特表2022-523969シングルターンおよび積層壁誘導結合プラズマ源

発明の名称　シングルターンおよび積層壁誘導結合プラズマ源

出願人　エーイーエス　グローバル　ホールディングス，　プライベート　リミテッド　（識別番号 519027693）

　　　　特許公開件数ランキング 1647 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2022-523969

公報発行日　2022年4月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_P1-2022-523969

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