる。

【0061】

図1に破線で示されているように、対物レンズアセンブリマウント130は、対物レンズアセンブリを所定の相対的方位102に向けてバイアスするように構成されているバイアス機構140を含んでもよい。バイアス機構140は、顕微鏡本体110及び対物レンズアセンブリ120を所定の相対的方位102に向けてバイアスするように、及び／又は突出領域128を制限領域134に向けてバイアスするように構成されてもよい。別の言い方をすれば、バイアス機構140は、顕微鏡本体110及び対物レンズアセンブリ120を所定の相対的方位102に向けて付勢する際に、重力の力を補完してもよい。バイアス機構140は、対物レンズアセンブリ120を所定の相対的方位102に向けてバイアスするための、磁気アセンブリ又は他の適切なアセンブリを含んでもよい。例えば、磁気アセンブリは、対物レンズアセンブリ120の突出領域128と、対物レンズアセンブリマウント130の受容領域132及び／又は制限領域134の両方に磁石を含んでもよい。

【0062】

バイアス機構140は、対物レンズアセンブリ120の望ましくない枢動の可能性を減少させ、又は防止してもよい。特に、バイアス機構140は、通常の顕微鏡操作時に対物レンズアセンブリ120が所定の位置に留まり、衝突が発生したときにのみ顕微鏡本体110に対して相対的に移動することを確実にするのに役立ち得る。

【0063】

図8は、図1～7の顕微鏡100などの顕微鏡と物体との間の衝突を検出及び／又は緩和する方法200の例を示すフローチャートである。上述したように、制御システム80は、方法200のうちの1つ又は複数を実行するようにプログラムされてもよい。特に、制御システム80は、方法200の1つ以上を実行するために、非一時的メモリ86に格納されたコンピュータ読み取り可能な命令を含んでもよい。方法200は、210で顕微鏡と対象物を互いに相対的に移動させることと、220で顕微鏡の対物レンズアセンブリを対象物に物理的に接触させることを含む。方法200はさらに、230で対物レンズアセンブリを顕微鏡の顕微鏡本体に対して相対的に移動させることと、240で顕微鏡本体と対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を検出することとを含む。方法200はさらに、250で相対方位の変化に応答すること、260でプローブを被試験デバイス（DUT）に合わせること、及び／又は270でDUTを試験することを含んでもよい。

【0064】

210で顕微鏡と対象物を互いに相対的に移動させることは、顕微鏡と対象物の少なくとも一方を顕微鏡と対象物の他方に対して並進、枢動、及び／又は回転させることを含んでもよい。210での移動は、220での物理的接触をもたらす、又はその結果となることがある。別の言い方をすると、220での物理的接触は、210での移動の結果であってもよいし、210での移動に反応してもよいし、210での移動の望ましくない結果であってもよいし、210での移動の予期せぬ結果であってもよいし、210での移動の予期せぬ結果であってもよい。

【0065】

210での移動は、任意の適切な方法で達成されてもよい。一例として、210での移動は、図1の駆動機構170のような駆動機構で顕微鏡を移動させることを含んでもよい。別の例として、対象物は、顕微鏡を含むプローブシステムのプローブを含んでもよく、210での移動は、図1のマニピュレータ50などのマニピュレータでプローブを移動することを含んでもよい。別の例として、対象物は、DUTを含んでもよく、210での移動は、図1の駆動アセンブリ60などの駆動アセンブリでDUTを移動することを含んでもよい。

【0066】

220で顕微鏡の対物レンズアセンブリを対象物と物理的に接触させることは、対物レンズアセンブリと対象物を互いに直接物理的に接触させることを含んでもよく、210での移動の結果であってもよい。さらに、又は代わりに、220での物理的接触は、対物レンズアセンブリと対象物との間に第1の力を加えること、及び／又は、対物レンズアセンブリと対象物との間に第2の力を加えることを含んでもよい。220での物理的接触は、230での移動を生成、発生、及び／又は結果としてもたらすことができる。対象物の例には、図1のプローブ40などのプローブ、及び／又は図1のDUT32などのDUTが含まれる。対象物の追加の例としては、プローブシステムのケーブル及び／又はプローブシステムのプローブカードが挙げられる。

【0067】

230で対物レンズアセンブリを顕微鏡の顕微鏡本体に対して移動させることは、対物レンズアセンブリを顕微鏡本体に対して回転、枢動、及び／又は並進させることを含んでもよく、220で物理的に接触したことに応答して、又はその結果として行われてもよい。別の言い方をすると、220での物理的接触の間に物体によって対物レンズアセンブリに加えられる第1の力は、対物レンズアセンブリと顕微鏡本体との間に相対的な動きを引き起こす可能性がある。

【0068】

対物レンズアセンブリを顕微鏡本体に対して相対的に移動させることは、顕微鏡の電気回路（例えば、方位検出回路150）における電圧、電流、及び／又は電気的導通のうちの1つ以上を調整することをさらに含んでもよい。例えば、方位検出回路が電気スイッチで構成されている例では、顕微鏡本体に対する対物レンズアセンブリの移動は、電気スイッチを開閉することを含んでいてもよい。電気スイッチの開閉は、顕微鏡本体に対して対物レンズアセンブリを枢動させて、対物レンズアセンブリが少なくとも1つの電気接触構造に物理的に接触しないように、対物レンズアセンブリマウントの少なくとも1つの電気接触構造から対物レンズアセンブリを分離することを含んでもよい。顕微鏡本体に対する対物レンズアセンブリのこの枢動は、対物レンズアセンブリを所定の相対方位から離れるように枢動させることを含んでいてもよい。

【0069】

説明したように、対物レンズアセンブリは、図1～4及び6～7の対物レンズアセンブリマウント130などの対物レンズアセンブリマウントを用いて、それを介して、及び／又はそれを利用して、顕微鏡本体に分離可能に取り付けられてもよい。また、説明したように、対物レンズアセンブリマウントは、重力及び／又はバイアス機構によって生成される補助的な力を利用して、対物レンズアセンブリと顕微鏡本体を所定の相対方位に保持してもよい。このように、220での物理的接触の間に対物レンズアセンブリに加えられる第1の力は、重力及び／又は補助力に打ち勝つのに十分であってもよく、それによって、対物レンズアセンブリと顕微鏡本体との間の相対運動を引き起こし、及び／又は、対物レンズアセンブリと顕微鏡本体とが所定の相対的方位から離れて移行し、及び／又は、所定の相対的方位とは異なる相対的方位に移行してもよい。

【0070】

顕微鏡本体と対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を240で検出することは、任意の適切な方法で相対方位の変化を検出することを含んでもよい。一例として、顕微鏡は、図1～7の方位検出回路150のような方位検出回路を含んでもよく、240での検出は、方位検出回路を用いて、経由して、及び／又は利用して検出することを含んでもよい。より具体的な例として、240での検出は、対物レンズアセンブリマウントに動作可能に取り付けられている接触構造体160などの接触構造体と、対物レンズアセンブリに動作可能に取り付けられている別の接触構造体との間のような、方位検出回路内の電気的導通の変化（例えば、電気スイッチ156などの電気スイッチの開閉）を検出することを含んでもよい。顕微鏡本体に対する対物レンズアセンブリの移動を検出することは、追加的又は代替的に、方位検出回路の電圧及び電流のうちの1つ以上の変化を検出することを含んでもよい。さらに別の例では、顕微鏡本体に対する対物レンズアセンブリの移動を検出することは、位置センサを用いて230での移動を検出すること、及び／又は、位置センサを用いて230での移動によって生じる相対方位の変化を検出することを含んでいてもよい。

【0071】

250で相対方位の変化に応答することは、相対方位の変化の検出に応答して、少なくとも1つの動作を実行することを含んでもよい。特に、応答することは、マニピュレータ50及び駆動アセンブリ60などのプローブシステムにおける顕微鏡及び／又は顕微鏡の外側にある1つ又は複数のアクチュエータの移動を調整することを含んでもよい。例として、250での応答は、顕微鏡の動きを停止すること（例えば、210での移動を停止すること）、顕微鏡を対象物から遠ざけること、プローブの並進（すなわち、後退）を停止及び／又は反転させること、DUTの並進（すなわち、後退）を停止及び／又は反転させること、及び／又は対物レンズアセンブリと対象物との間の物理的接触を示すアラートを生成することを含んでもよい。

【0072】

方法200は、被試験デバイスを試験するなど、プローブシステムの動作中に利用されてもよい。そのような例では、方法200はさらに、260でプローブを被試験装置（DUT）に位置合わせすることを含んでもよい。260での位置合わせは、顕微鏡でプローブ及び／又はDUTの1つ又は複数の画像を収集すること、及び／又は、1つ又は複数の画像を利用して、プローブをDUTに位置合わせすること、プローブをDUTに接触させること、及び／又は、プローブをDUTの接触パッドに接触させることを含んでもよい。

【0073】

方法200がプローブシステムの動作中に利用される場合、方法200はさらに、270でのDUTのテストを含んでもよい。270でのテストは、DUTにテスト信号を提供すること、及び／又はDUTから結果信号を受信することを含んでもよい。

【0074】

本開示では、例示的で非排他的な例のいくつかが、フローダイアグラム、又はフローチャートの文脈で議論及び／又は提示されており、その中で方法は一連のブロック、又はステップとして示され、説明されている。添付の説明に特に記載されていない限り、ブロックの順序は、フロー図の図示された順序とは異なっていてもよく、2つ以上のブロック（又はステップ）が異なる順序で、及び／又は同時に発生することも含めて、本開示の範囲内である。

【0075】

本明細書では、第1の構成要素と第2の構成要素の間に配置されたガンド/オールという用語は、（1）第1の構成要素、（2）第2の構成要素、及び（3）第1の構成要素と第2の構成要素のいずれかを意味する。また、「及び／又は」と記載されている複数の構成要素は、同じように解釈されるべきであり、すなわち、そのように結合された構成要素の１つ以上を意味する。「及び／又は」という語句で具体的に特定された構成要素以外にも、具体的に特定された構成要素に関連するかどうかに関わらず、他の構成要素が任意に存在してもよい。したがって、非限定的な例として、「含む（有する、備える）」のようなオープンエンドの言語と組み合わせて使用される「A及び／又はB」への言及は、ある実施形態では、Aのみ（任意にB以外の構成要素を含む）を指し、別の実施形態では、Bのみ（任意にA以外の構成要素を含む）を指し、さらに別の実施形態では、A及びBの両方（任意に他の構成要素を含む）を指している可能性がある。これらの構成要素は、要素、アクション、構造、ステップ、操作、値などを指す場合がある。

【0076】

本明細書では、1つ以上の構成要素のリストを参照する際の「少なくとも1つ」という表現は、構成要素のリスト内の任意の1つ以上の構成要素から選択された少なくとも1つの構成要素を意味すると理解すべきであるが、必ずしも構成要素のリスト内に具体的に記載されている各及びすべての構成要素の少なくとも1つを含むわけではなく、また、構成要素のリスト内の構成要素の任意の組み合わせを除外するものではない。また、この定義では、「少なくとも１つ」というフレーズが参照する構成要素のリスト内で具体的に特定された構成要素以外にも、具体的に特定された構成要素に関連するかどうかに関わらず、構成要素が任意に存在することができる。したがって、非限定的な例として、「A及びB」のうちの少なくとも1つ（又は、同等に、A又はBのうちの少なくとも1つ）、又は同等に、「A及び／又はB」のうちの少なくとも1つ）は、1つの実施形態では、Bが存在しない（及び、任意にB以外の構成要素を含む）、少なくとも1つの、任意に複数のAを含むAを指すことがある。別の実施形態では、Aが存在せず（任意でA以外の構成要素を含む）、Bを任意で複数含む少なくとも1つの状態；さらに別の実施形態では、Aを任意で複数含み、Bを任意で複数含む少なくとも1つの状態（任意で他の構成要素を含む）を指す。言い換えれば、「少なくとも１つ」、「１つ以上」及び「及び／又は」という表現は、接続詞と分離詞の両方の動作をするオープンエンドの表現である。例えば、「A, B,及びCの少なくとも１つ」、「A, B,又はCの少なくとも１つ」、「A, B,及びCの１つ以上」、「A, B,又はCの１つ以上」、「A, B,及び／又はC」の各表現は、A単独、B単独、C単独、AとBが一緒、AとCが一緒、BとCが一緒、A、B、Cが一緒、そして任意で上記のいずれかと少なくとも1つの他の構成要素との組み合わせを意味することがある。

【0077】

いずれかの特許、特許出願、又はその他の文献が参照により本明細書に組み込まれており、（1）本開示の非組み込み部分又は他の組み込まれた文献のいずれかと矛盾する方法で用語を定義する、及び／又は（2）その他の方法で矛盾する場合、本開示の非組み込み部分が支配するものとし、そこにある用語又は組み込まれた開示は、その用語が定義された、及び／又は組み込まれた開示が元々存在していた文献に関してのみ支配するものとする。

【0078】

本明細書で使用される用語「適応される」及び「構成される」は、要素、構成要素、又はその他の対象物が、所定の機能を実行するように設計及び／又は意図されていることを意味する。したがって、用語の使用は、所定の要素、構成要素、又はその他の対象物が単に所定の機能を実行できることを意味するのではなく、その要素、構成要素、又はその他の対象物が機能を実行する目的で特別に選択され、作成され、実施され、利用され、プログラムされ、及び／又は設計されていることを意味すると解釈されるべきである。また、特定の機能を実行するように適合されていると記載されている要素、構成要素、及び／又はその他の記載されている主題は、追加的又は代替的に、その機能を実行するように構成されていると記載されている場合があり、その逆もまた、本開示の範囲内である。

【0079】

本明細書では、本開示による1つ又は複数の構成要素、特徴、詳細、構造、実施形態、及び／又は方法を参照して使用される場合、「たとえば」という語句、「一例として」という語句、及び／又は単に「例」という語句は、記載された構成要素、特徴、詳細、構造、実施形態、及び／又は方法が、本開示による構成要素、特徴、詳細、構造、実施形態、及び／又は方法の例示的かつ非排他的な例であることを伝えることを意図している。したがって、説明された構成要素、特徴、詳細、構造、実施形態、及び／又は方法は、限定的、必須、又は排他的／網羅的であることを意図するものではなく、構造的及び／又は機能的に類似及び／又は等価な構成要素、特徴、詳細、構造、実施形態、及び／又は方法を含む、他の構成要素、特徴、詳細、構造、実施形態、及び／又は方法も本開示の範囲内である。

【0080】

本開示によるシステム及び方法の例示的、非排他的な例は、以下の列挙された段落で示される。以下の列挙された段落を含む、本明細書に記載された方法の個々の段階は、追加的又は代替的に、記載された動作を実行するための段階と呼ばれてもよいことは、本開示の範囲内である。

【0081】

Ａ１ 顕微鏡であって、
顕微鏡本体と、
対物レンズを含む対物レンズアセンブリと、
該対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に取り外し可能に取り付ける対物レンズアセンブリ取付部と、
当該顕微鏡と前記対物レンズアセンブリとの間での相対方位が所定の相対方位と異なることを示唆する方位検出回路、
を備える顕微鏡。

【0082】

Ａ２ Ａ１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズの光軸に沿って当該顕微鏡を並進操作させるように構成される駆動機構をさらに有する、顕微鏡。

【0083】

Ａ２．１ Ａ２に記載の顕微鏡であって、前記駆動機構は、前記対物レンズの光軸に対して垂直な面に沿って当該顕微鏡を並進操作させるように構成される、顕微鏡。

【0084】

Ａ３ Ａ１～Ａ２のいずれかに記載の顕微鏡であって、
前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位が所定の相対方位から変化したときに、（ｉ） 前記方位検出回路の電気的な連続性、（ｉｉ） 前記方位検出回路内の電流、（ｉｉｉ） 前記方位検出回路150の電圧、
のうちの少なくとも一が変化するように構成される1つ以上の電気回路を含む、
顕微鏡。

【0085】

Ａ４ Ａ１～Ａ３のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路が電気スイッチを含む、顕微鏡。

【0086】

Ａ４．１ Ａ４に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に閉じ、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に開く、
顕微鏡。

【0087】

Ａ４．２ Ａ４～Ａ４．１のいずれかに記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に開き、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に閉じる、
顕微鏡。

【0088】

Ａ４．３ Ａ４～Ａ４．２のいずれかに記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは電気的接触面の一致する対を含み、
前記電気的接触面の一致する対のうちの一は前記対物レンズアセンブリ内に含まれ、
前記電気的接触面の一致する対のうちの他は前記対物レンズアセンブリマウント内に含まれる、
顕微鏡。

【0089】

Ａ５ Ａ１～Ａ４．３のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を検出するように構成される位置センサを含む、顕微鏡。

【0090】

Ａ５．１ Ａ５に記載の顕微鏡であって、前記位置センサは、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を電気信号に変換するように構成される、顕微鏡。

【0091】

Ａ５．２ Ａ５～Ａ５．１のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記位置センサは、（ｉ）前記対物レンズアセンブリマウント、及び、（ｉｉ）前記顕微鏡本体のうちの少なくとも１つと前記対物レンズアセンブリとの間での距離を測定するように構成される、顕微鏡。

【0092】

Ａ５．３ Ａ５～Ａ５．２のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記位置センサは、静電容量式距離センサ、光学式距離センサ、誘導式距離センサ、線形可変差動トランスデューサ（LVDT）、渦電流センサ、ホール効果センサ、光学センサ、及び／又は干渉計を含む、顕微鏡。

【0093】

Ａ５．４ Ａ５～Ａ５．３のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記位置センサは、前記対物レンズアセンブリ内に含まれ、かつ、前記対物レンズアセンブリから離間する、顕微鏡。

【0094】

Ａ５．５ Ａ５～Ａ５．３のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記位置センサは、前記対物レンズアセンブリ内に含まれ、かつ、前記対物レンズアセンブリマウントから離間する、顕微鏡。

【0095】

Ａ６ Ａ１～Ａ５．５のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位の示唆を受けるために前記方位検出回路と電気的に通信する制御装置をさらに備える、顕微鏡。

【0096】

Ａ６．１ Ａ６に記載の顕微鏡であって、
前記制御装置は、
前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆が、前記方位検出回路から受け取られるときに、当該顕微鏡の運動を止めるコンピュータ可読命令を格納する非一時的メモリと、
前記の格納されたコンピュータ可読命令を実行するようにプログラムされた処理部、
を備える、
顕微鏡。

【0097】

Ａ６．１．１ Ａ２に従属するＡ６．１に記載の顕微鏡であって、
前記処理部は前記駆動機構と電気的に通信し、
前記処理部は、前記駆動機構の動作を制御するようにプログラムされ、
さらに前記処理部は、前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆に応じて当該顕微鏡の運動を止めるように前記駆動機構へコマンド信号を送るようにプログラムされる、
顕微鏡。

【0098】

Ａ６．１．２ Ａ６．１～Ａ．６．１．１のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記被一時的メモリは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆に応じて当該顕微鏡の運動方向を反転させるコンピュータ可読明細をさらに有する、顕微鏡。

【0099】

Ａ６．１．２ Ａ６．１～Ａ．６．１．１のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記処理部は、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆に応じて当該顕微鏡の運動方向を反転させるようにプログラムされる、顕微鏡。

【0100】

Ａ７ Ａ１～Ａ．６．１．３のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記駆動アセンブリは、任意で前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なることを可能にするように前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動するように構成される、顕微鏡。

【0101】

Ａ７．１ Ａ７に記載の顕微鏡であって、
前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを保持するように構成される受け入れ領域を有し、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように構成される、
顕微鏡。

【0102】

Ａ７．１．１ Ａ７．１に記載の顕微鏡であって、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように、前記対物レンズアセンブリに対して大きなサイズである、
顕微鏡。

【0103】

Ａ８ Ａ１～７．１．１のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、重力を利用して前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される、顕微鏡。

【0104】

Ａ８．１ Ａ８に記載の顕微鏡であって、
重力を利用して前記所定の相対方位で前記対物レンズアセンブリを支持するレベリング機構をさらに備える、顕微鏡。.

【0105】

Ａ８．１．１ Ａ８．１に記載の顕微鏡であって、前記レベリング機構は、３点マウント構造、動力学的マウント構造、及び疑動力学的マウント構造のうちの１つ以上を含む、顕微鏡。

【0106】

Ａ９ Ａ１～Ａ８．１．１のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される１つ以上の付勢手段をさらに含む、顕微鏡。

【0107】

Ａ９．１ Ａ９に記載の顕微鏡であって、前記１つ以上の付勢手段をは磁気アセンブリを含む、顕微鏡。

【0108】

Ｂ１ 被試験デバイス（DUT）をテストするプローブシステムであって、（ｉ） 前記ＤＵＴを含む基板を受けるように構成される支持面を画定するチャックと、（ｉｉ） 前記ＤＵＴと連通するように構成されるプローブと、（ｉｉｉ） 前記支持面に対して前記プローブを並進操作させるように構成されるマニピュレータと、（ｉｖ） 前記プローブと前記支持面との間での相対方位を選択的に制御するように構成される駆動アセンブリと、（ｖ） 前記ＤＵＴへテスト信号を供してその結果得られる信号を前記ＤＵＴから受けるように構成される信号生成及び解析アセンブリと、（ｖｉ） 前記プローブと前記ＤＵＴのうちの少なくとも１つの画像を収集するように構成されるＡ１～Ａ９．１のいずれかに記載の顕微鏡と、
を備えるプローブシステム。

【0109】

Ｃ１ 対物レンズアセンブリと顕微鏡本体を有する顕微鏡と対象物との間での衝突を検出する方法であって、
当該顕微鏡と前記対象物を互いに相対的に移動させる段階と、
前記対物レンズアセンブリを前記対象物に物理的に接触させる段階と、
前記物理的に接触させる段階に応じて前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階と、
前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階と、
を有する方法。

【0110】

Ｃ２ Ｃ１に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対する前記対物レンズアセンブリの移動に応じて当該顕微鏡の移動を調節する段階をさらに含む、方法。

【0111】

Ｃ２．１ Ｃ２に記載の方法であって、当該顕微鏡の移動を調節する段階は、当該顕微鏡の移動を止める段階と前記対象物から当該顕微鏡を後退させる段階を含む、方法。

【0112】

Ｃ２．２ Ｃ２～Ｃ２．１のいずれかに記載の方法であって、当該顕微鏡の移動を調節する段階は、当該顕微鏡を前記対象物から引き離す段階を含む、方法。

【0113】

Ｃ３ Ｃ１～Ｃ２．２のいずれかに記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、前記対物レンズアセンブリと前記対象物との間での物理的接触を示唆する警告を生成する段階をさらに有する、方法。

【0114】

Ｃ４ Ｃ１～Ｃ３のいずれかに記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、試験プローブの運動を止める段階をさらに有する、方法。

【0115】

Ｃ５ Ｃ１～Ｃ４のいずれかに記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、被試験デバイスの運動を止める段階をさらに有する、方法。

【0116】

Ｃ６ Ｃ１～Ｃ５のいずれかに記載の方法であって、
前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階は当該顕微鏡の電気回路内の電圧と電流のうちの１つ以上を調節する段階を含み、
前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階は、前記電気回路内での電圧と電流のうちの１つ以上の変化を検出する段階を含む、
方法。

【0117】

Ｃ６．１ Ｃ６に記載の方法であって、
前記電気回路は電気スイッチを含み、
前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階は前記電気スイッチを開く又は閉じる段階を含み、
前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階は、前記電気スイッチを開く又は閉じることを検出する段階を含む、
方法。

【0118】

Ｃ７ Ｃ１～Ｃ６．１のいずれかに記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階は、位置センサによって記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階を含む、方法。

【0119】

Ｃ８ Ｃ１～Ｃ７のいずれかに記載の方法であって、前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階は、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを枢動させることで、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位を所定の相対方位から変化させる段階をさらに有する、方法。

【0120】

Ｃ８．１ Ｃ８に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを枢動させる段階は、対物レンズアセンブリマウントの少なくとも１つの電気的接触構造から前記対物レンズアセンブリを分離することで、前記対物レンズアセンブリは前記少なくとも１つの電気的接触構造と接触しない状態にする段階を含む、方法。

【0121】

Ｃ９ Ｃ１～Ｃ８．１のいずれかに記載の方法であって、プローブと被試験デバイスとを位置合わせする段階をさらに有する、方法。

【0122】

Ｃ９ Ｃ９に記載の方法であって、前記被試験デバイスをテストする段階をさらに有する、方法。

【0123】

Ｃ１０ Ｃ１～Ｃ９．１のいずれかに記載の方法であって、当該顕微鏡はＡ１～Ａ９．１のいずれかの顕微鏡を含む、方法。

【0124】

Ｄ１ 顕微鏡であって、
顕微鏡本体と、
前記顕微鏡本体へ対物レンズアセンブリを取り外し可能に取り付けるように構成される対物レンズアセンブリマウントと、
を備え、
前記対物レンズアセンブリは対物レンズを有し、かつ、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリマウントのうちの１つ以上に対して枢動するように構成される、
顕微鏡。

【0125】

Ｄ２ Ｄ１に記載の顕微鏡であって、Ａ１～Ａ９．１のいずれかの対象をさらに含む顕微鏡。

【産業上の利用可能性】

【0126】

上述の開示は、独立した有用性を有する複数の異なる発明を包含すると考えられる。これらの発明の各々は、その好ましい形態で開示されているが、本明細書で開示および図示されたその特定の実施形態は、多数の変形が可能であるため、限定的な意味で考慮されるべきではない。本発明の主題は、本明細書に開示された様々な要素、特徴、機能および／又は特性のすべての新規かつ非自明な組み合わせおよびサブコンビネーションを含む。同様に、本開示、先行する番号の付いた段落、又はその後に提出された特許請求の範囲に、不定冠詞又は「第１」の要素又はその等価物が記載されている場合、そのような特許請求の範囲は、1つ以上のそのような要素の組み込みを含むと理解されるべきであり、2つ以上のそのような要素を要求することも除外することもない。

【0127】

出願人は、開示された発明の1つに向けられ、新規性および非自明性があると考えられる特定の組み合わせおよびサブコンビネーションに向けられた請求項を提出する権利を有する。特徴、機能、要素、および／又は特性の他の組み合わせおよびサブコンビネーションで具現化された発明は、本出願又は関連出願において、それらの請求項を補正するか、又は新しい請求項を提示することによって請求することができる。そのような補正又は新しい請求項は、それが異なる発明に向けられたものであれ、同じ発明に向けられたものであれ、元の請求項と異なる範囲、広い範囲、狭い範囲、又は等しい範囲であるかどうかに関わらず、本開示の発明の主題に含まれるものともみなされる。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【手続補正書】

【提出日】2021-11-23

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

顕微鏡であって、
顕微鏡本体と、
対物レンズを含む対物レンズアセンブリと、
該対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に取り外し可能に取り付ける対物レンズアセンブリ取付部と、
当該顕微鏡と前記対物レンズアセンブリとの間での相対方位が所定の相対方位と異なることを示唆する方位検出回路、
を備える顕微鏡。

【請求項2】

請求項１に記載の顕微鏡であって、
前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位が所定の相対方位から変化したときに、（ｉ） 前記方位検出回路の電気的な連続性、（ｉｉ） 前記方位検出回路内の電流、（ｉｉｉ） 前記方位検出回路の電圧、
のうちの少なくとも一が変化するように構成される1つ以上の電気回路を含む、
顕微鏡。

【請求項3】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路が電気スイッチを含む、顕微鏡。

【請求項4】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に閉じ、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に開く、
顕微鏡。

【請求項5】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に開き、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に閉じる、
顕微鏡。

【請求項6】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは電気的接触面の一致する対を含み、
前記電気的接触面の一致する対のうちの一は前記対物レンズアセンブリ内に含まれ、
前記電気的接触面の一致する対のうちの他は前記対物レンズアセンブリマウント内に含まれる、
顕微鏡。

【請求項7】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を検出するように構成される位置センサを含む、顕微鏡。

【請求項8】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるように前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動するように構成される、顕微鏡。

【請求項9】

請求項８に記載の顕微鏡であって、
前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを保持するように構成される受け入れ領域を有し、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように構成される、
顕微鏡。

【請求項10】

請求項９に記載の顕微鏡であって、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように、前記対物レンズアセンブリに対して大きなサイズである、
顕微鏡。

【請求項11】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、重力を利用して前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される、顕微鏡。

【請求項12】

請求項１に記載の顕微鏡であって、
重力を利用して前記所定の相対方位で前記対物レンズアセンブリを支持するレベリング機構をさらに備え、
前記レベリング機構は、３点マウント構造、動力学的マウント構造、及び疑動力学的マウント構造のうちの１つ以上を含む、
顕微鏡。

【請求項13】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される磁気アセンブリをさらに含む、顕微鏡。

【請求項14】

請求項１に記載の顕微鏡であって、前記対物レンズの光軸に沿って当該顕微鏡を並進操作させるように構成される駆動機構をさらに備える、顕微鏡。

【請求項15】

請求項１に記載の顕微鏡であって、制御装置をさらに備え、
前記制御装置は、
前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆が、前記方位検出回路から受け取られるときに、当該顕微鏡の運動を止めるコンピュータ可読命令を格納する非一時的メモリと、
前記の格納されたコンピュータ可読命令を実行するようにプログラムされた処理部、
を備える、
顕微鏡。

【請求項16】

被試験デバイス（DUT）をテストするプローブシステムであって、
前記ＤＵＴを含む基板を受けるように構成される支持面を画定するチャックと、
前記ＤＵＴと連通するように構成されるプローブと、
前記ＤＵＴへテスト信号を供してその結果得られる信号を前記ＤＵＴから受けるように構成される信号生成及び解析アセンブリと、
前記プローブと前記ＤＵＴのうちの少なくとも１つの画像を収集するように構成される請求項１に記載の顕微鏡と、
（ｉ）前記支持面に対して前記プローブを並進操作させるように構成されるマニピュレータと、（ｉｉ）前記プローブと前記支持面との間での相対方位を選択的に制御するように構成される駆動アセンブリと、のうちの少なくとも１つと、
を備えるプローブシステム。

【請求項17】

対物レンズアセンブリと顕微鏡本体を有する顕微鏡と対象物との間での衝突を検出する方法であって、
当該顕微鏡と前記対象物を互いに相対的に移動させる段階と、
前記対物レンズアセンブリを前記対象物に物理的に接触させる段階と、
前記物理的に接触させる段階に応じて前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階と、
前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階と、
を有する方法。

【請求項18】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対する前記対物レンズアセンブリの移動に応じて当該顕微鏡の移動を調節する段階をさらに有し、
当該顕微鏡の移動を調節する段階は、当該顕微鏡の移動を止める段階と前記対象物から当該顕微鏡を後退させる段階のうちの１つ以上を含む、方法。

【請求項19】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、前記対物レンズアセンブリと前記対象物との間での物理的接触を示唆する警告を生成する段階をさらに有する、方法。

【請求項20】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、試験プローブの運動を止める段階、及び、前記試験プローブを前記対物レンズアセンブリから引き離す段階のうちの１つ以上の段階をさらに有する、方法。

【請求項21】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、被試験デバイスの運動を止める段階、及び、前記被試験デバイスを前記対物レンズアセンブリから引き離す段階のうちの１つ以上の段階をさらに有する、方法。

【請求項22】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階は、前記対物レンズアセンブリ内に少なくとも部分的に含まれる電気スイッチの電気的連続性の変化に基づく、方法。

【請求項23】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを移動する段階は、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを枢動させることで、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位を所定の相対方位から変化させる段階をさらに有する、方法。

【請求項24】

請求項１７に記載の方法であって、
前記物理的に接触させる段階は、前記対象物を備える前記対物レンズアセンブリに第１の力を印加する段階を含み、
前記第１の力は、前記顕微鏡本体に対する前記対物レンズアセンブリの移動を引き起こす、
方法。

【手続補正書】

【提出日】2021-09-27

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

顕微鏡であって、
顕微鏡本体と、
対物レンズを含む対物レンズアセンブリと、
該対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に取り外し可能に取り付ける対物レンズアセンブリ取付部と、
当該顕微鏡と前記対物レンズアセンブリとの間での相対方位が所定の相対方位と異なることを示唆する方位検出回路、
を備える顕微鏡。

【請求項2】

請求項１に記載の顕微鏡であって、
前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位が所定の相対方位から変化したときに、（ｉ） 前記方位検出回路の電気的な連続性、（ｉｉ） 前記方位検出回路内の電流、（ｉｉｉ） 前記方位検出回路の電圧、
のうちの少なくとも一が変化するように構成される1つ以上の電気回路を含む、
顕微鏡。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路が電気スイッチを含む、顕微鏡。

【請求項4】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に閉じ、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に開く、
顕微鏡。

【請求項5】

請求項３に記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位の場合に開き、かつ、
前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なる場合に閉じる、
顕微鏡。

【請求項6】

請求項３～５のいずれかに記載の顕微鏡であって、
前記電気スイッチは電気的接触面の一致する対を含み、
前記電気的接触面の一致する対のうちの一は前記対物レンズアセンブリ内に含まれ、
前記電気的接触面の一致する対のうちの他は前記対物レンズアセンブリマウント内に含まれる、
顕微鏡。

【請求項7】

請求項１～６のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記方位検出回路は、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位の変化を検出するように構成される位置センサを含む、顕微鏡。

【請求項8】

請求項１～７のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記電気スイッチは、前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるように前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動するように構成される、顕微鏡。

【請求項9】

請求項８に記載の顕微鏡であって、
前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを保持するように構成される受け入れ領域を有し、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように構成される、
顕微鏡。

【請求項10】

請求項９に記載の顕微鏡であって、
前記受け入れ領域は、該受け入れ領域内で前記対物レンズアセンブリが前記対物レンズアセンブリマウントに対して選択的に枢動することを許容するように、前記対物レンズアセンブリに対して大きなサイズである、
顕微鏡。

【請求項11】

請求項１～１０のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、重力を利用して前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される、顕微鏡。

【請求項12】

請求項１１に記載の顕微鏡であって、
重力を利用して前記所定の相対方位で前記対物レンズアセンブリを支持するレベリング機構をさらに備え、
前記レベリング機構は、３点マウント構造、動力学的マウント構造、及び疑動力学的マウント構造のうちの１つ以上を含む、
顕微鏡。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記対物レンズアセンブリマウントは、前記対物レンズアセンブリを前記所定の相対方位となるように付勢するように構成される磁気アセンブリをさらに含む、顕微鏡。

【請求項14】

請求項１～１３のいずれかに記載の顕微鏡であって、前記対物レンズの光軸に沿って当該顕微鏡を並進操作させるように構成される駆動機構をさらに備える、顕微鏡。

【請求項15】

請求項１～１４のいずれかに記載の顕微鏡であって、制御装置をさらに備え、
前記制御装置は、
前記対物レンズアセンブリと前記顕微鏡本体との間の相対方位が前記所定の相対方位と異なるという示唆が、前記方位検出回路から受け取られるときに、当該顕微鏡の運動を止めるコンピュータ可読命令を格納する非一時的メモリと、
前記の格納されたコンピュータ可読命令を実行するようにプログラムされた処理部、
を備える、
顕微鏡。

【請求項16】

被試験デバイス（DUT）をテストするプローブシステムであって、
前記ＤＵＴを含む基板を受けるように構成される支持面を画定するチャックと、
前記ＤＵＴと連通するように構成されるプローブと、
前記ＤＵＴへテスト信号を供してその結果得られる信号を前記ＤＵＴから受けるように構成される信号生成及び解析アセンブリと、
前記プローブと前記ＤＵＴのうちの少なくとも１つの画像を収集するように構成される請求項１～１５のいずれかに記載の顕微鏡と、
（ｉ）前記支持面に対して前記プローブを並進操作させるように構成されるマニピュレータと、（ｉｉ）前記プローブと前記支持面との間での相対方位を選択的に制御するように構成される駆動アセンブリと、のうちの少なくとも１つと、
を備えるプローブシステム。

【請求項17】

対物レンズアセンブリと顕微鏡本体を有する顕微鏡と対象物との間での衝突を検出する方法であって、
当該顕微鏡と前記対象物を互いに相対的に移動させる段階と、
前記対物レンズアセンブリを前記対象物に物理的に接触させる段階と、
前記物理的に接触させる段階に応じて前記対物レンズアセンブリを前記顕微鏡本体に対して移動させる段階と、
前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階と、
を有する方法。

【請求項18】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対する前記対物レンズアセンブリの移動に応じて当該顕微鏡の移動を調節する段階をさらに有し、
当該顕微鏡の移動を調節する段階は、当該顕微鏡の移動を止める段階と前記対象物から当該顕微鏡を後退させる段階のうちの１つ以上を含む、方法。

【請求項19】

請求項１７又は１８に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、前記対物レンズアセンブリと前記対象物との間での物理的接触を示唆する警告を生成する段階をさらに有する、方法。

【請求項20】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、試験プローブの運動を止める段階、及び、前記試験プローブを前記対物レンズアセンブリから引き離す段階のうちの１つ以上の段階をさらに有する、方法。

【請求項21】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階に応じて、被試験デバイスの運動を止める段階、及び、前記被試験デバイスを前記対物レンズアセンブリから引き離す段階のうちの１つ以上の段階をさらに有する、方法。

【請求項22】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリの移動を検出する段階は、前記対物レンズアセンブリ内に少なくとも部分的に含まれる電気スイッチの電気的連続性の変化に基づく、方法。

【請求項23】

請求項１７に記載の方法であって、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを移動する段階は、前記顕微鏡本体に対して前記対物レンズアセンブリを枢動させることで、前記顕微鏡本体と前記対物レンズアセンブリとの間の相対方位を所定の相対方位から変化させる段階をさらに有する、方法。

【請求項24】

請求項１７に記載の方法であって、
前記物理的に接触させる段階は、前記対象物を備える前記対物レンズアセンブリに第１の力を印加する段階を含み、
前記第１の力は、前記顕微鏡本体に対する前記対物レンズアセンブリの移動を引き起こす、
方法。

【国際調査報告】