知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
特表2022-535393赤外線センシングシステムのための反射防止層、反射層および吸収層を有する硬化光学窓
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公表特許公報(A)
(11)【公表番号】
(43)【公表日】2022-08-08
(54)【発明の名称】赤外線センシングシステムのための反射防止層、反射層および吸収層を有する硬化光学窓
(51)【国際特許分類】
C03C 17/34 20060101AFI20220801BHJP
G02B 5/28 20060101ALI20220801BHJP
G02B 5/26 20060101ALI20220801BHJP
G02B 5/22 20060101ALI20220801BHJP
【ＦＩ】
C03C17/34 Z
G02B5/28
G02B5/26
G02B5/22
【審査請求】未請求
【予備審査請求】未請求
(21)【出願番号】P 2021571568
(86)(22)【出願日】2020-06-01
(85)【翻訳文提出日】2022-01-28
(86)【国際出願番号】 US2020035497
(87)【国際公開番号】W WO2020247292
(87)【国際公開日】2020-12-10
(31)【優先権主張番号】62/857,502
(32)【優先日】2019-06-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(81)【指定国・地域】
(71)【出願人】
【識別番号】397068274
【氏名又は名称】コーニング インコーポレイテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100073184
【弁理士】
【氏名又は名称】柳田 征史
(74)【代理人】
【識別番号】100175042
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 秀明
(72)【発明者】
【氏名】ハート，シャンドン ディー
(72)【発明者】
【氏名】コッホ，カール ウィリアム ザ サード
(72)【発明者】
【氏名】コシク ウィリアムズ，カルロ アンソニー
(72)【発明者】
【氏名】ポールソン，チャールズ アンドリュー
(72)【発明者】
【氏名】プライス，ジェイムズ ジョセフ
【テーマコード（参考）】
2H148
4G059
【Ｆターム（参考）】
2H148CA05
2H148CA13
2H148CA14
2H148CA23
2H148CA24
2H148FA05
2H148FA09
2H148FA16
2H148FA22
2H148FA24
2H148GA04
2H148GA18
2H148GA24
2H148GA33
2H148GA48
2H148GA62
4G059AA01
4G059AA08
4G059AC04
4G059AC07
4G059AC16
4G059EA05
4G059EA12
4G059EB04
4G059GA02
4G059GA04
4G059GA12
(57)【要約】
センシングシステムのための窓が提供される。この窓は、基板と、基板の第１の表面上に配設され、高屈折率材料と低屈折率材料との交互層を備え、高屈折率材料の屈折率が低屈折率材料の屈折率より高い積層薄膜と、積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度とを含む。この窓は、垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有する。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
センシングシステムのための窓であって、屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、
前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度と
を含み、
前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、窓。
【請求項2】
前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、約１．７～約４．０であり、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率が、約１．３～約１．６である、請求項１記載の窓。
【請求項3】
前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含む、請求項１または２記載の窓。
【請求項4】
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された最大硬度が、少なくとも１２ＧＰａである、請求項１から3までのいずれか１項記載の窓。
【請求項5】
前記１つ以上の高屈折率材料の層のうちの１つが、約５００ｎｍ～約１０，０００ｎｍの厚さを有する、請求項１から４までのいずれか１項記載の窓。
【請求項6】
前記１つ以上の高屈折率材料の少なくとも１つの層が、前記積層薄膜の前記厚さの６５％以上である、請求項１から５までのいずれか１項記載の窓。
【請求項7】
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、請求項１から６までのいずれか１項記載の窓。
【請求項8】
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、請求項１から７までのいずれか１項記載の窓。
【請求項9】
前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、請求項１から８までのいずれか１項記載の窓。
【請求項10】
前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、請求項９記載の窓。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【0001】
本願は、米国特許法第１１９条のもと、２０１９年６月５日に出願された米国仮特許出願第６２／８５７，５０２号明細書の優先権の利益を主張し、その内容が依拠され、その内容全体を参照により本明細書に援用するものとする。
【技術分野】
【0002】
本発明は、窓およびＬｉＤＡＲシステムに関する。
【背景技術】
【0003】
光検知測距（「ＬｉＤＡＲ」）システムは、レーザおよびセンサを含む。レーザは、レーザビームを放射し、このビームは、物体で反射する可能性がある。センサは、反射されたレーザビームを検出する。レーザビームは、視野を横切る物体を検出するために、パルス化されまたは放射範囲にわたって何らかの方法で分布される。検出された反射レーザビームの特性から、物体についての情報を解読することができる。レーザビームからの物体の距離を、レーザビームの放射から反射されたレーザビームの検出までの飛行時間から決定することができる。物体が移動している場合、物体の経路および速度を、反射されかつ時間の関数として検出される放射レーザビームの放射位置のシフトおよびドップラー周波数測定から決定することができる。
【0004】
自動車内のＬｉＤＡＲシステムおよび露出環境における他の赤外線センシングシステム、例えば、航空宇宙用途またはホームセキュリティ用途では、例えば、カバーレンズまたはカバーガラス窓を使用して、環境および種々のダメージソースから保護する必要がある。車両は、ＬｉＤＡＲシステムについての別の潜在的用途であり、ＬｉＤＡＲシステムは、運転補助、半自動運転または完全自動運転を可能にするための空間マッピング能力を提供する。このような用途では、レーザエミッタおよびセンサが、車両のルーフ上または車両の前方の低部に取り付けられる。可視光の範囲外の波長、例えば、９０５ｎｍまたは１５５０ｎｍを有する電磁放射を放出するレーザが、車両用ＬｉＤＡＲ用途に考慮されている。レーザおよびセンサを、石および他の物体からの衝撃から保護するために、レーザおよびセンサと、レーザおよびセンサの視線にある外部環境との間に、窓が配置される。同様に、ＬｉＤＡＲシステムの他の用途、例えば、航空宇宙用途およびホームセキュリティ用途のために、レーザ／センサと外部環境との間に、窓が配置される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、石および他の物体の衝突が窓を傷付け、窓に他の種類の損傷を引き起こし、これが、放射され反射されたレーザビームが窓で散乱し、このため、ＬｉＤＡＲシステムの有効性を損なうという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示は、窓に硬度および耐引っ掻き性を提供する材料の１つ以上の層を含む、窓用の積層薄膜によりその問題を解決する。このため、窓に衝突する石および他の物体により、ＬｉＤＡＲセンサから放射され反射された電磁放射を散乱させてしまう窓に対する欠陥を生じにくく、したがって、その性能が改善される。加えて、積層薄膜は、異なる屈折率を有する材料の交互層（硬度および耐引っ掻き性を提供する材料を含む）をさらに含む。その結果、必要に応じて、交互層の数およびその厚さを、窓が１５５０ｎｍの波長（および周囲の波長）の高い透過率および低い反射ならびに可視光波長の低い透過率および高い反射を有するように構成することができる。さらに、積層薄膜は、必要に応じて、可視光波長を吸収する１つ以上の層を含むことができる。
【0007】
本開示の実施形態によれば、窓が提供される。この窓は、屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、第１の表面および第２の表面が基板の主面である基板と、基板の第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を含み、１つ以上の高屈折率材料および１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、１つ以上の高屈折率材料の屈折率が１つ以上の低屈折率材料の屈折率より高い積層薄膜と、積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度とを含む。積層薄膜の交互層の量、厚さおよび材料は、窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている。
【0008】
本開示の実施形態によれば、ＬｉＤＡＲシステムが提供される。このＬｉＤＡＲシステムは、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射を放出する電磁放射エミッタおよびセンサと、電磁放射の経路中にある窓とを含む。この窓は、屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、第１の表面および第２の表面が基板の主面である基板と、基板の第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を含み、１つ以上の高屈折率材料および１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、１つ以上の高屈折率材料の屈折率が１つ以上の低屈折率材料の屈折率より高い積層薄膜と、積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度とを含む。積層薄膜の交互層の量、厚さおよび材料は、窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている。
【0009】
更なる特徴および利点は、以下の詳細な説明において説明されるであろうし、部分的には、その説明から、当業者に容易に明らかになるかまたは以下の詳細な説明、特許請求の範囲および添付の図面を含む、本明細書に記載された実施形態を実施することにより認識されるであろう。
【0010】
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は両方とも単に例示的なものであり、特許請求の範囲の性質および特徴を理解するための概観またはフレームワークを提供することを意図していると理解されたい。添付の図面は、更なる理解を提供するために含まれ、本明細書に組み込まれ、その一部を構成する。図面は、１つ以上の実施形態を示し、説明と共に、種々の実施形態の原理および動作を説明するのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】車両のルーフ上のＬｉＤＡＲシステムおよび車両の前方部の別のＬｉＤＡＲシステムを示す、外部環境における車両の側面図である。
【図2】図１のＬｉＤＡＲシステムのうちの一方の模式図であり、格納装置内の電磁放射エミッタおよびセンサと、電磁放射エミッタおよびセンサが窓を通って格納装置から出て、窓を通って反射された放射として戻る電磁放射を放出することを示す。
【図4】図３の領域ＩＶでとった図３の窓の断面図であり、積層薄膜が１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を含み、１つ以上の低屈折率材料の層が外部環境に最も近い終端表面を提供することを示す。
【図5】図３の領域Ｖでとった図３の窓の断面図であり、第２の積層薄膜が１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を含み、１つ以上の低屈折率材料の層が電磁放射エミッタおよびセンサに最も近い終端表面を提供することを示す。
【図6A】例示的な窓、具体的には実施例１に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図6B】例示的な窓、具体的には実施例１に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図6C】実施例１に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図6D】実施例１に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図7A】例示的な窓、具体的には実施例２に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図7B】例示的な窓、具体的には実施例２に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図7C】例示的な窓、具体的には実施例２に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図7D】実施例２に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図7E】実施例２に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図8A】例示的な窓、具体的には実施例３に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図8B】例示的な窓、具体的には実施例３に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図8C】例示的な窓、具体的には実施例３に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図8D】実施例３に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図8E】実施例３に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図9A】例示的な窓、具体的には実施例３Ａに関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図9B】実施例３Ａに関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図10A】例示的な窓、具体的には実施例４に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図10B】例示的な窓、具体的には実施例４に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図10C】例示的な窓、具体的には実施例４に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図10D】実施例４に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図10E】実施例４に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図11A】例示的な窓、具体的には実施例５に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図11B】例示的な窓、具体的には実施例５に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図11C】例示的な窓、具体的には実施例５に関連するグラフであり、窓を通る電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の％透過率を示す。
【図11D】実施例５に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【図11E】実施例５に関連するグラフであり、電磁放射の波長および入射角の関数としての電磁放射の窓での％反射率を示す。
【発明を実施するための形態】
【0012】
ここから、本発明の好ましい実施形態を詳細に参照するものとする。その例は、添付の図面に示されている。可能な限り、同じ参照符号は、同じかまたは同様の部分を指すように、図面全体にわたって使用されるであろう。
【0013】
ここから図１を参照して、車両１０は、１つ以上のＬｉＤＡＲシステム１２を含む。１つ以上のＬｉＤＡＲシステム１２を、車両１０上または車両１０内のどこにでも配設することができる。例えば、１つ以上のＬｉＤＡＲシステム１２を、車両１０のルーフ１４上および／または車両１０の前方部１６に配設することができる。
【0014】
ここから図２を参照して、１つ以上のＬｉＤＡＲシステム１２はそれぞれ、当技術分野において公知のように、電磁放射エミッタおよびセンサ１８を含み、これを、格納装置２０内に格納することができる。電磁放射エミッタおよびセンサ１８は、ある波長またはある波長範囲を有する電磁放射２２を放出する。放出された放射２２は、放出された電磁放射の経路内にある窓２４を通って格納装置２０から出る。外部環境２６にある物体（図示せず）が、放出された放射２２の経路内にある場合、放出された放射２２は、物体で反射し、反射された放射２８として電磁放射エミッタおよびセンサ１８に戻るであろう。反射された放射２８は、再度、窓２４を通過して、電磁放射エミッタおよびセンサ１８に到達する。実施形態において、放出された放射２２および反射された放射２８は、９０５ｎｍもしくは１５５０ｎｍの波長または９０５ｎｍもしくは１５５０ｎｍの波長のいずれかを含む範囲を有する。反射された放射２８以外の電磁放射（例えば、可視スペクトルの波長を有する電磁放射、紫外線範囲の一部ならびに所望の９０５ｎｍおよび／または１５５０ｎｍの波長より短い赤外線範囲の一部）は、本明細書に記載されるように、窓２４の光学特性に応じて、窓２４を通過してもよいしまたは通過しなくてもよい。「可視スペクトル」は、人間の目に見える電磁スペクトルの部分であり、一般的には、約３８０ｎｍまたは４００ｎｍ～約７００ｎｍの範囲内の波長を有する電磁放射を指す。「紫外線範囲」は、約１０ｎｍ～約４００ｎｍの波長を有する電磁スペクトルの部分である。電磁スペクトルの「赤外線範囲」は、約７００ｎｍから始まり、より長い波長に広がる。太陽は、一般に「太陽光」と呼ばれ、これらの範囲の３つ全てに入る波長を有する太陽電磁放射を生じる。
【0015】
ここから図３を参照して、１つ以上のＬｉＤＡＲシステム１２それぞれのための窓２４は、基板３０を含む。基板３０は、第１の表面３２および第２の表面３４を含む。第１の表面３２および第２の表面３４は、基板３０の主面である。第１の表面３２は、外部環境２６に最も近い。第２の表面３４は、電磁放射エミッタおよびセンサ１８に最も近い。放出された放射２２は、第２の表面３４に遭遇し、その後、第１の表面３２に遭遇する。反射された放射２８は、第１の表面３２に遭遇し、その後、第２の表面３４に遭遇する。基板３０は、基板３０の第１の表面３２上に配設された積層薄膜３６をさらに含み、一部の実施形態では、第２の積層薄膜３８が、基板３０の第２の表面３４上に配設される。本明細書に記載された窓２４は、車両用途に限定されず、本明細書にさらに記載されるように、改善された衝撃および光学性能を提供するのに窓２４が有用であろう何等かの用途に使用することができると理解されたい。
【0016】
本明細書で使用する場合、「配設する」という用語は、当技術分野において公知の任意の方法を使用して、表面上に材料を被覆し、堆積させかつ／または形成することを含む。配設された材料は、本明細書で定義された層を構成することができる。「上に配設される」という表現は、材料が表面と直接接触するように表面上に材料を形成する事例を含み、また、材料が表面上に形成され、１つ以上の介在材料が配設された材料と表面との間にある事例も含む。介在材料は、本明細書で定義された層を構成してもよい。
【0017】
基板３０は、ガラス基板であることができる。ガラス基板は、ソーダ石灰ガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、アルカリ含有ホウケイ酸塩ガラスおよびアルカリアルミノホウケイ酸塩ガラスの組成を有することができるが、他のガラス組成が企図される。このようなガラス組成は、イオン交換プロセスにより化学的に強化することが可能である。一部の変形例では、この組成は、リチウムイオンを含まなくてもよい。
【0018】
基板３０に適したアルカリアルミノケイ酸塩ガラス組成は、アルミナ、少なくとも１つのアルカリ金属および一部の実施形態では、５０モル％超のＳｉＯ２、他の実施形態では、少なくとも５８モル％のＳｉＯ２およびさらに他の実施形態では、少なくとも６０モル％のＳｉＯ２を含む。ここで、比（Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３）／Σ改質剤（すなわち、改質剤の総和）は、１超である。式中、成分の比は、モル％で表され、改質剤は、アルカリ金属酸化物である。特定の実施形態では、この組成は、５８～７２モル％のＳｉＯ２；９～１７モル％のＡｌ２Ｏ３；２～１２モル％のＢ２Ｏ３；８～１６モル％のＮａ２Ｏおよび０～４モル％のＫ２Ｏを含み、ここで、比（Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３）／Σ改質剤（すなわち、改質剤の総和）は、１超である。
【0019】
基板３０に適した別のアルカリアルミノケイ酸塩ガラス組成は、６４～６８モル％のＳｉＯ２；１２～１６モル％のＮａ２Ｏ；８～１２モル％のＡｌ２Ｏ３；０～３モル％のＢ２Ｏ３；２～５モル％のＫ２Ｏ；４～６モル％のＭｇＯおよび０～５モル％のＣａＯを含み、ここで、６６モル％≦ＳｉＯ２＋Ｂ２Ｏ３＋ＣａＯ≦６９モル％；Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ＋Ｂ２Ｏ３＋ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＞１０モル％；５モル％≦ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ≦８モル％；（Ｎａ２Ｏ＋Ｂ２Ｏ３）－Ａｌ２Ｏ３≦２モル％；２モル％≦Ｎａ２Ｏ－Ａｌ２Ｏ３≦６モル％および４モル％≦（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）－Ａｌ２Ｏ３≦１０モル％である。
【0020】
基板３０に適した別のアルカリアルミノケイ酸塩ガラス組成は、２モル％以上のＡｌ２Ｏ３および／もしくはＺｒＯ２または４モル％以上のＡｌ２Ｏ３および／もしくはＺｒＯ２を含む。
【0021】
一例のガラス組成は、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３およびＮａ２Ｏを含み、ここで、（ＳｉＯ２＋Ｂ２Ｏ３）≧６６モル％およびＮａ２Ｏ≧９モル％である。実施形態において、この組成は、少なくとも６質量％の酸化アルミニウムを含む。更なる実施形態では、１つ以上のアルカリ土類酸化物の組成、例えば、アルカリ土類酸化物の含量は、少なくとも５質量％である。一部の実施形態では、適切な組成は、Ｋ２Ｏ、ＭｇＯおよびＣａＯのうちの少なくとも１つをさらに含む。特定の実施形態では、基板３０の組成は、６１～７５モル％のＳｉＯ２；７～１５モル％のＡｌ２Ｏ３；０～１２モル％のＢ２Ｏ３；９～２１モル％のＮａ２Ｏ；０～４モル％のＫ２Ｏ；０～７モル％のＭｇＯおよび０～３モル％のＣａＯを含む。
【0022】
基板３０に適した更なる例示的な組成は、６０～７０モル％のＳｉＯ２；６～１４モル％のＡｌ２Ｏ３；０～１５モル％のＢ２Ｏ３；０～１５モル％のＬｉ２Ｏ；０～２０モル％のＮａ２Ｏ；０～１０モル％のＫ２Ｏ；０～８モル％のＭｇＯ；０～１０モル％のＣａＯ；０～５モル％のＺｒＯ２；０～１モル％のＳｎＯ２；０～１モル％のＣｅＯ２；５０ｐｐｍ未満のＡｓ２Ｏ３および５０ｐｐｍ未満のＳｂ２Ｏ３を含み、ここで、１２モル％≦（Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）≦２０モル％および０モル％≦（ＭｇＯ＋ＣａＯ）≦１０モル％である。
【0023】
基板３０に適した更なる例示的なガラス組成は、６３．５～６６．５モル％のＳｉＯ２；８～１２モル％のＡｌ２Ｏ３；０～３モル％のＢ２Ｏ３；０～５モル％のＬｉ２Ｏ；８～１８モル％のＮａ２Ｏ；０～５モル％のＫ２Ｏ；１～７モル％のＭｇＯ；０～２．５モル％のＣａＯ；０～３モル％のＺｒＯ２；０．０５～０．２５モル％のＳｎＯ２；０．０５～０．５モル％のＣｅＯ２；５０ｐｐｍ未満のＡｓ２Ｏ３および５０ｐｐｍ未満のＳｂ２Ｏ３を含み、ここで、１４モル％≦（Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）≦１８モル％および２モル％≦（ＭｇＯ＋ＣａＯ）≦７モル％である。
【0024】
基板３０は、実質的に平面またはシート状であることができるが、他の実施形態では、湾曲したまたは他の形状のまたは彫刻された基板を利用することができる。基板３０の長さおよび幅は、窓２４に必要とされる寸法に従って変化させることができる。基板３０を、種々の方法、例えば、フロートガラスプロセスおよびダウンドロープロセス、例えば、フュージョンドローおよびスロットドローを使用して形成することができる。基板３０を、非強化状態で使用することができる。窓２４に適した非強化基板３０の市販の例は、Corning（登録商標）ガラスコード２３２０であり、これは、アルミノケイ酸ナトリウムガラス基板である。
【0025】
基板３０を形成するガラスを、第１の表面３２に隣接する領域および／または圧縮応力（「ＣＳ」）下にある第２の表面３４に隣接する領域を有するように改質することができる。このような状況では、圧縮応力下にある領域が、第１の表面３２および／または第２の表面３４から圧縮の深さまで延在する。この圧縮応力の生成により、引張応力下にある中心領域がさらに生成される。この引張応力は、中心領域の中心で最大値を有する。この最大値は、中心（ｃｅｎｔｒａｌ）張力または中心（ｃｅｎｔｅｒ）張力（ＣＴ）と呼ばれる。中央領域は、圧縮の深さの間に延在し、引張応力下にある。中央領域の引張応力は、圧縮応力下にある領域の圧縮応力を釣り合わせるかまたは相殺する。本明細書で使用する場合、「圧縮の深さ」および「ＤＯＣ」という用語は、基板３０内の応力が圧縮応力から引張応力に変化する深さを指す。圧縮の深さでは、応力は、正の（圧縮）応力から負の（引張）応力に交差するため、ゼロの値を有する。圧縮の深さは、基板３０の第１および／または第２の表面３２，３４への鋭い衝撃により導入される傷の伝播から基板３０を保護し、一方、圧縮応力は、圧縮の深さを通って成長して貫通する傷の可能性を最小限に抑える。実施形態において、圧縮の深さは、それぞれ少なくとも２０μｍである。実施形態において、領域内の最大圧縮応力ＣＳの絶対値は、少なくとも２００ＭＰａ、少なくとも４００ＭＰａ、少なくとも６００ＭＰａまたは最大約１０００ＭＰａである。
【0026】
圧縮応力下にある領域を有する基板３０についての詳細かつ精密な応力プロファイル（深さの関数としての応力）を抽出するための２つの方法が、同じ発明の名称を有し、２０１１年５月２５日に出願された米国仮特許出願第６１／４８９，８００号明細書の優先権を主張する、２０１２年５月３日にDouglas Clippinger Allan et al.により出願された米国特許第９，１４０，５４３号明細書、発明の名称「Systems and Methods for Measuring the Stress Profile of Ion-Exchanged Glass」に開示されている。同出願の内容は、その内容全体を参照により本明細書に援用するものとする。
【0027】
実施形態において、圧縮応力下にある基板３０の領域を生成することは、基板３０をイオン交換化学強化プロセスに供することを含む（化学強化（ｔｅｍｐｅｒｉｎｇ）は、多くの場合、「化学強化（ｓｔｒｅｎｇｔｈｅｎｉｎｇ）」と呼ばれる）。イオン交換化学強化プロセスでは、基板３０の第１および第２の表面３２，３４またはその付近のイオンは、通常、同じ原子価または酸化状態を有するより大きなイオンにより置き換えられまたは置換される。基材３０がアルカリアルミノケイ酸塩ガラス、アルカリホウケイ酸塩ガラス、アルカリアルミノホウケイ酸塩ガラスまたはアルカリケイ酸塩ガラスを含み、それらから本質的になりまたはそれらからなる実施形態では、ガラスの表層中のイオンおよびより大きなイオンは、一価のアルカリ金属カチオン、例えば、Ｎａ＋（ガラス中にＬｉ＋が存在する場合）、Ｋ＋、Ｒｂ＋およびＣｓ＋である。代替的には、第１および第２の表面３２，３４またはその付近の一価のカチオンは、アルカリ金属カチオン以外の一価のカチオン、例えば、Ａｇ＋等に置き換えることができる。
【0028】
実施形態において、イオン交換プロセスは、基板３０を、基板３０内のより小さいイオンと交換されるより大きなイオンを含有する溶融塩浴に浸漬することにより行われる。浴組成および温度、浸漬時間、１つ以上の塩浴中へのガラスの浸漬回数、複数の塩浴の使用ならびに追加の工程、例えば、アニーリング、洗浄等を含むがこれらに限定されない、イオン交換プロセスについてのパラメータは、一般的には、基板３０の組成ならびに強化作業により生じる基板３０の所望の圧縮の深さおよび圧縮応力により決定されることが、当業者には理解されるであろう。例として、アルカリ金属含有ガラス基材のイオン交換は、より大きなアルカリ金属イオンの硝酸塩、硫酸塩および塩化物等（これらに限定されない）の塩を含有する少なくとも１つの溶融浴中に浸漬することにより達成することができる。実施形態において、溶融塩浴は、硝酸カリウム（０～１００質量％）、硝酸ナトリウム（０～１００質量％）および硝酸リチウム（０～１２質量％）を含み、硝酸カリウムおよび硝酸ナトリウムは合計、８８質量％～１００質量％の範囲内の質量％を有する。実施形態において、溶融塩浴の温度は、典型的には、約３５０℃～約５００℃の範囲にあり、一方、浸漬時間は、約１５分～約４０時間（約２０分～約１０時間を含む）の範囲にある。ただし、上記されたものとは異なる温度および浸漬時間を使用することもできる。基板３０を、表面傷の影響を除去しまたは低減するために、酸研磨しまたは他の方法で処理することができる。
【0029】
基板３０は、第１の表面３２と第２の表面３４との間の最短直線距離として定義される厚さ３５を有する。実施形態において、基板３０の厚さ３５は、約１００μｍ～約５ｍｍである。１つ以上の実施形態によれば、基板３０は、約１００μｍ～約５００μｍ（例えば、１００、２００、３００、４００または５００μｍ）の範囲の物理的厚さ３５を有することができる。他の実施形態では、厚さ３５は、約５００μｍ～約１０００μｍ（例えば、５００、６００、７００、８００、９００または１０００μｍ）の範囲である。厚さ３５は、約１ｍｍ超（例えば、約２、３、４または５ｍｍ）であることができる。１つ以上の特定の実施形態では、厚さ３５は、２ｍｍ以下または１ｍｍ未満である。イオン交換に供された基板３０に適した市販の組成物は、ＣＳが約８５０ＭＰａ、ＤＯＣが約４０μｍ、厚さ３５が１．０ミリメートル（ｍｍ）のGorilla（登録商標）Glass、Corning（登録商標）コード＃５３１８である。窓２４に適した（イオン交換による）強化基板３０の別の市販の例は、Corning（登録商標）ガラスコード２３２０であり、これは、アルミノケイ酸ナトリウムガラス基板である。
【0030】
ガラスの代わりにまたはガラスに加えて、基板３０は、可視光吸収性のＩＲ透過材料層を含みまたはそれとすることができる。このような材料の例は、赤外線透過性可視吸収アクリルシート、例えば、商品名Plexiglas（登録商標）ＩＲアクリル３１４３（ePlastics）およびACRYLITE（登録商標）ＩＲアクリル１１４６（CYRO）で市販されているものを含む。Plexiglas（登録商標）ＩＲアクリル３１４３は、約７００ｎｍ以下の波長を有する電磁放射に対する約０％（少なくとも１０％未満、または１％未満）の透過率を有するが、８００ｎｍ～約１１００ｎｍ（９０５ｎｍを含む）の範囲内の波長に対する約９０％（８５％超）の透過率を有する。
【0031】
１つ以上の実施形態では、基板３０は、約１．４５～約１．５５の範囲の屈折率を示す。本明細書で使用する場合、「屈折率」は、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射についての材料（ここでは基板３０）の屈折率を指す。ここで、「屈折率（ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ ｉｎｄｅｘ）」と「屈折率（ｉｎｄｅｘ ｏｆ ｒｅｆｒａｃｔｉｏｎ）」は、同義語として使用される。
【0032】
ここから図４および図５を参照して、積層薄膜３６および利用される場合、第２の積層薄膜３８は、１つ以上の高屈折率材料４０と１つ以上の低屈折率材料４２との一定量の交互層を含む。本明細書で使用する場合、「高屈折率」および「低屈折率」という用語は、互いに対する屈折率の値を指し、１つ以上の高屈折率材料４０の屈折率は、１つ以上の低屈折率材料４２の屈折率より高い。実施形態において、１つ以上の高屈折率材料４０は、約１．７～約４．０の屈折率を有する。実施形態において、１つ以上の低屈折率材料４２は、約１．３～約１．６の屈折率を有する。他の実施形態では、１つ以上の低屈折率材料４２は、約１．３～約１．７の屈折率を有し、一方、１つ以上の高屈折率材料４０は、約１．９～約３．８の屈折率を有する。１つ以上の高屈折率材料４０のいずれかと、１つ以上の低屈折率材料４２のいずれかとの屈折率の差は、約０．１以上、０．２以上、０．３以上、０．４以上、０．５以上、０．６以上、０．７以上、０．８以上、０．９以上、１．０以上、１．５以上、２．０以上、２．１以上、２．２以上またはさらに２．３以上であることができる。１つ以上の高屈折率材料４０と１つ以上の低屈折率材料４２の屈折率の差のために、交互層の量（数）およびそれらの厚さの操作により、窓２４を通る一定範囲の波長の電磁放射の選択的透過および別個に、積層薄膜３６からの一定範囲の波長の電磁放射の選択的反射を生じさせることができる。このため、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）は、１つ以上の高屈折率材料４０および１つ以上の低屈折率材料４２として選択される量、厚さおよび材料の関数として構成される所定の光学特性を有する薄膜光学フィルタである。
【0033】
１つ以上の低屈折率材料４２として使用するのに適した材料の幾つかの例は、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＧｅＯ２、ＳｉＯ、ＡｌＯｘＮｙ、ＳｉＯｘＮｙ、ＳｉｕＡｌｖＯｘＮｙ、ＭｇＯ、ＭｇＡｌ２Ｏ４、ＭｇＦ２、ＢａＦ２、ＣａＦ２、ＤｙＦ３、ＹｂＦ３、ＹＦ３およびＣｅＦ３を含む。１つ以上の低屈折率材料４２として使用するための材料の窒素含量を、（ＡｌＯｘＮｙ、ＳｉＯｘＮｙおよびＳｉｕＡｌｖＯｘＮｙ等の材料において）最小限に抑えることができる。
【0034】
１つ以上の高屈折率材料４０として使用するのに適した材料の幾つかの例は、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）、ＳｉＮｘ、ＳｉＮｘ：Ｈｙ、ＡｌＮｘ、ＳｉｕＡｌｖＯｘＮｙ、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、ＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、ＡｌＯｘＮｙ、ＳｉＯｘＮｙ、ＨｆＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＭｏＯ３およびダイヤモンド状カーボンを含む。高屈折率材料４０のための材料の酸素含量は、特に、ＳｉＮｘまたはＡｌＮｘ材料において最小限に抑えることができる。ＡｌＯｘＮｙ材料は、酸素ドーピングされたＡｌＮｘであるとみなすことができる。すなわち、それらは、ＡｌＮｘ結晶構造（例えば、ウルツ鉱）を有することができ、ＡｌＯＮ結晶構造を有する必要がない。１つ以上の高屈折率材料４０として使用するための例示的な好ましいＡｌＯｘＮｙ材料は、約０原子％～約２０原子％の酸素または約５原子％～約１５原子％の酸素を含むことができ、一方、３０原子％～約５０原子％の窒素を含むことができる。１つ以上の高屈折率材料４０として使用するための例示的な好ましいＳｉｕＡｌｖＯｘＮｙは、約１０原子％～約３０原子％または約１５原子％～約２５原子％のケイ素、約２０原子％～約４０原子％または約２５原子％～約３５原子％のアルミニウム、約０原子％～約２０原子％または約１原子％～約２０原子％の酸素および約３０原子％～約５０原子％の窒素を含むことができる。前述の材料を、約３０質量％まで水素化することができる。１つ以上の高屈折率材料４０および１つ以上の低屈折率材料４２の屈折率は、互いに対して相対的であるため、１つ以上の低屈折率材料４２のために選択された材料の屈折率に応じて、１つ以上の高屈折率材料４０には、同じ材料（例えば、Ａｌ２Ｏ３）が適切である場合があり、代替的には、１つ以上の高屈折率材料４０のために選択された材料の屈折率に応じて、１つ以上の低屈折率材料４２には、同じ材料（例えば、Ａｌ２Ｏ３）が適切である場合がある。
【0035】
実施形態において、積層薄膜３６の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、積層薄膜３６の１つ以上の高屈折率材料４０は、Ｓｉ３Ｎ４の層からなる。実施形態において、窓２４は、第２の積層薄膜３８を利用せず、積層薄膜３６の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、積層薄膜３６の１つ以上の高屈折率材料４０は、Ｓｉ３Ｎ４の層からなる。実施形態において、積層薄膜３６の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、積層薄膜３６の１つ以上の高屈折率材料４０は、Ｓｉ３Ｎ４の層からなり、一方、第２の積層薄膜３８の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、第２の積層薄膜３８の１つ以上の高屈折率材料４０は、Ｓｉ３Ｎ４の層からなる。実施形態において、積層薄膜３６の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、積層薄膜３６の１つ以上の高屈折率材料４０は、Ｓｉ３Ｎ４の層からなり、一方、第２の積層薄膜３８の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、第２の積層薄膜３８の１つ以上の高屈折率材料４０は、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）の層からなる。実施形態において、積層薄膜３６の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、積層薄膜３６の１つ以上の高屈折率材料４０は、Ｓｉ３Ｎ４の層からなり、一方、第２の積層薄膜３８の１つ以上の低屈折率材料４２は、ＳｉＯ２の層からなり、第２の積層薄膜３８の１つ以上の高屈折率材料４０は、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）の層およびＳｉ３Ｎ４の層からなる。
【0036】
積層薄膜３６または第２の積層薄膜３８のいずれかにおける高屈折率材料４０と低屈折率材料４２との交互層の量は、特に限定されない。実施形態において、積層薄膜３６内の交互層の数は、７以上または９以上である。実施形態において、第２の積層薄膜３８内の交互層の量は、９以上、１７以上、１９以上または８１以上である。実施形態において、基板３０を含まない、窓２４を集合的に形成する積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８における交互層の量は、９以上、１６以上、２４以上、２６以上またはさらに８８以上である。一般的には、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）内の層の量が多いほど、窓２４の透過率および反射率特性は、１つ以上の特定の波長または波長範囲に対してより狭く調整される。積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の交互層はそれぞれ、厚さを有する。
【0037】
反射された放射２８は、まず、窓２４と相互作用する際に、積層薄膜３６の終端表面４４に遭遇し、終端表面４４は、外部環境２６に対して開かれている場合がある。実施形態において、１つ以上の低屈折率材料４２の層により、外部環境２６における空気の屈折率により密接に一致するように終端表面４４が提供され、このため、入射する電磁放射（反射された放射２８であるか否かにかかわらず）の終端表面４４での反射が低減される。終端表面４４を提供する１つ以上の低屈折率材料４２の層は、基板３０から最も遠い積層薄膜３６の層である。同様に、実施形態において、１つ以上の低屈折率材料４２が、ＳｉＯ２である場合、１つ以上の低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２の層は、典型的には、基板３０の第１の表面３２上に直接配設される。第１の表面３２は、典型的には、高いモル％のＳｉＯ２を含むであろう。理論に束縛されるものではないが、基板３０と、１つ以上の低屈折率材料４２に隣接する層との両方におけるＳｉＯ２の共通性により、結合強度の増大が可能となると考えられる。
【0038】
放出された放射２２は、まず、窓２４と相互作用する際に、第２の積層薄膜３８の終端表面４８に遭遇する。実施形態において、１つ以上の低屈折率材料４２の層により、格納装置２０内の空気の屈折率により密接に一致するように終端表面４８が提供され、このため、入射する放出された放射２２の終端表面４８での反射が低減される。終端表面４８を提供する１つ以上の低屈折率材料４２の層は、基板３０から最も遠い第２の積層薄膜３８の層である。同様に、実施形態において、１つ以上の低屈折率材料４２が、ＳｉＯ２である場合、１つ以上の低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２層は、基板３０の第２の表面３４上に直接配設される。
【0039】
比較的高い屈折率を有する材料は、同時に、耐引っ掻き性および耐衝撃性を提供する比較的高い硬度を有することができる。高い硬度を有し、高屈折率材料４０とすることができる例示的な材料は、Ｓｉ３Ｎ４である。高い硬度を有し、高屈折率材料４０とすることができる他の例示的な材料は、ＳｉＮｘ、ＳｉＮｘ：ＨｙおよびＳｉＯｘＮｙである。高屈折率材料４０の厚さは、積層薄膜３６の第２の層にあるか否かにかかわらず、窓２４の耐引っ掻き性および／または耐損傷性を向上させるために最大にすることができる。高屈折率材料４０の最大化された厚さの層の積層薄膜３６内の厚さおよび位置を、積層薄膜３６、しかして、全体としての窓２４に所望のレベルの硬度および耐引っ掻き性を提供するように最適化することができる。窓２４の異なる用途により、窓２４に硬度および耐引っ掻き性を提供する層として機能する高屈折率材料４０の最大厚さの層に対して異なる所望の厚さをもたらすことができる。例えば、車両１０上のＬｉＤＡＲシステム１２を保護する窓２４は、オフィスビルにおいてＬｉＤＡＲシステム１２を保護する窓２４より高屈折率材料４０の最大厚さの層に対して異なる厚さを必要とする場合がある。実施形態において、窓２４に硬度および耐引っ掻き性を提供する層として機能する高屈折率材料４０の最大厚さの層は、５００ｎｍ～５００００ｎｍ、例えば、５００ｎｍ～１００００ｎｍ、例えば、２０００ｎｍ～５０００ｎｍの厚さを有する。実施形態において、この最大厚さの高屈折率材料４０の厚さは、積層薄膜３６の厚さの６５％以上または８５％以上または８６％以上の厚さを有する。一般的には、窓２４に硬度および耐引っ掻き性を提供する層として機能する高屈折率材料４０の最大厚さの層は、常にそうというわけではないが、格納装置２０により保護される第２の積層薄膜３８ではなく、外部環境２６に面する積層薄膜３６の一部であろう。
【0040】
以下にさらに詳細に説明されるように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８（利用される場合）の残りの層の量、厚さおよび材料を、窓２４に硬度および耐引っ掻き性を提供する層として機能する高屈折率材料４０の最大厚さの層に対して選択された厚さにほとんど関係なく、所望の光学特性（所望の波長の透過率および反射率）を窓２４に提供するように構成することができる。目標波長または波長範囲（すなわち、９０５ｎｍおよび／または１５５０ｎｍ）の電磁放射の比較的低いまたは無視できる光吸収を有する材料が、最大厚さの層として使用される場合、窓２４に硬度および耐引っ掻き性を提供する層として機能する高屈折率材料４０の最大厚さの層の厚さにして、窓２４全体の光学特性は非感受性である。例えば、Ｓｉ３Ｎ４は、７００ｎｍ～２０００ｎｍの波長範囲にある電磁放射を無視できる程度にしか吸収しない。
【0041】
この全体的な非感受性により、積層薄膜３６における高屈折率材料４０の最大厚さの層が、指定された硬度または耐引っ掻き性要件を提供するように予め決定された厚さを有することが可能となる。例えば、車両１０のルーフ１４で利用される窓２４のための積層薄膜３６は、車両１０の前方部１６で利用される窓２４のための積層薄膜３６とは異なる硬度および耐引っ掻き性要件を有し、このため、高屈折率材料４０の最大厚さの層のための異なる厚さを有することができる。これは、積層薄膜３６全体の透過率および反射率特性を全体として著しく変化させることなく達成することができる。
【0042】
高屈折率材料４０の最大厚さの層を有する積層薄膜３６、しかして、窓２４の硬度を定量化することができる。一部の実施形態では、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された場合、高屈折率材料４０の最大厚さの層を有する積層薄膜３６で測定される窓２４の最大硬度は、（終端表面４４から測定される）５０ｎｍ～１０００ｎｍ、さらには、２０００ｎｍ～５０００ｎｍの１つ以上の押し込み深さで、約８ＧＰａ以上、約１０ＧＰａ以上、約１２ＧＰａ以上、約１４ＧＰａ以上、約１５ＧＰａ以上、約１６ＧＰａ以上または約１８ＧＰａ以上であることができる。本明細書で使用する場合、「バーコビッチ圧子硬度試験」は、ダイヤモンドバーコビッチ圧子で表面を押し込むことにより、その表面上の材料の硬度を測定することを含む。バーコビッチ圧子硬度試験は、積層薄膜３６の終端表面４４をダイヤモンドバーコビッチ圧子により押し込んで、約５０ｎｍ～約１０００ｎｍの範囲（または積層薄膜３６の全厚さのいずれか少ない方）の押し込み深さまで、この押し込み深さ範囲全体またはこの押し込み深さ範囲のセグメント（例えば、約１００ｎｍ～約６００ｎｍの範囲）に沿ってへこみを形成することと、このへこみから最大硬度を測定することとを含み、一般的には、Oliver, W. C.; Pharr, G. M. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments. J. Mater. Res., Vol. 7, No. 6, 1992, 1564-1583およびOliver, W. C.; Pharr, G. M. Measurement of Hardness and Elastic Modulus by Instrument Indentation: Advances in Understanding and Refinements to Methodology. J. Mater. Res., Vol. 19, No. 1, 2004, 3-20に説明されている方法を使用する。本明細書で使用する場合、硬度は、最大硬度を指し、平均硬度を指さない。これらの硬度レベルにより、ＬｉＤＡＲシステム１２がその意図された目的で、例えば、車両１０と共に使用される間に遭遇する砂、小石、破片および他の物体からの衝撃損傷に対する窓２４の耐性が改善される。したがって、これらの硬度レベルにより、衝撃損傷が何等かの方法で生じるであろうＬｉＤＡＲシステム１２の光散乱および性能の低下が低減されまたは防止される。
【0043】
実施形態において、終端表面４４を提供する１つ以上の低屈折率材料４２の層は、目的の電磁放射の１５５０ｎｍの波長の２０％未満またはさらに、１０％未満の厚さを有する。実施形態において、終端表面４４を提供する層の厚さは、１５０ｎｍ～３１０ｎｍである。終端表面４４を提供する層の厚さを最小限に抑えることにより、終端表面４４を提供する１つ以上の低屈折率材料４２の層の直下に提供される１つ以上の高屈折率材料４０の最大厚さの層により提供される耐引っ掻き性および／または耐損傷性が向上する。言及されたように、実施形態において、窓２４に硬度を付与する１つ以上の高屈折率材料４０の最大厚さの層は、外部環境２６からの積層薄膜３６の第２の層、すなわち、窓２４の終端表面４４を提供する１つ以上の低屈折率材料４２の層に隣接する層である。
【0044】
積層薄膜３６は、厚さ４６を有し、第２の積層薄膜３８が利用される場合、第２の積層薄膜３８は、厚さ５０を有する。積層薄膜３６の厚さ４６は、１つ以上の高屈折率材料４０の最大厚さの層を含むと仮定され、約１μｍ以上であることができ、一方、本明細書に記載された透過率および反射率特性をなお提供する。実施形態において、厚さ４６は、約１μｍ～約１０μｍおよび約２８００ｎｍ～約５９００ｎｍを含む１μｍ～５０μｍ強の範囲にある。約１μｍの下限は、窓２４に硬度および耐引っ掻き性をなおも提供するほぼ最小厚さ４６である。厚さ４６の上限は、積層薄膜３６の層を基板３０上に配設するのに必要なコストおよび時間により制限される。加えて、厚さ４６の上限は、積層薄膜３６が基板３０を反らせてしまうのを防止するために制限され、これは、基板３０の厚さにより決まる。第２の積層薄膜３８の厚さ５０は、窓２４に所望の透過率および反射率特性を付与するのに必要と考えられる任意の厚さとすることができる。実施形態において、第２の積層薄膜３８の厚さ５０は、約８００ｎｍ～約７０００ｎｍの範囲にある。第２の積層薄膜３８が、硬度および耐衝撃性を付与するために、１つ以上の高屈折率材料４０の最大厚さの層を含む場合には、第２の積層薄膜３８の厚さ５０は、上記積層薄膜３６に関連して記載されたように、より厚くすることができる。
【0045】
高屈折率材料４０の最大厚さにより、窓２４に硬度、耐衝撃性および耐引っ掻き性を付与することを通して、背景において上記検討された問題を解決する一方、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４を通る１５５０ｎｍの波長を有する窓２４を通る反射された放射２８の透過率も最大化するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４を通る１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の波長を有する電磁放射の透過率も最大化するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射の７５％超、８０％超、９０％超、９２％超、９４％超、９５％超、９８％超、９８．５％超、９９％超またはさらに、９９．５％超の平均％透過率を有するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射の７５％超、８０％超、９０％超、９２％超、９４％超、９５％超、９８％超、９８．５％超、９９％超またはさらに、９９．５％超の平均％透過率を有するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射の７５％超、８０％超、９０％超または９２％超の平均％透過率を有するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射の７５％超、８０％超または８５％超の平均％透過率を有するように構成される。「透過率」という用語は、材料（例えば、窓２４、基板３０、積層薄膜３６、第２の積層薄膜３８またはその一部）を透過した所定の波長範囲内の入射光の％出力を指す。
【0046】
実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４を通る１５５０ｎｍの波長を有する反射された放射２８の窓２４での反射率も最小化するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の波長を有する電磁放射の窓２４での反射率も最小化するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が０°～８°、０～１５°、０～２５°またはさらに、０°～５０°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射の１０％未満、５％未満、３％未満、２％未満、１％未満、０．８％未満、０．５％未満またはさらに、０．３％未満の平均％反射率を有するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が０°～８°、０～１５°、０～２５°またはさらに、０°～５０°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射の１０％未満、５％未満、３％未満、２％未満、１％未満、０．８％未満、０．５％未満またはさらに、０．３％未満の平均％反射率を有するように構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が０°～８°、０～１５°、０～２５°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射の１０％未満または５％未満の平均％反射率を有するように構成される。「反射率」という用語は、材料（例えば、窓２４、基板３０、積層薄膜３６またはそれらの一部）で反射される所定の波長範囲内の入射光の％出力として同様に定義される。
【0047】
実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、紫外線範囲および可視スペクトル内の波長、例えば、３００ｎｍ～６００ｎｍ、３００ｎｍ～６５０ｎｍおよび３００ｎｍ～７００ｎｍの範囲内または範囲全体にわたる波長を有する電磁放射の（ａ）窓２４を通る透過率を最小にし、かかる電磁放射の（ｂ）窓２４での反射率を最大にしかつ／またはかかる電磁放射を（ｃ）吸収するようにさらに構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、紫外線範囲内、可視スペクトル内および１５００ｎｍ未満または８５０ｎｍ未満の赤外線範囲の一部の波長、例えば、３００ｎｍ～８５０ｎｍ、３００ｎｍ～９００ｎｍまたは３００ｎｍ～１５００ｎｍの範囲内の波長を有する電磁放射の（ａ）窓２４を通る透過率を最小にし、かかる電磁放射の（ｂ）窓２４での反射率を最大にしかつ／またはかかる電磁放射を（ｃ）吸収するようにさらに構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍ、３００ｎｍ～６５０ｎｍ、３００ｎｍ～７００ｎｍまたは３００ｎｍ～９５０ｎｍの範囲内の波長を有する電磁放射の１０％未満、５％未満、３％未満、２％未満、１％未満、０．８％未満、０．５％未満、０．２％未満またはさらに、０．１５％未満の平均％透過率を有するようにさらに構成される。実施形態において、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料は、窓２４が３００ｎｍ～６００ｎｍ、３００ｎｍ～６５０ｎｍ、３００ｎｍ～７００ｎｍ、３００ｎｍ～９５０ｎｍ、４００ｎｍ～７００ｎｍ、５００ｎｍ～７００ｎｍまたは５５０ｎｍ～７００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対して、０°～８°、０°～１５°または０°～２５°の範囲内の任意の入射角にわたって、８０％超または９０％超、９５％超またはさらに９７％超の平均％反射率を有するようにさらに構成される。これらの実施形態により、ＬｉＤＡＲシステム１２の格納装置２０への窓２４を通した温度上昇太陽光の透過が防止されまたは低下する。これにより、ＬｉＤＡＲシステム１２の性能が改善される。加えて、これらの実施形態により、ＬｉＤＡＲシステム１２の動作に不必要な波長、例えば、１４５０ｎｍ～１５５０ｎｍ（または８５０ｎｍ～９５０ｎｍならびに１４５０ｎｍおよび１５５０ｎｍ）の範囲外の波長の電磁放射の透過を防止されまたは低下する。これにより、電磁放射エミッタおよびセンサ１８と干渉するノイズが低減され、このため、ＬｉＤＡＲシステム１２の性能が改善される。
【0048】
上記言及されたように、本発明者らは、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）が１つ以上の高屈折率材料４０として使用するのに特に適した材料であることを発見した。アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）は、比較的高い屈折率（１５５０ｎｍで約３．７７）を有するのに加えて、紫外線範囲および可視光範囲では比較的高い光吸収性を有するが、９００～１８００ｎｍの範囲では許容可能な光吸収性を有する。波長の関数として、より完全な屈折率および光吸収データが、以下に提供される。アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）の層の厚さおよび量は、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８（利用される場合）の他の層と共に、紫外線範囲および可視光範囲における電磁放射の低い％透過率（部分的には、それらの波長範囲におけるアモルファスシリコンの光吸収による）を有するが、赤外線範囲の所望の部分における高い％透過率を有する窓２４を提供することができる。以下の例およびアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）または同様の光吸収特性を有する一部の他の材料を利用しない他の実施形態では、主に光学干渉を利用して、所望の光学特性（例えば、３００ｎｍ～７００ｎｍの範囲の低い透過率および／または高い反射率、一方、１５５０ｎｍまたは１５５０ｎｍを含む一部の範囲の高い透過率および低い反射率）を有する窓２４を提供することができる。以下の例およびアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）または同様の光吸収特性を有する一部の他の材料を利用する他の実施形態は、光吸収および光干渉を利用して、所望の光学特性を有する窓２４を提供する。このため、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）または同様の光吸収特性を有する一部の他の材料を利用する実施形態は、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）または同様の光吸収特性を有する一部の他の材料を利用しない実施形態より、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８における層が少ない所望の光学特性を有する窓２４を提供することができる。実施形態において、第２の積層薄膜３８は、１つ以上の高屈折率材料４０のうちの１つとしてアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）の１つ以上の層を含むが、積層薄膜３６は含まない。
【0049】
実施形態において、窓２４は、可視光領域内の波長（例えば、４５０ｎｍ～６５０ｎｍまたは３８０ｎｍ～７００ｎｍ）の％透過率を５％未満または３％未満またはさらに、１％未満に低下させるための有機染料をさらに含む。可視領域内の波長を吸収するが、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍを透過する有機染料の例は、Adam Gates & Companyから商品名800nm Long PassおよびAG－300－800nm Inkで入手可能なものを含む。ただし、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）または同様の光吸収特性を有する一部の他の材料を積層薄膜３６および／または第２の積層薄膜３８における１つ以上の高屈折率材料４０のうちの１つとして使用することにより、有機染料の使用を不要にすることができる。さらに、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）の層は、積層薄膜３６および／または第２の積層薄膜３８の他の層と同じスパッタリングプロセスを使用して、積層薄膜３６および／または第２の積層薄膜３８に直接一体化することができ、このため、有機染料を窓２４に一体化するより窓２４のより簡易な製造を提供することができる。
【0050】
積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の層（すなわち、高屈折率材料４０および低屈折率材料４２の層）を、不連続堆積または連続堆積プロセスを含む、当技術分野において公知の任意の方法により形成することができる。１つ以上の実施形態では、この層を、連続堆積プロセスのみを使用してまたは代替的には、不連続堆積プロセスのみを使用して形成することができる。
【実施例】
【0051】
下記実施例は全て、積層薄膜３６（および利用される場合、第２の積層薄膜３８）の層の量、厚さおよび材料を、窓２４が入射電磁放射の波長および入射角の関数として所望の平均％透過率および平均％反射率を有するように構成することができる方法を示すために、コンピュータ容易化モデリングを使用してモデル化された例である。
【0052】
積層薄膜３６の高屈折率材料４０と低屈折率材料４２との各交互層ならびに基板３０の屈折率（ｎ）および光吸収（ｋ）を、波長の関数として、分光エリプソメトリーを用いて測定した。Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＯ２、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）およびアルミノケイ酸塩ガラス基板（Corningコード２３２０）の屈折率および光吸収を、以下の表Ａに提供する。これらの材料は、高屈折率材料４０、低屈折率材料４２および基板３０として、下記実施例で利用される。
【0053】
【0054】
ついで、このようにして測定された屈折率を使用して、透過および反射スペクトルを計算した。モデル化された実施例には、便宜上、それらの記述表において単一の屈折率値を使用し、これは、約１５５０ｎｍの波長における屈折率分散曲線から選択された点に対応する。
【0055】
実施例１－実施例１の窓２４は、アルミノケイ酸塩ガラス（Corningコード２３２０）の基板３０の第１の表面３２上に積層薄膜３６を含んだ。積層薄膜３６は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との９つの交互層を含んだ。積層薄膜３６の層の厚さは、図６Ａ～図６Ｄに示された％透過率および％反射率を提供するために、以下の表１に示されるように構成される。
【0056】
【表1】
【0057】
図６Ａから明らかなように、積層薄膜３６の量、厚さおよび材料は、実施例１の窓２４が５０°までの全ての入射角で、１３００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して９０％超、５０°までの全ての入射角で、８５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して７０％超の％透過率を有するよう構成されている。％透過率は、３００ｎｍ～８５０ｎｍのおよその範囲内の波長に対して、波長の関数として広く変動する。図６Ｂから明らかなように、積層薄膜３６の量、厚さおよび材料は、実施例１の窓２４が２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して９５．５％超および２５°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１８００ｎｍの波長範囲に対して９５％超の％透過率を有するように構成されている。基板３０の第１の面３２のみが、積層膜３６を有することが留意される。窓２４は、基板３０の第２の表面３４上に第２の積層薄膜３８を含まない。非被覆の第２の表面３４は、約４％の％反射率を有し、このため、窓２４を通る可能性のある最高％透過率は、約９６％である。
【0058】
図６Ｃから明らかなように、積層薄膜３６の量、厚さおよび材料は、実施例１の窓２４が５０°までの全ての入射角で、１１５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して１０％未満の積層薄膜３６の終端表面４４での％反射率を有するように構成されている。％反射率は、３００ｎｍ～８５０ｎｍのおよその範囲内の波長に対して、波長の関数として広く変動する。図６Ｄから明らかなように、積層薄膜３６の量、厚さおよび材料は、実施例１の窓２４が５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して１．２５％未満および２５°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して０．７５％未満の積層薄膜３６の終端表面４４での％反射率を有するように構成されている。
【0059】
実施例２－実施例２の窓２４は、アルミノケイ酸塩ガラス（Corningコード２３２０）の基板３０の第１の表面３２上の積層薄膜３６と、基板３０の第２の表面３４上の第２の積層薄膜３８とを含んだ。積層薄膜３６は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との７つの交互層を含んだ。第２の積層薄膜３８は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との８１の交互層を含んだ。積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の層の厚さは、図７Ａ～図７Ｅに示された％透過率および％反射率を提供するために、以下の表２に示されるように構成される。高屈折率材料４０としての高硬度材料Ｓｉ３Ｎ４の最大厚さの層（５０００ｎｍ）は、積層薄膜３６の第２の層であり、窓２４の終端表面４４を提供する積層薄膜３６の最外層に隣接する。基板３０の第１の表面３２および第２の表面３４が両方とも、それぞれ積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８により覆われているため、提供される％反射率値は、窓２４全体の両側からの反射率についてのものであり、提供される％透過率値は、窓２４全体を通る透過率についてのものである（実施例３～５についても同様である）。
【0060】
【表2-1】
【0061】
【表2-2】
【0062】
図７Ａから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例２の窓２４が５０°までの全ての入射角で、８５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対する８０％超の％透過率を有し、一方、２５°までの全ての入射角で、３８０ｎｍ～７５０ｎｍのおよその波長範囲に対する約１５％未満の％透過率を有するように構成されている。図７Ｂから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例２の窓２４が２５°までの全ての入射角で、４００ｎｍ～６５０ｎｍのおよその波長範囲に対する５％未満の％透過率を有するように構成されている。図７Ｃから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例２の窓２４が２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して９９．５％超および８°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１６７０ｎｍの波長範囲に対して９８％超の％透過率を有するように構成されている。
【0063】
図７Ｄから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例２の窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、８５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して２０％未満、一方、（ｂ）５０°までの全ての入射角で、４００ｎｍ～７００ｎｍのおよその波長範囲に対して７０％超および（ｃ）２５°までの全ての入射角で、４５０ｎｍ～７００ｎｍの波長範囲に対して９０％超の窓２４での％反射率を有するように構成されている。図７Ｅから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例２の窓２４が（ａ）２５°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの波長範囲に対して２％未満、（ｂ）２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して０．５％未満および（ｃ）５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して１０％未満の窓２４での％反射率を有するように構成されている。
【0064】
実施例３－実施例３の窓２４は、アルミノケイ酸塩ガラス（Corningコード２３２０）の基板３０の第１の表面３２上の積層薄膜３６と、基板の第２の表面３４上の第２の積層薄膜３８とを含んだ。積層薄膜３６は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との７つの交互層を含んだ。第２の積層薄膜３８は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）との９つの交互層を含んだ。紫外線範囲および可視光吸収アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）を使用することにより、アモルファスシリコンを使用しない場合（例えば、実施例２）より、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８においてより少ない層を有する窓２４を通るそれらの波長の％透過率の顕著に大きな抑制が可能となる。アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）が利用されるが、窓２４は、依然として、ＬｉＤＡＲシステム１２に関連する９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長の合理的に高い％透過率を有する。積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の層の厚さは、図８Ａ～図８Ｅに記載された％透過率および％反射率を提供するために、以下の表３に記載されているように構成される。高屈折率材料４０としての高硬度材料Ｓｉ３Ｎ４の最大厚さの層（５０００ｎｍ）は、積層薄膜３６の第２の層であり、窓２４の終端表面４４を提供する積層薄膜３６の最外層に隣接する。
【0065】
【表3】
【0066】
図８Ａから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３の窓２４が１０５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して、（ａ）５０°までの全ての入射角で７５％超、（ｂ）５０°までの全ての入射角で８０％超および（ｃ）５０°までの全ての入射角で、１３００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して９０％超、一方、（ｄ）約５０°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～７００ｎｍのおよその波長範囲に対して約１０％未満の％透過率を有するように構成されている。図８Ｂから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３の窓２４が（ａ）約５０°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６５０ｎｍのおよその波長範囲に対して２％未満、（ｂ）約８°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～７００ｎｍのおよその波長範囲に対して２％未満、（ｃ）約２５°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの波長範囲に対して０．２％未満、（ｄ）２５°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～５７５ｎｍの波長範囲に対して０．１５％未満および（ｅ）２５°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６８０ｎｍの波長範囲に対して２％未満の％透過率を有するように構成されている。図８Ｃから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３の窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して９４％超、（ｂ）２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して９８．５％超、（ｃ）５０°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの波長範囲に対して９４．５％超および（ｄ）２５°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの波長範囲に対して９８％超の％透過率を有するように構成されている。
【0067】
図８Ｄから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３の窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、８００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して２０％未満および（ｂ）５０°までの全ての入射角で、１２５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して１０％未満、一方、（ｂ）５０°までの全ての入射角で、４５０ｎｍ～６５０ｎｍのおよその波長範囲に対して５０％超および（ｃ）８°までの全ての入射角で、約４５０ｎｍ～約７００ｎｍの波長範囲に対して約６５％超の窓２４での％反射率を有するように構成されている。図８Ｅから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３の窓２４が（ａ）２５°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの波長範囲に対して１％未満、（ｂ）２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して０．５％未満および（ｃ）５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して４．５％未満の窓２４での％反射率を有するように構成されている。
【0068】
実施例３Ａ－実施例３Ａの窓２４は、アルミノケイ酸塩ガラス（Corningコード２３２０）の基板３０の第１の表面３２上の積層薄膜３６と、基板の第２の表面３４上の第２の積層薄膜３８とを含んだ。積層薄膜３６は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との７つの交互層を含んだ。第２の積層薄膜３８は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）との９つの交互層を含んだ。積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の層の厚さは、図９Ａ～図９Ｂに記載された％透過率および％反射率を提供するために、以下の表３Ａに記載されているように構成される。このため、実施例３Ａの窓２４は、高屈折率材料４０としての高硬度材料Ｓｉ３Ｎ４の最大厚さの層が実施例３において５０００ｎｍ厚であるのに代えて、２０００ｎｍ厚である点を除いて、実施例３の窓２４と同一である。この層は、依然として、積層薄膜３６の第２の層であり、窓２４の終端表面４４を提供する積層薄膜３６の最外層に隣接する。実施例３および３Ａは、特定の用途のための機械的性能およびコスト目標に応じて達成することができる設計の柔軟性（透過率および反射率基準を依然として達成しながら、高屈折率材料４０の最大厚さの層の厚さを変化させる）を実証する。
【0069】
【表3A】
【0070】
図９Ａから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３Ａの窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、約１０００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して８０％超および（ｂ）５０°までの全ての入射角で、１３００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して９０％超、一方、（ｃ）約５０°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～約７００ｎｍのおよその波長範囲に対して約１０％未満の％透過率を有するように構成されている。
【0071】
図９Ｂから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３Ａの窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、８００ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して２０％未満および（ｂ）５０°までの全ての入射角で、１２５０ｎｍ～１８００ｎｍのおよその波長範囲に対して１０％未満、一方、（ｂ）５０°までの全ての入射角で、４５０ｎｍ～６５０ｎｍのおよその波長範囲に対して５０％超および（ｃ）８°までの全ての入射角で、約４５０ｎｍ～約６７５ｎｍの波長範囲に対して約６５％超の窓２４での％反射率を有するように構成されている。
【0072】
実施例４－実施例４の窓２４は、アルミノケイ酸塩ガラス（Corningコード２３２０）の基板３０の第１の表面３２上の積層薄膜３６と、基板の第２の表面３４上の第２の積層薄膜３８とを含んだ。積層薄膜３６は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との７つの交互層を含んだ。第２の積層薄膜３８は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）またはＳｉ３Ｎ４のいずれかとの１９の交互層を含んだ。紫外線範囲および可視光吸収アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）およびＳｉ３Ｎ４を高屈折率材料４０として使用することにより、反射率と吸収率とが同時に組み合わさって、紫外線範囲および可視光範囲において％透過率が顕著に低くなり、一方、１５５０ｎｍでの％透過率が高くなる。積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の層の厚さは、図１０Ａ～図１０Ｅに記載された％透過率および％反射率を提供するために、以下の表４に記載されているように構成される。高屈折率材料４０としての高硬度材料Ｓｉ３Ｎ４の最大厚さの層（５０００ｎｍ）は、積層薄膜３６の第２の層であり、窓２４の終端表面４４を提供する積層薄膜３６の最外層に隣接する。
【0073】
【表4】
【0074】
図１０Ａから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例４の窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、１４００ｎｍ～１８００ｎｍの波長範囲に対して９０％超、一方、（ｂ）８°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～９５０ｎｍの波長範囲に対して１０％未満の％透過率を有するように構成されている。図１０Ｂから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例４の窓２４が（ａ）２５°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～７００ｎｍの波長範囲に対して０．５％未満、（ｂ）５０°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの波長範囲に対して０．２％未満および（ｃ）１０°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲に対して０．１５％未満の％透過率を有するように構成されている。図１０Ｃから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例３の窓２４が（ａ）２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して９８％超および（ｂ）５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して９２．５％超の％透過率を有するように構成されている。
【0075】
図１０Ｄから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例４の窓２４が５０°までの全ての入射角で、１３５０ｎｍ～１８００ｎｍの波長範囲に対する１０％未満の窓２４での％反射率を有するように構成されている。図１０Ｅから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例４の窓２４が（ａ）８°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して０．３％未満、（ｂ）２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して１％未満および（ｃ）５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して６．５％未満の窓２４での％反射率を有するように構成されている。
【0076】
実施例５－実施例５の窓２４は、アルミノケイ酸塩ガラス（Corningコード２３２０）の基板３０の第１の表面３２上の積層薄膜３６と、基板の第２の表面３４上の第２の積層薄膜３８とを含んだ。積層薄膜３６は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのＳｉ３Ｎ４との７つの交互層を含んだ。第２の積層薄膜３８は、低屈折率材料４２としてのＳｉＯ２と、高屈折率材料４０としてのアモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）またはＳｉ３Ｎ４のいずれかとの１７の交互層を含んだ。紫外線範囲および可視光吸収アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）およびＳｉ３Ｎ４を高屈折率材料４０として使用することにより、反射率と吸収率とが同時に組み合わさって、紫外線範囲および可視光範囲において％透過率が顕著に低くなり、一方、９０５ｎｍ、１５５０ｎｍの両方での％透過率が高くなりかつ９０５ｎｍでの反射率が低くなる。積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の層の厚さは、図１１Ａ～図１１Ｅに記載された％透過率および％反射率を提供するために、以下の表５に記載されているように構成される。高屈折率材料４０としての高硬度材料Ｓｉ３Ｎ４の最大厚さの層（５０００ｎｍ）は、積層薄膜３６の第２の層であり、窓２４の終端表面４４を提供する積層薄膜３６の最外層に隣接する。
【0077】
【表5】
【0078】
図１１Ａから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例５の窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、８００ｎｍ～１８００ｎｍの波長範囲に対して７５％超および（ｂ）２５°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲に対して１０％未満の％透過率を有するように構成されている。図１１Ｂから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例５の窓２４が（ａ）２５°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～６２０ｎｍの波長範囲に対して０．８％未満および（ｂ）５０°までの全ての入射角で、３００ｎｍ～約５７５ｎｍの波長範囲に対して０．８％未満の％透過率を有するように構成されている。図１１Ｃから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例５の窓２４が（ａ）２５°までの全ての入射角で、８５０ｎｍ～９８０ｎｍの波長範囲に対して８８％超、（ｂ）２５°までの全ての入射角で、１５００ｎｍ～１７００ｎｍの波長範囲に対して８８％超、（ｃ）２５°までの全ての入射角で、８７０ｎｍ～９７０ｎｍおよび１５３０ｎｍ～１６８０ｎｍの波長範囲に対して９０％超、（ｄ）２５°までの全ての入射角で、８９５ｎｍ～９４５ｎｍおよび１５４５ｎｍ～１６５０ｎｍの波長範囲に対して９２％超、（ｅ）５０°までの全ての入射角で、９０５ｎｍの波長に対して８３％超および（ｆ）５０°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍの波長に対して８８％超の％透過率を有するように構成されている。
【0079】
図１１Ｄから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例５の窓２４が（ａ）５０°までの全ての入射角で、７００ｎｍ～１８００ｎｍの波長範囲に対して２５％未満および（ｂ）２５°までの全ての入射角で、１５５０ｎｍ波長に対して７％未満の窓２４での％反射率を有するように構成されている。図１１Ｅから明らかなように、積層薄膜３６および第２の積層薄膜３８の量、厚さおよび材料は、実施例５の窓２４が（ａ）８°までの全ての入射角で、８５０ｎｍ～９５０ｎｍの波長範囲に対して１％未満および（ｂ）２５°までの全ての入射角で、９０５ｎｍの波長に対して０．５％未満の窓２４での％反射率を有するように構成されている。
【0080】
態様（１）は、センシングシステムのための窓であって、屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度とを含み、前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が、垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている、窓に関する。
【0081】
態様（２）は、前記基板が、圧縮応力下にある前記第１の表面に隣接する領域を有し、前記圧縮応力の最大絶対値が、少なくとも６００ＭＰａである、態様（１）記載の窓に関する。
【0082】
態様（３）は、前記基板が、ガラス基板である、態様（１）または（２）記載の窓に関する。
【0083】
態様（４）は、前記基板が、約１００μｍ～約５ｍｍの厚さを有する、態様（１）から（３）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0084】
態様（５）は、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する前記基板の前記屈折率が、約１．４５～約１．５５である、態様（１）から（４）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0085】
態様（６）は、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、約１．７～約４．０であり、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率が、約１．３～約１．６である、態様（１）から（５）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0086】
態様（７）は、前記１つ以上の高屈折率材料のいずれかと、前記１つ以上の低屈折率材料のいずれかとの前記屈折率の差が、約０．５以上である、態様（１）から（６）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0087】
態様（８）は、前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含む、態様（１）から（７）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0088】
態様（９）は、前記基板から最も遠い前記積層薄膜の層が、前記窓の終端表面材料を形成し、前記窓の前記終端表面材料が、前記低屈折率材料を含み、前記１つ以上の低屈折率材料の層が、前記基板の前記第１の表面上に直接配設されている、態様（１）から（８）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0089】
態様（１０）は、前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された最大硬度が、少なくとも１２ＧＰａである、態様（１）から（９）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0090】
態様（１１）は、前記１つ以上の高屈折率材料の層のうちの１つが、約５００ｎｍ～約１０，０００ｎｍの厚さを有する、態様（１）から（１０）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0091】
態様（１２）は、前記１つ以上の高屈折率材料の少なくとも１つの層が、前記積層薄膜の前記厚さの６５％以上である、態様（１）から（１１）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0092】
態様（１３）は、前記基板から最も遠い前記積層薄膜の前記層が、前記窓の終端表面材料を形成し、前記窓の前記終端表面材料が、前記低屈折率材料を含み、前記終端表面材料が、約１５０ｎｍ～約３１０ｎｍの厚さを有する、態様（１）から（１２）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0093】
態様（１４）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料が、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている、態様（１）から（１３）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0094】
態様（１５）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料が、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率ならびに０°～８°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている、態様（１）から（１４）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0095】
態様（１６）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料が、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、態様（１）から（１５）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0096】
態様（１７）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料が、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する８０％超の平均％反射率を有するように構成されている、態様（１）から（１６）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0097】
態様（１８）は、前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、前記１つ以上の高屈折率材料と前記１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、態様（１）から（１７）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0098】
態様（１９）は、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料のいずれかと、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料のいずれかとの前記屈折率の差が、約２．０以上である、態様（１８）記載の窓に関する。
【0099】
態様（２０）は、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、態様（１８）または（１９）記載の窓に関する。
【0100】
態様（２１）は、前記積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、態様（１８）から（２０）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0101】
態様（２２）は、前記積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンおよびＳｉ３Ｎ４を含む、態様（１８）から（２０）までのいずれか１つに記載の窓に関する。
【0102】
態様（２３）は、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射を放出する電磁放射エミッタおよびセンサと、前記電磁放射の経路中にある窓とを備え、前記窓は、屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度とを含み、前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている、ＬｉＤＡＲシステムに関する。
【0103】
態様（２４）は、前記窓が、前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、前記１つ以上の高屈折率材料と前記１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、態様（２３）記載のＬｉＤＡＲシステムに関する。
【0104】
態様（２５）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料が、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている、態様（２３）または（２４）記載のＬｉＤＡＲシステムに関する。
【0105】
態様（２６）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率ならびに０°～８°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率を有するように構成されている、態様（２３）から（２５）までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステムに関する。
【0106】
態様（２７）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、態様（２３）から（２６）までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステムに関する。
【0107】
態様（２８）は、前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料が、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％透過率および０°～８°の範囲内の任意の入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する８０％超の平均％反射率を有するように構成されている、態様（２３）から（２７）までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステムに関する。
【0108】
当業者には、特許請求の範囲の精神または範囲から逸脱することなく、種々の修正および変形を行うことができることが明らかであろう。
【0109】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【0110】
実施形態１
センシングシステムのための窓であって、
屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、
前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度と
を含み、
前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、窓。
センシングシステムのための窓であって、
屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、
前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度と
を含み、
前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、窓。
【0111】
実施形態２
前記基板が、圧縮応力下にある前記第１の表面に隣接する領域を有し、前記圧縮応力の最大絶対値が、少なくとも６００ＭＰａである、実施形態１記載の窓。
前記基板が、圧縮応力下にある前記第１の表面に隣接する領域を有し、前記圧縮応力の最大絶対値が、少なくとも６００ＭＰａである、実施形態１記載の窓。
【0112】
実施形態３
前記基板が、ガラス基板である、実施形態１または２記載の窓。
前記基板が、ガラス基板である、実施形態１または２記載の窓。
【0113】
実施形態４
前記基板が、約１００μｍ～約５ｍｍの厚さを有する、実施形態１から３までのいずれか１つに記載の窓。
前記基板が、約１００μｍ～約５ｍｍの厚さを有する、実施形態１から３までのいずれか１つに記載の窓。
【0114】
実施形態５
１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する前記基板の前記屈折率が、約１．４５～約１．５５である、実施形態１から４までのいずれか１つに記載の窓。
１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する前記基板の前記屈折率が、約１．４５～約１．５５である、実施形態１から４までのいずれか１つに記載の窓。
【0115】
実施形態６
前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、約１．７～約４．０であり、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率が、約１．３～約１．６である、実施形態１から５までのいずれか１つに記載の窓。
前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、約１．７～約４．０であり、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率が、約１．３～約１．６である、実施形態１から５までのいずれか１つに記載の窓。
【0116】
実施形態７
前記１つ以上の高屈折率材料のいずれかと、前記１つ以上の低屈折率材料のいずれかとの前記屈折率の差が、約０．５以上である、実施形態１から６までのいずれか１つに記載の窓。
前記１つ以上の高屈折率材料のいずれかと、前記１つ以上の低屈折率材料のいずれかとの前記屈折率の差が、約０．５以上である、実施形態１から６までのいずれか１つに記載の窓。
【0117】
実施形態８
前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含む、実施形態１から７までのいずれか１つに記載の窓。
前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含む、実施形態１から７までのいずれか１つに記載の窓。
【0118】
実施形態９
前記基板から最も遠い前記積層薄膜の層が、前記窓の終端表面材料を形成し、前記窓の前記終端表面材料が、前記低屈折率材料を含み、前記１つ以上の低屈折率材料の層が、前記基板の前記第１の表面上に直接配設されている、実施形態１から８までのいずれか１つに記載の窓。
前記基板から最も遠い前記積層薄膜の層が、前記窓の終端表面材料を形成し、前記窓の前記終端表面材料が、前記低屈折率材料を含み、前記１つ以上の低屈折率材料の層が、前記基板の前記第１の表面上に直接配設されている、実施形態１から８までのいずれか１つに記載の窓。
【0119】
実施形態１０
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された最大硬度が、少なくとも１２ＧＰａである、実施形態１から９までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された最大硬度が、少なくとも１２ＧＰａである、実施形態１から９までのいずれか１つに記載の窓。
【0120】
実施形態１１
前記１つ以上の高屈折率材料の層のうちの１つが、約５００ｎｍ～約１０，０００ｎｍの厚さを有する、実施形態１から１０までのいずれか１つに記載の窓。
前記１つ以上の高屈折率材料の層のうちの１つが、約５００ｎｍ～約１０，０００ｎｍの厚さを有する、実施形態１から１０までのいずれか１つに記載の窓。
【0121】
実施形態１２
前記１つ以上の高屈折率材料の少なくとも１つの層が、前記積層薄膜の前記厚さの６５％以上である、実施形態１から１１までのいずれか１つに記載の窓。
前記１つ以上の高屈折率材料の少なくとも１つの層が、前記積層薄膜の前記厚さの６５％以上である、実施形態１から１１までのいずれか１つに記載の窓。
【0122】
実施形態１３
前記基板から最も遠い前記積層薄膜の前記層が、前記窓の終端表面材料を形成し、前記窓の前記終端表面材料が、前記低屈折率材料を含み、前記終端表面材料が、約１５０ｎｍ～約３１０ｎｍの厚さを有する、実施形態１から１２までのいずれか１つに記載の窓。
前記基板から最も遠い前記積層薄膜の前記層が、前記窓の終端表面材料を形成し、前記窓の前記終端表面材料が、前記低屈折率材料を含み、前記終端表面材料が、約１５０ｎｍ～約３１０ｎｍの厚さを有する、実施形態１から１２までのいずれか１つに記載の窓。
【0123】
実施形態１４
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態１から１３までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態１から１３までのいずれか１つに記載の窓。
【0124】
実施形態１５
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率ならびに
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態１から１４までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率ならびに
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態１から１４までのいずれか１つに記載の窓。
【0125】
実施形態１６
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態１から１５までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態１から１５までのいずれか１つに記載の窓。
【0126】
実施形態１７
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が、
垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する８０％超の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態１から１６までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が、
垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する８０％超の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態１から１６までのいずれか１つに記載の窓。
【0127】
実施形態１８
前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、前記１つ以上の高屈折率材料と前記１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、
前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態１から１７までのいずれか１つに記載の窓。
前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、前記１つ以上の高屈折率材料と前記１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、
前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態１から１７までのいずれか１つに記載の窓。
【0128】
実施形態１９
前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料のいずれかと、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料のいずれかとの前記屈折率の差が、約２．０以上である、実施形態１８記載の窓。
前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料のいずれかと、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料のいずれかとの前記屈折率の差が、約２．０以上である、実施形態１８記載の窓。
【0129】
実施形態２０
前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、実施形態１８または１９記載の窓。
前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、実施形態１８または１９記載の窓。
【0130】
実施形態２１
前記積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、実施形態１８から２０までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンを含む、実施形態１８から２０までのいずれか１つに記載の窓。
【0131】
実施形態２２
前記積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンおよびＳｉ３Ｎ４を含む、実施形態１８から２０までのいずれか１つに記載の窓。
前記積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、Ｓｉ３Ｎ４を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の低屈折率材料が、ＳｉＯ２を含み、前記第２の積層薄膜の前記１つ以上の高屈折率材料が、アモルファスシリコンおよびＳｉ３Ｎ４を含む、実施形態１８から２０までのいずれか１つに記載の窓。
【0132】
実施形態２３
１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射を放出する電磁放射エミッタおよびセンサと、
前記電磁放射の経路中にある窓と
を備え、
前記窓は、
屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、
前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度と
を含み、
前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、
ＬｉＤＡＲシステム。
１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射を放出する電磁放射エミッタおよびセンサと、
前記電磁放射の経路中にある窓と
を備え、
前記窓は、
屈折率、第１の表面および第２の表面を含み、前記第１の表面および前記第２の表面が基板の主面である基板と、
前記基板の前記第１の表面上に配設され、１つ以上の高屈折率材料と１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高い積層薄膜と、
前記積層薄膜で、バーコビッチ圧子硬度試験により測定された少なくとも８ＧＰａの最大硬度と
を含み、
前記積層薄膜の前記交互層の量、厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、
ＬｉＤＡＲシステム。
【0133】
実施形態２４
前記窓が、前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、前記１つ以上の高屈折率材料と前記１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、
前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態２３記載のＬｉＤＡＲシステム。
前記窓が、前記基板の前記第２の表面上に配設された第２の積層薄膜をさらに備え、前記第２の積層薄膜が、前記１つ以上の高屈折率材料と前記１つ以上の低屈折率材料との交互層を備え、前記１つ以上の高屈折率材料および前記１つ以上の低屈折率材料がそれぞれ、屈折率を有し、前記１つ以上の高屈折率材料の前記屈折率が、前記１つ以上の低屈折率材料の前記屈折率より高く、
前記積層薄膜および前記第２の積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態２３記載のＬｉＤＡＲシステム。
【0134】
実施形態２５
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態２３または２４記載のＬｉＤＡＲシステム。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、１５００ｎｍ～１６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態２３または２４記載のＬｉＤＡＲシステム。
【0135】
実施形態２６
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率ならびに
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態２３から２５までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステム。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が
垂直入射またはほぼ垂直入射で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率ならびに
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、９０５ｎｍおよび１５５０ｎｍの波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態２３から２５までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステム。
【0136】
実施形態２７
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態２３から２６までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステム。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が垂直入射またはほぼ垂直入射で、８８０ｎｍ～１５８０ｎｍまたは８５０ｎｍ～１８００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する７５％超の平均％透過率を有するように構成されている、実施形態２３から２６までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステム。
【0137】
実施形態２８
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が、
垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する８０％超の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態２３から２７までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステム。
前記積層薄膜の前記交互層の前記量、前記厚さおよび材料は、前記窓が、
垂直入射またはほぼ垂直入射で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する１０％未満の平均％透過率および
０°～８°の範囲内の任意の入射角で、３００ｎｍ～６００ｎｍの範囲内の任意の波長を有する電磁放射に対する８０％超の平均％反射率
を有するように構成されている、実施形態２３から２７までのいずれか１つに記載のＬｉＤＡＲシステム。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図6D】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図7D】
【図7E】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図8E】
【図9A】
【図9B】
【図10A】
【図10B】
【図10C】
【図10D】
【図10E】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図11D】
【図11E】
【国際調査報告】